高能激光薄膜損傷檢測(cè)及其制備關(guān)鍵技術(shù)

為了滿足特定的光學(xué)性能，光學(xué)元件表面均需要涂覆薄膜。隨著大功率、高能量激光系統(tǒng)的發(fā)展，傳統(tǒng)光學(xué)薄膜的抗激光能力受到了挑戰(zhàn)：一是薄膜在強(qiáng)激光作用下是否損傷的評(píng)判以及抗損傷能力的測(cè)試問(wèn)題，二是高損傷閾值薄膜的制備問(wèn)題，目前國(guó)內(nèi)尚沒(méi)有有效的檢測(cè)手段和測(cè)試設(shè)備。

西安工業(yè)大學(xué)研究了激光薄膜損傷閾值的測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)及規(guī)范，發(fā)展和豐富了散射法、等離子體閃光法等常規(guī)的薄膜損傷判別方法，發(fā)明了聲學(xué)法、等離子體光譜峰值位方法、圖像法等判別薄膜損傷新方法，消除了誤判現(xiàn)象，實(shí)現(xiàn)了對(duì)一種薄膜用多種方法進(jìn)行互檢的組合判別。研制出國(guó)內(nèi)第一臺(tái)商品化的智能型激光損傷閾值測(cè)試儀，實(shí)現(xiàn)了各種探測(cè)器的科學(xué)分布，系統(tǒng)結(jié)構(gòu)優(yōu)化；解決了激光薄膜制造的瓶頸問(wèn)題。 將正交實(shí)驗(yàn)和場(chǎng)強(qiáng)設(shè)計(jì)的數(shù)學(xué)方法引入到薄膜的制備過(guò)程中，準(zhǔn)確確定了影響薄膜激光損傷的工藝因素和水平。該測(cè)試儀器經(jīng)西安同維通訊技術(shù)有限責(zé)任公司、北方光電科技集團(tuán)有限公司和西安北方光電科技防務(wù)有限公司等多家單位使用，一致認(rèn)為該儀器“測(cè)試方法先進(jìn)、閾值測(cè)試精度高、儀器運(yùn)行穩(wěn)定可靠以及重復(fù)性好”，已經(jīng)為企業(yè)創(chuàng)造了可觀的經(jīng)濟(jì)效益。