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    基于VirtualLab Fusion的原子光刻基片定位方案的光學(xué)系統(tǒng)仿真

    2018-01-23 06:19:37張寶武霍劍鋒饒鵬輝張明月劉媛媛余桂英王道檔
    中國計量大學(xué)學(xué)報 2017年4期
    關(guān)鍵詞:光刻基片駐波

    張寶武,霍劍鋒,饒鵬輝,張明月,劉媛媛,余桂英,王道檔

    (1.中國計量大學(xué) 計量測試工程學(xué)院,浙江 杭州 310018;2.訊技光電科技(上海)有限公司,上海200092)

    納米科技的快速發(fā)展,迫切需要相關(guān)檢測儀器具有量值溯源的特性,以保證加工對象的精度和成品率.現(xiàn)在開發(fā)出來的計量型納米測量儀器有如下原因而不能滿足現(xiàn)場或者一般實驗室快速溯源檢測的要求[1].1)設(shè)計復(fù)雜,價格昂貴,工作環(huán)境要求苛刻;2)只能建立在國家級計量院.所以,具有長度傳遞標準特征的納米標準樣板的研制就成了現(xiàn)在納米計量的一個主攻方向.原子光刻技術(shù)為此方向提供了一種嶄新的方案[2-5].它依靠一維駐波場的偶極力實現(xiàn)準直鉻原子束的局域化控制,然后將其沉積在特定的基片上,形成納米光柵結(jié)構(gòu).經(jīng)研究,這種鉻原子納米光柵結(jié)構(gòu)平均條紋間距在10-5量級相對不確定度下很好地復(fù)現(xiàn)了會聚駐波場的波長,可以直接溯源于鉻原子的絕對躍遷(7S3→7P4)對應(yīng)的頻率[6].在原子光刻實驗中,基片表面和會聚激光駐波場之間的距離對沉積納米光柵質(zhì)量影響非常大,需要精確定位[7-8].研究表明,當(dāng)基片表面處于激光中軸線上時,沉積條紋的半高寬最??;當(dāng)基片表面離開這個位置時,沉積條紋半高寬將有3倍于最小值以上的展寬.為了精確控制基片-會聚激光場間距,文獻[9]提出了一種可行性方案,并進行了一定的分析.

    本文基于VirtualLab Fusion(VLF)平臺,從包含光源和各個光學(xué)元件在內(nèi)的全系統(tǒng)觀點對文獻[9]所提控制方案的光學(xué)系統(tǒng)進行了再分析.本文的分析結(jié)果再次證明文獻[9]方案的可行性,并且本文的全局性分析方法也為其他相關(guān)的純光學(xué)系統(tǒng)分析提供了嶄新的思路.

    1 基片-會聚激光場間距控制系統(tǒng)

    圖1給出了原子光刻實驗中會聚激光束、基片和反射鏡之間的相互位置關(guān)系.其中準直鉻原子束沿著x軸自上而下傳播,會聚激光束沿著z軸自左向右傳播,b0表示激光軸心和基片沉積表面之間的距離, 而激光束腰嚴格位于反射鏡上.

    圖1 激光束、基片和反射鏡之間的位置關(guān)系Figure 1 Position relation between laser beam, substrate and mirror

    為了精確控制基片-會聚激光場間距b0,文獻[9]給出了圖2所示的控制光學(xué)系統(tǒng).其中線偏振光依次經(jīng)過偏振分光棱鏡PBS、四分之一波片和光闌H后將被焦距為350 mm的凸透鏡L1聚焦.聚焦后的激光束再經(jīng)過反射鏡M1進入沉積腔,最后經(jīng)過反射鏡M3反射后原路返回形成垂直作用于Cr原子束駐波場.反射光沿原路依次通過四分之一波片、PBS和M2的共同作用后直接入射至光電探測器D上,最后轉(zhuǎn)化成電信號顯示在電壓表上.光闌的主要作用是判斷發(fā)射光束是否原路返回.調(diào)節(jié)M3,當(dāng)電壓信號達到最強時,反射光與入射光完全重合,形成理想的駐波場.透鏡L1和反射鏡M1被同時裝載于能夠沿z軸平移的同一精密平移臺上.精密平移臺沿z軸移動可以使駐波場光束沿z軸方向平移,達到調(diào)節(jié)駐波場和沉積基片間距的目的.

