• <tr id="yyy80"></tr>
  • <sup id="yyy80"></sup>
  • <tfoot id="yyy80"><noscript id="yyy80"></noscript></tfoot>
  • 99热精品在线国产_美女午夜性视频免费_国产精品国产高清国产av_av欧美777_自拍偷自拍亚洲精品老妇_亚洲熟女精品中文字幕_www日本黄色视频网_国产精品野战在线观看 ?

    翹翹板擺式MEMS加速度計(jì)振動(dòng)整流誤差

    2017-12-02 03:02:26孫國(guó)良王小斌孫俊杰余才佳
    關(guān)鍵詞:零位加速度計(jì)閉環(huán)

    肖 鵬,孫國(guó)良,劉 林,王小斌,孫俊杰,余才佳

    (1.西北工業(yè)大學(xué) 自動(dòng)化學(xué)院,西安 710072;2.西安飛行自動(dòng)控制研究所,西安 710065)

    翹翹板擺式MEMS加速度計(jì)振動(dòng)整流誤差

    肖 鵬1,2,孫國(guó)良2,劉 林1,王小斌2,孫俊杰2,余才佳2

    (1.西北工業(yè)大學(xué) 自動(dòng)化學(xué)院,西安 710072;2.西安飛行自動(dòng)控制研究所,西安 710065)

    MEMS加速度計(jì)憑借其體積小、成本低、可靠性高及可批量生產(chǎn)等優(yōu)勢(shì),已經(jīng)在戰(zhàn)術(shù)級(jí)精度的武器領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用。但是,在振動(dòng)環(huán)境下的輸出誤差(振動(dòng)整流誤差)成為其向?qū)Ш郊?jí)精度發(fā)展的主要指標(biāo)瓶頸。為了減小MEMS加速度計(jì)的振動(dòng)整流誤差,對(duì)傳感器芯片結(jié)構(gòu)不對(duì)稱性和電路零位誤差引起的力矩器結(jié)構(gòu)非線性進(jìn)行了理論分析,然后按照振動(dòng)法測(cè)非線性的方式對(duì)上述誤差源引起的系統(tǒng)級(jí)誤差模型進(jìn)行了仿真試驗(yàn)驗(yàn)證,確定了各誤差源與加速度計(jì)非線性系數(shù)間的影響關(guān)系。最后,對(duì)主要誤差源(電路零位)優(yōu)化前后的MEMS加速度計(jì)振動(dòng)整流誤差和非線性系數(shù)進(jìn)行了測(cè)試對(duì)比,結(jié)果表明:優(yōu)化后,在50~1500 Hz頻率范圍內(nèi)MEMS加速度計(jì)二階非線性的最大值可由1E-4g/g2降至5E-6g/g2。

    MEMS加速度計(jì);振動(dòng)整流誤差;非線性;閉環(huán)平衡位置

    MEMS加速度計(jì)的環(huán)境適用性是衡量其工程化應(yīng)用水平的重要指標(biāo),隨著其檢測(cè)精度及溫度性能的不斷提升,振動(dòng)環(huán)境下的輸出誤差已成為其向高精度發(fā)展的主要瓶頸[1-2]。振動(dòng)整流誤差是評(píng)價(jià)加速度計(jì)在振動(dòng)環(huán)境下輸出漂移的有效方法,即當(dāng)輸入平均值為零的交流振動(dòng)加速度時(shí),加速度計(jì)輸出的直流平均值與無(wú)振動(dòng)輸入時(shí)的輸出值的差值除以振動(dòng)幅值有效值的平方在給定振動(dòng)能譜的環(huán)境下,加速度計(jì)通常在+1g位置安裝時(shí)測(cè)得的振動(dòng)誤差(振動(dòng)環(huán)境下加速度計(jì)的直流輸出值與無(wú)振動(dòng)時(shí)輸出值的差值)與-1g位置安裝時(shí)的測(cè)試值會(huì)有差異,且該差異隨振動(dòng)能譜的變化而變化。在實(shí)際工程應(yīng)用環(huán)境下,振動(dòng)誤差是評(píng)價(jià)加速度計(jì)性能的一項(xiàng)重要指標(biāo),但由于加速度計(jì)位置隨運(yùn)動(dòng)載體發(fā)生變化后(如:由+1g位置變?yōu)?1g位置),用一種位置下測(cè)得的振動(dòng)誤差不一定適用于另一個(gè)位置,可能造成實(shí)際輸出比標(biāo)稱誤差大的問(wèn)題。因此,有必要研究加速度計(jì)在不同安裝位置下振動(dòng)誤差存在差異的原因以及如何在誤差源頭上減小該振動(dòng)誤差的優(yōu)化方法。

