中船重工：打造世界級(jí)電子特種氣體供應(yīng)商

【本刊訊】電子特種氣體被稱作電子工業(yè)的“血液”。中船重工718所副所長(zhǎng)郭建增介紹說，718所將努力打造成為世界重要的電子特種氣體供應(yīng)商，為我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展提供堅(jiān)實(shí)支撐。

電子特種氣體是三氟化氮、六氟化鎢等一系列特種氣體材料的總稱，是大規(guī)模集成電路、液晶面板行業(yè)生產(chǎn)的關(guān)鍵材料。然而，電子特種氣體過去長(zhǎng)期被國(guó)外企業(yè)壟斷，嚴(yán)重影響我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展與產(chǎn)業(yè)鏈的完善，影響我國(guó)集成電路、半導(dǎo)體相關(guān)產(chǎn)品的國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力。

郭建增介紹，718所在國(guó)家重大專項(xiàng)的支持下，經(jīng)過多年軍民融合、持續(xù)技術(shù)創(chuàng)新，相繼研制出高純?nèi)?、六氟化鎢等特種氣體系列產(chǎn)品，打破國(guó)外企業(yè)十幾年的壟斷，結(jié)束了該領(lǐng)域相關(guān)產(chǎn)品的高價(jià)時(shí)代，主要產(chǎn)品三氟化氮的市場(chǎng)價(jià)格大幅下降，改變了我國(guó)高純特種氣體長(zhǎng)期依賴進(jìn)口的不利局面。

目前，718所三氟化氮、六氟化鎢的生產(chǎn)規(guī)模均位居國(guó)內(nèi)領(lǐng)先地位。三氟化氮、六氟化鎢的國(guó)內(nèi)市場(chǎng)覆蓋率超過95%，國(guó)際市場(chǎng)覆蓋率達(dá)50%；其他7種氣體及10種混合氣體已研制成功并具備批產(chǎn)條件，得到了國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體龍頭企業(yè)的測(cè)試認(rèn)證。

據(jù)介紹，718所將加快三氟化氮、六氟化鎢等主要?dú)怏w的產(chǎn)能建設(shè)，加大國(guó)際、國(guó)內(nèi)2個(gè)市場(chǎng)的開拓力度，加快拓展半導(dǎo)體行業(yè)大宗氣體的現(xiàn)場(chǎng)制氣業(yè)務(wù)，力爭(zhēng)在2020年前將三氟化氮、六氟化鎢等4種氣體產(chǎn)能及市場(chǎng)占有率實(shí)現(xiàn)世界第1。 （青青）