    2 基片-會聚激光場間距控制系統(tǒng)的VLF仿真

    2.1 建模

    圖2的基片定位光學(xué)系統(tǒng)在VLF[10]軟件中的建模如圖3,其中,“Gaussian Wave”為系統(tǒng)輸入的高斯光源,“Ideal Lens”為理想透鏡,“Stop”為基片邊緣,“Ideal Mirror”為理想反射鏡,“Value Monitoring”和“Virtual Screen”分別是強度探測器和光束截面強度分布探測器.各元件之間的帶箭頭的連線表示光的傳播路徑和方向,即光源發(fā)出的光經(jīng)過透鏡會聚,然后被基片邊緣作用后入射到反射鏡上,最后反射光被各種探測器探測.需要說明的是,圖3和圖2相比缺少了一些元件,這主要是因為VLF中的反射鏡具有反射功能,滿足光路反射和轉(zhuǎn)折要求,因此只要設(shè)置好后續(xù)探測器和反射鏡之間的距離即可復(fù)現(xiàn)圖2的系統(tǒng).圖3給出的建模方式簡潔清楚,完全是一種拖拽的模塊化方式,其中不顯示任何光學(xué)理論的推導(dǎo)和程序編寫.這種建模仿真的優(yōu)點來源于VLF所基于的場追跡理論[11].這主要涉及光源的建模,各光學(xué)元件的建模和探測器的建模.其中光源是以光場的電磁學(xué)描述方式來表達;光學(xué)元件是以輸入和輸出面,以及兩個面之間填充介質(zhì)的方式來表達;探測器是以矢量場分析的方式來表達.從光源到光學(xué)元件,再到探測器之間的光路傳播是以麥克斯韋方程組的矢量場傳播規(guī)律來實現(xiàn).所有這些都是在VLF 光路流程圖中通過拖拽完成的.最后,用戶根據(jù)需要進行參數(shù)設(shè)置即可.

    2.2 仿真

    參照文獻[9],仿真用的參數(shù)如下:光源的波長為425 nm,沿x方向偏振,束腰為182.5 μm;透鏡焦距為350 mm;基片厚度為400 μm,長度為5 mm,離透鏡350 mm;反射鏡離基片5 mm,即反射鏡離透鏡400 mm;各類探測器離反射鏡800 mm.圖4給出了不同位置處光束截面上的二維光強分布和x方向上的強度輪廓線,其中激光被基片阻擋掉一半.(a)和(a1)為光源出射端面處的情況;(b)和(b1)為反射鏡位置處的情況;(c)和(c1)為反射后800 mm處的情況.圖中所有曲線都以光源處的中心強度峰值(I)為歸一化條件.從中可以看出,入射系統(tǒng)的激光是一個高斯型光源.當(dāng)光與基片相遇,因為基片比激光截面積大,則激光會發(fā)生直邊衍射效應(yīng).當(dāng)這個衍射光被反射鏡反射后經(jīng)過一個長距離的傳播,在到達探測器位置時,激光斑點就會增大,且衍射現(xiàn)象明顯減小.

    圖2 原子光刻基片定位光學(xué)系統(tǒng)Figure 2 Optical system of substrate positioning in atom lithography

    圖3 基片定位系統(tǒng)的VLF建模Figure 3 Model of substrate positioning within VLF

    圖4 不同位置上光束截面上的二維強度分布(a,b,c)和x方向上的輪廓線(a1,b1,c1)Figure 4 2D optical intensity distribution (a,b,c) and corresponding profile (a1,b1,c1) along x direction of the laser beam at different location

    圖5給出了800 mm位置處,不同參數(shù)b0條件下探測器給出x方向上的強度輪廓分布和不同b0對應(yīng)的基片-激光場間的相對位置,其中b0以激光束腰ω0為單位,(a)為強度輪廓線,(b)為相互位置關(guān)系.圖中曲線告訴我們,隨著基片阻擋激光截面的增大,即參數(shù)b0向x方向的增大,強度分布的輪廓曲線會出現(xiàn)衍射現(xiàn)象,其最大值相對于無衍射時會出現(xiàn)先增大后減小的變化,且其最大值的位置會向著x正方向移動.

    圖5 800 mm位置處,不同參數(shù)b0條件下強度輪廓分布(a)和對應(yīng)的基片-激光場間的相對位置(b)Figure 5 Optical intensity profile (a) and corresponding position relation between substrate-laser beam (b) under different b0 locating at 800 mm

    圖6 800 mm位置處激光強度隨參數(shù)b0的變化Figure 6 Variation of laser intensity with b0 locating at 800 mm

    圖6給出了800 mm位置處,參數(shù)b0不斷變化時激光強度的變化曲線.圖中曲線告訴我們,隨著參數(shù)b0的不斷變化,探測處的強度曲線會呈現(xiàn)一個倒置的高斯輪廓,其最小值出現(xiàn)在基片中心和會聚激光場軸線重合時,即參數(shù)b0=200 μm的位置上.當(dāng)會聚激光場截面恰好被基片阻擋一半時,即參數(shù)b0=0,探測處的強度值降至初始的45.5%.此結(jié)果再次支撐了文獻[9]的結(jié)果,即在原子光刻實驗中,我們可以通過測量反射光強度變化,來精確判斷會聚駐波場與基片之間的距離.

    3 結(jié) 論

    我們采用一種模塊化拖拽式的光學(xué)建模平臺VLF,對文獻[9]中基片-會聚激光場間距控制的光學(xué)系統(tǒng)進行了仿真.結(jié)果再次支撐了文獻[9]的結(jié)論,即基片-會聚激光場間距的變化時,反射光的強度值會給出一個倒置的高斯線型.通過這個線型中距離和強度值的對應(yīng)關(guān)系,實驗就可以準確地控制基片-會聚激光場間距,提高原子光刻沉積納米光柵的質(zhì)量.另外,仿真結(jié)果表明基片切割會聚會產(chǎn)生直邊衍射的效應(yīng),不同的基片-會聚激光場間距導(dǎo)致不同的衍射圖像.

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