    目前,對(duì)于MEMS加速度計(jì)非線性誤差的研究較多,而對(duì)其振動(dòng)誤差的報(bào)道則相對(duì)較少[3-6]。為了研究由閉環(huán)加速度計(jì)力矩器結(jié)構(gòu)非線性引起的振動(dòng)誤差的誤差機(jī)理,本文針對(duì)翹翹板擺式MEMS加速度計(jì)傳感器芯片的結(jié)構(gòu)不對(duì)稱性和電路零位誤差,從理論上推導(dǎo)了其對(duì)力矩器結(jié)構(gòu)非線性的影響關(guān)系,并通過(guò)系統(tǒng)級(jí)降階誤差模型的仿真確定了影響加速度計(jì)振動(dòng)誤差的主要誤差源及優(yōu)化方向,最后通過(guò)優(yōu)化前后的樣機(jī)測(cè)試對(duì)比,驗(yàn)證了該優(yōu)化方法的有效性。

    1 加速度計(jì)振動(dòng)誤差源分析

    1.1 力矩器結(jié)構(gòu)非線性分析

    對(duì)于閉環(huán)加速度計(jì),當(dāng)檢測(cè)質(zhì)量塊閉環(huán)平衡位置偏離幾何中心對(duì)稱位置時(shí),會(huì)造成力矩器結(jié)構(gòu)非線性問(wèn)題,而傳感器結(jié)構(gòu)誤差和電路零位誤差是影響檢測(cè)質(zhì)量塊閉環(huán)平衡位置偏差的兩個(gè)主要誤差源[7-10]。本文研究的翹翹板擺式MEMS加速度計(jì),其傳感器差分電容由一個(gè)翹翹板擺式單晶硅質(zhì)量塊與兩個(gè)固定的Pyrex玻璃極板構(gòu)成,每個(gè)Pyrex玻璃極板上有兩個(gè)獨(dú)立的與質(zhì)量塊電極對(duì)應(yīng)的金屬膜層電極,并通過(guò)陽(yáng)極鍵合形成“三明治”式傳感器結(jié)構(gòu)。在實(shí)際工藝制作過(guò)程中,由玻璃極板上金屬膜層制備及單晶硅質(zhì)量塊上的間隙刻蝕等工藝偏差,會(huì)造成傳感器芯片差分電容間隙的差異,實(shí)際的傳感器結(jié)構(gòu)誤差模型如圖1所示。

    圖1 傳感器結(jié)構(gòu)誤差模型Fig.1 Error model of the sensor structure

    圖1中:CS1和CS2分別為翹翹板式質(zhì)量塊與對(duì)應(yīng)玻璃電極組成的差分電容(該電容既是傳感器的檢測(cè)電容也是力矩器的施矩電容),其電容間隙由單晶硅檢測(cè)質(zhì)量塊的預(yù)刻蝕間隙D1和D2以及Pyrex玻璃極板上的金屬膜層電極厚度t1和t2共同決定,并最終形成有效的差分電容間隙d1和d2;A為差分電容的有效面積。差分電容值可用下式表示:

    當(dāng)差分電容間隙存在差異時(shí)會(huì)造成加速度計(jì)在閉環(huán)工作狀態(tài)下的力矩器結(jié)構(gòu)非線性,其等效誤差模型如圖2所示。

    圖2 力矩器結(jié)構(gòu)非線性誤差模型Fig.2 Error model of the actuator’s structure nonlinearity

    圖2中:Vref為施加在質(zhì)量塊上的預(yù)載電壓;l1和l2分別為翹翹板擺式質(zhì)量塊兩側(cè)邊緣到撓性梁轉(zhuǎn)動(dòng)根部的距離,對(duì)應(yīng)電容C11(或C21)和C12(或C22)面的長(zhǎng)度;w為質(zhì)量塊的寬度;+Vf和-Vf分別為閉環(huán)工作狀態(tài)下差分電極1和差分電極2上的反饋電壓;分別為差分電容間隙;θ為閉環(huán)狀態(tài)下質(zhì)量塊偏轉(zhuǎn)角。則傳感器差分電容可表示為:

    帶入差分電容結(jié)構(gòu)參數(shù)后,按冪級(jí)數(shù)展開(kāi)并略去高次項(xiàng)后可得到C11表的表達(dá)式:

    同理,還可得到C21、C12及C22的表達(dá)式。在閉環(huán)平衡狀態(tài)下,當(dāng)差分電容滿足C1=C2時(shí),可計(jì)算出質(zhì)量塊偏轉(zhuǎn)角θ與其偏移量Δd的關(guān)系式為:

    即質(zhì)量塊偏轉(zhuǎn)角θ與其偏移量Δd呈正比關(guān)系,此時(shí),質(zhì)量塊受到的靜電力反饋力矩、慣性力矩及撓性梁回復(fù)力矩相互平衡,并滿足如下關(guān)系式:

    式中:Me1和Me2分別為反饋力矩;ml為質(zhì)量塊的擺性;a為外界輸入加速度載荷。聯(lián)立式(6)~(8),再對(duì)式中各項(xiàng)按冪級(jí)數(shù)展開(kāi)并略去高次項(xiàng)后可得力矩器反饋電壓Vf(也作為閉環(huán)輸出電壓)與輸入加速度a滿足關(guān)系式:

    其中,Q2、Q1和Q0分別為與傳感器結(jié)構(gòu)及電學(xué)參數(shù)相關(guān)的常量,其表達(dá)式如下:

    即加速度計(jì)的輸出電壓與外界輸入加速度載荷間不再滿足線性關(guān)系,其非線性主要由二次項(xiàng)系數(shù)Q2決定,其大小與質(zhì)量塊偏移量Δd成正比。

    電路零位誤差引起的力矩器結(jié)構(gòu)非線性誤差是另外一個(gè)誤差源,在閉環(huán)工作狀態(tài)下會(huì)引起質(zhì)量塊發(fā)生偏轉(zhuǎn)。此時(shí),可令圖2中質(zhì)量塊偏移量Δd=0,僅考慮由電路零位誤差引起的質(zhì)量塊偏轉(zhuǎn)角θ帶來(lái)的影響,加速度計(jì)輸入a與輸出Vf的關(guān)系式可表示為:

    由此看出,由電路零位誤差引起的質(zhì)量塊偏轉(zhuǎn)角θ也會(huì)引起加速度計(jì)輸出與輸入的非線性誤差,且二次項(xiàng)系數(shù)與偏轉(zhuǎn)角成正比關(guān)系。

    1.2 振動(dòng)整流誤差仿真分析

    為了驗(yàn)證加速度計(jì)力矩器非線性對(duì)振動(dòng)整流誤差的影響關(guān)系,采用系統(tǒng)降階模型[8],分別對(duì)由傳感器芯片結(jié)構(gòu)不對(duì)稱性和電路零位誤差引起的力矩器結(jié)構(gòu)非線性進(jìn)行了振動(dòng)誤差的仿真和對(duì)比,以確定各誤差源對(duì)振動(dòng)誤差的影響量級(jí)。所以在仿真過(guò)程中,分別設(shè)置了兩種誤差源單獨(dú)影響下及共同影響下的誤差模型(傳感器結(jié)構(gòu)誤差用差分電容間隙差異的方式實(shí)現(xiàn),電路零位誤差用差分電容檢測(cè)電路支路并聯(lián)電容的方式實(shí)現(xiàn),兩種誤差均對(duì)加速度計(jì)閉環(huán)零偏值有影響),其誤差參數(shù)和加速度計(jì)零偏值如表1所示。

    表1 加速度計(jì)誤差模圖型參數(shù)Tab.1 Parameters of the accelerometer’s error model

    當(dāng)不考慮交叉耦合系數(shù)的影響時(shí),加速度計(jì)安裝時(shí)的輸入軸方向與振動(dòng)方向平行,并在振動(dòng)輸入為Asinωt時(shí)的輸出模型可簡(jiǎn)化為[11]:

    其中:E為加速度計(jì)輸出;K1為標(biāo)度因數(shù);K0為零偏;K2和K3分別為二階和三階非線性系數(shù);ai為輸入軸振動(dòng)加速度;gi為沿輸入軸方向的重力加速度分量。加速度計(jì)在+1g和-1g位置安裝時(shí),其直流輸出可分別表示為

    其中:BC1和BC2分別為兩種安裝位置下無(wú)振動(dòng)時(shí)加速度計(jì)的輸出偏值。振動(dòng)誤差可表示為加速度計(jì)在振動(dòng)時(shí)直流輸出值與無(wú)振動(dòng)時(shí)輸出值的差值:

    由式(14)~(16)可計(jì)算出在給定振動(dòng)幅值下的非線性系數(shù)分別為

    按照表一中6種不同的加速度計(jì)誤差模型參數(shù),對(duì)其進(jìn)行了100~1500 Hz的振動(dòng)(振動(dòng)幅值為5g)仿真試驗(yàn),其非線性系數(shù)計(jì)算結(jié)果分別如圖3和圖4所示。

    圖3 二階非線性仿真結(jié)果Fig.3 Simulation results of second-order nonlinearity

    圖4 三階非線性仿真結(jié)果Fig.4 Simulation results of third-order nonlinearity

    可以看出,傳感器結(jié)構(gòu)誤差與電路零位誤差都會(huì)對(duì)加速度計(jì)二階非線性產(chǎn)生影響。隨著電路零位誤差的增大,二階非線性也會(huì)增大。當(dāng)電路零位誤差引起加速度計(jì)零偏為-431.6 mg時(shí),低頻段二階非線性最大值可達(dá)7.7E-5g/g2;而當(dāng)傳感器結(jié)構(gòu)誤差引起加速度計(jì)零偏為-324.1 mg時(shí),低頻段二階非線性最大值可達(dá)2.8E-4g/g2,較電路零位誤差的影響大半個(gè)數(shù)量級(jí)左右,此時(shí)電路零位誤差的影響相對(duì)較小。但兩種誤差源對(duì)三階非線性的影響趨勢(shì)和量級(jí)相當(dāng),在低頻段的最大值約為1.4E-5g/g3。

    2 振動(dòng)測(cè)試結(jié)果

    由于本文研究的傳感器差分電容的不對(duì)稱性優(yōu)于1%,其對(duì)應(yīng)的閉環(huán)加速度計(jì)零偏值小于30 mg,所以,對(duì)于幾百mg零偏值的加速度計(jì),可認(rèn)為造成該零偏誤差的主要誤差源為電路零位誤差。因此,特意選取了2只零偏值較大(主要受到電路零位誤差的影響)的MEMS加速度計(jì)樣機(jī)(1#和2#),并對(duì)其質(zhì)量塊閉環(huán)平衡位置偏差進(jìn)行了調(diào)節(jié)(減小力矩器結(jié)構(gòu)非線性)[12],同時(shí)采用LDS公司的“V721-LPT400-LASER”振動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)對(duì)2只樣機(jī)調(diào)節(jié)前后的振動(dòng)特性進(jìn)行了測(cè)試對(duì)比。首先,按照?qǐng)D6所示的振動(dòng)能譜對(duì)2只優(yōu)化前后的樣機(jī)分別在±1g安裝位置下的振動(dòng)誤差(振動(dòng)環(huán)境下加速度計(jì)輸出的直流平均值與無(wú)振動(dòng)輸入時(shí)的輸出值的差值)進(jìn)行了測(cè)試,測(cè)試結(jié)果如表2所示;其次,按照式(13)~(18)所示振動(dòng)法測(cè)非線性的原理對(duì)2只優(yōu)化前后的加速度計(jì)樣機(jī)進(jìn)行了50~2000 Hz范圍的非線性測(cè)試。其測(cè)試結(jié)果如圖7和圖8所示。

    由表2中測(cè)試結(jié)果可以看出,通過(guò)減小加速度計(jì)檢測(cè)質(zhì)量塊閉環(huán)平衡位置偏差(主要受電路零位誤差影響),可將加速度計(jì)閉環(huán)零偏值減小一個(gè)數(shù)量級(jí)以上,且優(yōu)化前2只加速度計(jì)樣機(jī)在±1g安裝位置下的振動(dòng)誤差偏差較大,最大值分別為-0.80 mg和-1.18 mg,優(yōu)化后可分別減小至0.41 mg和0.42 mg。

    圖5 振動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)Fig.5 Vibration test system

    圖6 加速度計(jì)振動(dòng)能譜Fig.6 Vibrational energy spectra for accelerometers

    表2 優(yōu)化前后加速度計(jì)振動(dòng)誤差測(cè)試結(jié)果Tab.2 Test result of the accelerometer’s vibration

    圖7 優(yōu)化前后二階非線性測(cè)試結(jié)果Fig.7 Test results of second-order nonlinearity before and after optimization

    圖7和圖8中測(cè)試結(jié)果可以看出,優(yōu)化后,在50~1500 Hz頻率范圍內(nèi)加速度計(jì)的二階非線性最大值可由1E-4g/g2降至5E-6g/g2,而三階非線性在優(yōu)化前后并無(wú)顯著變化,其在50~1500 Hz頻率范圍內(nèi)的最大值分布在1.4E-5g/g3~2.0E-5g/g3之間。該測(cè)試結(jié)果與誤差模型的仿真結(jié)果趨勢(shì)和量級(jí)均吻合,說(shuō)明目前加速度計(jì)的二階非線性主要受電路零位誤差影響,但三階非線性與之相關(guān)性不強(qiáng),可能受到傳感器結(jié)構(gòu)、加速度計(jì)檢測(cè)電路的前向增益及PID控制環(huán)節(jié)[13]等因素影響,需要進(jìn)一步分析。

    綜合加速度計(jì)的振動(dòng)整流誤差理論和測(cè)試結(jié)果,在±1g安裝位置下的振動(dòng)誤差會(huì)同時(shí)受到二階和三階非線性的影響,當(dāng)兩者量級(jí)相當(dāng)時(shí)會(huì)造成±1g安裝位置下振動(dòng)誤差的差異較大。因此,為減小不同安裝位置下(非0g狀態(tài))振動(dòng)誤差的差異,還需研究如何減小三階非線性影響的問(wèn)題。

    圖8 優(yōu)化前后三階非線性測(cè)試結(jié)果Fig.8 Test results of third-order nonlinearity before and after optimization

    3 結(jié) 論

    本文從加速度計(jì)力矩器結(jié)構(gòu)的非線性對(duì)其振動(dòng)整流誤差的影響入手。首先,從理論上分析了傳感器結(jié)構(gòu)的不對(duì)稱性和電路零位誤差對(duì)力矩器結(jié)構(gòu)非線性的影響關(guān)系;其次,通過(guò)加速度計(jì)系統(tǒng)級(jí)降階誤差模型對(duì)兩種誤差源引起的振動(dòng)誤差進(jìn)行了仿真分析;最后,通過(guò)2只零位較大的加速度計(jì)樣機(jī)(主要受電路零位誤差影響)在質(zhì)量塊閉環(huán)平衡位置偏差優(yōu)化前后的振動(dòng)誤差測(cè)試對(duì)比,驗(yàn)證了通過(guò)減小電路零位誤差可將加速度計(jì)的二階非線性減小一個(gè)數(shù)量級(jí)以上,并相應(yīng)地減小了振動(dòng)誤差。但是,當(dāng)三階非線性的大小與二階非線性的大小可比擬時(shí),振動(dòng)誤差會(huì)同時(shí)受到兩者的影響。為了進(jìn)一步減小加速度計(jì)振動(dòng)誤差的量級(jí)以及在±1g安裝位置下振動(dòng)誤差的差異:一方面,可從工藝角度繼續(xù)提升MEMS傳感器結(jié)構(gòu)的對(duì)稱性,以降低加速度計(jì)的二階非線性;另一方面,需要研究影響加速度計(jì)三階非線性的誤差機(jī)理,以降低其對(duì)振動(dòng)誤差的貢獻(xiàn)。

    (References):

    [1]Zwahlen P, Dong Y F, Nguyen A M, et al.Breakthrough in high performance inertial navigation grade Sigma-Delta MEMS accelerometer[C]//IEEE Position Location& Navigation Symposium.2012: 15-19.

    [2]Ullah P, Ragot V, Zwahlen P, et al.A new high performance Sigma-Delta MEMS accelerometer for inertial navigation[C]//Inertial Sensors & Systems Symposium.2015: 1-13.

    [3]李童杰, 劉云峰, 董景新, 等.一種減小微機(jī)械加速度計(jì)振動(dòng)偏移的方案[J].振動(dòng)、測(cè)試與診斷, 2011, 31(5):655-658.Li T J, Liu Y F, Dong J X, et al.Method for reducing vibration deflection on micromechanical accelerometer[J].Journal of Vibration, Measurement & Diagnosis, 2011,31(5): 655-658.

    [4]萬(wàn)蔡辛, 李丹東, 張承亮, 等.電容式微加速度計(jì)的整流誤差與減震淺析[C]//慣性技術(shù)發(fā)展動(dòng)態(tài)發(fā)展方向研討會(huì)文集.2011: 204-211.Wan C X, Li D D, Zhang C L, et al.Study on vibration isolation and rectification-error of capacitive micro accelerometers[C]//Proceedings of Development Tendency and Direction on Inertial Technology.2011: 204-211.

    [5]魯金瑞, 任順清, 王常虹.振動(dòng)整流法辨識(shí)加速度計(jì)非線性誤差模型系數(shù)[J].儀器儀表學(xué)報(bào), 2013,34(9):2130-2136.Lu J R, Ren S Q, Wang C H.Identification method of accelerometer nonlinear error model coefficients with vibration rectification[J].Chinese Journal Scientific Instrument, 2013, 34(9): 2130-2136.

    [6]Christel L A, Bernstein M, Craddock R, et al.Vibration rectification in silicon micromachined accelerometers[C]//International Conference on Solid-State Sensors and Actuators.1991: 89-92.

    [7]Xiao P, Liu L, Wang X B, et al.Nonlinearity analysis of a capacitance detector diodes circuit for closed-loop micro-silicon accelerometer[C]//Proceedings of the 35th Chinese Control Conference.2016: 5601-5604.

    [8]肖鵬, 孫國(guó)良, 劉林, 等.大量程閉環(huán)MEMS加速度計(jì)非線性分析與優(yōu)化[J].中國(guó)慣性技術(shù)學(xué)報(bào), 2016, 24(6):734-738.Xiao P, Sun G L, Liu L, et al.Analysis and optimization on nonlinearity of large-range closed-loop MEMS acelerometer[J].Journal of Chinese Inertial Technology,2016, 24(6): 734-738.

    [9]劉爽, 劉云峰, 董景新.閉環(huán)點(diǎn)位置對(duì)靜電懸浮加速度計(jì)性能影響研究[J].儀器儀表學(xué)報(bào), 2015, 36(7): 1618-1625.Liu S, Liu Y F, Dong J X.Investigation on influence of the closed-loop position on performance of electrostatically suspended accelerometer[J].Chinese Journal of Scientific instrument, 2015, 36(7): 1618-1625.

    [10]Fan D, Liu Y F, Han F T, et al.Identification and adjustment of the position and attitude for the electrostatic accelerometer’s proof mass[J].Sensors and Actuators A: Physical, 2012, 187: 190-193.

    [11]IEEE Std 1293TM-R2008.IEEE standard specification format guide and test procedure for linear, single-axis,non-gyroscopic accelerometers[S].Gyro and Accelerometer Panel of the IEEE Aerospace and Electronic Systems Society.

    [12]Xiao P, Liu L, Wang X B, et al.Nonlinearity compensation of closed-loop micro-silicon accelerometer[J].Journal of Chinese Inertial Technology, 2016, 24(3): 394-398.

    [13]Rojo D M.Systems and methods for vibration rectification error reduction in closed-loop accelerometer systems:US, 8086328[P].2011-12-27.

    Vibration rectification error of the see-saw type MEMS accelerometer

    XIAO Peng1,2, SUN Guo-liang2, LIU Lin1, WANG Xiao-bin2, SUN Jun-jie2, YU Cai-jia2
    (1.School of Automation, Northwestern Polytechnical University, Xi’an 710072, China; 2.Department of Inertial Navigation, Flight Automatic Control Research Institute of AVIC, Xi’an 710065, China)

    MEMS accelerometers have the advantages of small volume, low cost, high reliability and easy-tobatch production, which make them have wide application in the field of tactical grade weapons.But the output error induced by vibration (vibration rectification error, VRE) is the main error degrading their performances for inertial navigation grade applications.In order to suppress the VRE, the structure nonlinearity of the actuator caused by asymmetry of the sensor chip and electronic offset error was theoretically analyzed, then the resulted system level error model was simulated according to the vibration calibration tests, and the relationship between nonlinearity coefficients and error sources was determined.At last, the comparison tests for the VRE and nonlinearity coefficients of the MEMS accelerometer before and after main error source (electronic offset) optimization were done.The results show that the second order nonlinearity of the MEMS accelerometer can be depressed from 1E-4g/g2to 5E-6g/g2after the optimization.

    MEMS accelerometer; vibration rectification error; nonlinearity; closed loop position

    U666.1

    A

    1005-6734(2017)05-0690-05

    10.13695/j.cnki.12-1222/o3.2017.05.023

    2017-07-18;

    2017-09-04

    國(guó)際合作項(xiàng)目—高精度微機(jī)電系統(tǒng)制造技術(shù)合作研究(2011DFA72370)

    肖鵬(1980—),男,博士研究生,高級(jí)工程師,從事MEMS慣性傳感器技術(shù)研究。E-mail: 13259907859@163.com

    猜你喜歡
    零位加速度計(jì)閉環(huán)
    基于加速度計(jì)的起重機(jī)制動(dòng)下滑量測(cè)量
    無(wú)刷力矩電機(jī)零位設(shè)計(jì)技術(shù)研究
    電機(jī)零位對(duì)電動(dòng)汽車能耗影響研究
    基于遺傳算法的加速度計(jì)免轉(zhuǎn)臺(tái)標(biāo)定方法
    單周期控制下雙輸入Buck變換器閉環(huán)系統(tǒng)設(shè)計(jì)
    黑龍江電力(2017年1期)2017-05-17 04:25:05
    雙閉環(huán)模糊控制在石化廢水處理中的研究
    常溫下硅微諧振加速度計(jì)零偏穩(wěn)定性的提高
    最優(yōu)價(jià)格與回收努力激勵(lì)的閉環(huán)供應(yīng)鏈協(xié)調(diào)
    一種基于全閉環(huán)實(shí)時(shí)數(shù)字物理仿真的次同步振蕩阻尼控制
    霍爾傳感器零位特性及補(bǔ)償方法研究
    一级毛片黄色毛片免费观看视频| videosex国产| 少妇人妻精品综合一区二区| 啦啦啦视频在线资源免费观看| 美女内射精品一级片tv| 国产亚洲精品久久久com| 人人澡人人妻人| 久久韩国三级中文字幕| 高清av免费在线| 精品一区二区三区四区五区乱码 | av网站免费在线观看视频| 男女下面插进去视频免费观看 | 亚洲国产色片| 亚洲欧洲日产国产| 亚洲欧洲国产日韩| 日本av免费视频播放| 日韩伦理黄色片| av片东京热男人的天堂| 激情五月婷婷亚洲| 久久精品久久精品一区二区三区| 日韩欧美精品免费久久| 色视频在线一区二区三区| 日日摸夜夜添夜夜爱| 老司机亚洲免费影院| 日韩一区二区三区影片| 三上悠亚av全集在线观看| 国产一区有黄有色的免费视频| av视频免费观看在线观看| 亚洲国产日韩一区二区| 老司机影院毛片| a级毛片在线看网站| 91aial.com中文字幕在线观看| 又大又黄又爽视频免费| 母亲3免费完整高清在线观看 | av黄色大香蕉| 水蜜桃什么品种好| 欧美精品亚洲一区二区| 韩国av在线不卡| 香蕉精品网在线| 久久久a久久爽久久v久久| av视频免费观看在线观看| 日本黄色日本黄色录像| 一级毛片黄色毛片免费观看视频| 边亲边吃奶的免费视频| 亚洲美女黄色视频免费看| 国产成人免费观看mmmm| 一本—道久久a久久精品蜜桃钙片| 男女国产视频网站| 国产免费视频播放在线视频| 婷婷色综合www| 秋霞在线观看毛片| 国产爽快片一区二区三区| 91精品三级在线观看| 在线观看免费视频网站a站| 十八禁网站网址无遮挡| 精品熟女少妇av免费看| 成人手机av| 一级毛片 在线播放| 久久ye,这里只有精品| 男男h啪啪无遮挡| 少妇 在线观看| 男人舔女人的私密视频| 精品人妻在线不人妻| 日本黄色日本黄色录像| 边亲边吃奶的免费视频| 成人国产麻豆网| 精品久久国产蜜桃| 毛片一级片免费看久久久久| 少妇 在线观看| 极品少妇高潮喷水抽搐| 97超碰精品成人国产| 免费看光身美女| 国产免费一级a男人的天堂| 最黄视频免费看| 高清av免费在线| 精品少妇内射三级| 亚洲精品第二区| 丁香六月天网| 中国美白少妇内射xxxbb| 大陆偷拍与自拍| 免费人妻精品一区二区三区视频| 日韩大片免费观看网站| 欧美性感艳星| 国语对白做爰xxxⅹ性视频网站| 水蜜桃什么品种好| 高清毛片免费看| 亚洲欧美成人精品一区二区| 在线天堂最新版资源| av在线观看视频网站免费| 亚洲成国产人片在线观看| 人人澡人人妻人| 热99国产精品久久久久久7| 国产精品久久久久久久久免| 天天影视国产精品| 国产在线视频一区二区| 亚洲av日韩在线播放| 免费在线观看黄色视频的| 欧美少妇被猛烈插入视频| 中文字幕av电影在线播放| 亚洲人与动物交配视频| 伊人久久国产一区二区| 国产伦理片在线播放av一区| 天堂中文最新版在线下载| 欧美日韩精品成人综合77777| 一级片'在线观看视频| 高清不卡的av网站| 欧美xxxx性猛交bbbb| 久久精品国产鲁丝片午夜精品| 另类亚洲欧美激情| 看十八女毛片水多多多| 国产黄色免费在线视频| 日日撸夜夜添| 人人澡人人妻人| 秋霞在线观看毛片| 国产xxxxx性猛交| 久久女婷五月综合色啪小说| 1024视频免费在线观看| 亚洲一级一片aⅴ在线观看| 亚洲欧美日韩卡通动漫| 麻豆乱淫一区二区| 国产色爽女视频免费观看| 亚洲国产日韩一区二区| 18在线观看网站| 黑人高潮一二区| 免费观看无遮挡的男女| 97精品久久久久久久久久精品| 在线观看一区二区三区激情| 女人久久www免费人成看片| 亚洲精品日韩在线中文字幕| 色吧在线观看| 在线观看美女被高潮喷水网站| av女优亚洲男人天堂| 涩涩av久久男人的天堂| 伦理电影大哥的女人| 最新的欧美精品一区二区| 大码成人一级视频| 美女内射精品一级片tv| 纯流量卡能插随身wifi吗| 国产午夜精品一二区理论片| 大话2 男鬼变身卡| 亚洲av成人精品一二三区| 国产精品女同一区二区软件| 亚洲欧美中文字幕日韩二区| 老女人水多毛片| 成人亚洲精品一区在线观看| 黄片无遮挡物在线观看| 欧美国产精品一级二级三级| 热re99久久国产66热| 成人二区视频| 欧美亚洲日本最大视频资源| 亚洲第一av免费看| 男女无遮挡免费网站观看| 捣出白浆h1v1| 欧美亚洲 丝袜 人妻 在线| 日韩av免费高清视频| 最近手机中文字幕大全| 精品亚洲乱码少妇综合久久| 免费大片黄手机在线观看| 亚洲美女黄色视频免费看| 中文精品一卡2卡3卡4更新| 丰满少妇做爰视频| 久久久久久久国产电影| 国产在线视频一区二区| 街头女战士在线观看网站| 国产片内射在线| 亚洲人与动物交配视频| h视频一区二区三区| 午夜福利网站1000一区二区三区| 免费不卡的大黄色大毛片视频在线观看| 精品卡一卡二卡四卡免费| 如何舔出高潮| 精品少妇黑人巨大在线播放| 国产精品久久久久成人av| 亚洲图色成人| 精品少妇黑人巨大在线播放| 在线观看免费日韩欧美大片| 亚洲内射少妇av| 国产亚洲精品久久久com| 新久久久久国产一级毛片| 国产白丝娇喘喷水9色精品| 少妇被粗大猛烈的视频| 人人澡人人妻人| 啦啦啦啦在线视频资源| 国产毛片在线视频| 91午夜精品亚洲一区二区三区| 一级片'在线观看视频| 国产精品嫩草影院av在线观看| 国产一区有黄有色的免费视频| 美女脱内裤让男人舔精品视频| 成人国语在线视频| 99久久综合免费| 内地一区二区视频在线| 精品人妻熟女毛片av久久网站| 久久99蜜桃精品久久| 丰满迷人的少妇在线观看| 麻豆乱淫一区二区| 国产不卡av网站在线观看| 亚洲精品乱码久久久久久按摩| 免费av中文字幕在线| 亚洲国产色片| 夜夜爽夜夜爽视频| 亚洲欧美一区二区三区黑人 | 丰满乱子伦码专区| 五月天丁香电影| 国产xxxxx性猛交| 午夜福利在线观看免费完整高清在| av片东京热男人的天堂| av国产久精品久网站免费入址| 久久精品国产亚洲av天美| videosex国产| 亚洲欧美成人综合另类久久久| 黄色毛片三级朝国网站| 18禁观看日本| av有码第一页| 最新中文字幕久久久久| 国产成人免费无遮挡视频| 精品99又大又爽又粗少妇毛片| 日本黄色日本黄色录像| 最新中文字幕久久久久| 99久久综合免费| 精品亚洲成a人片在线观看| 国产av码专区亚洲av| 亚洲av.av天堂| 最近手机中文字幕大全| 高清毛片免费看| 国产av精品麻豆| 少妇的丰满在线观看| 久久国内精品自在自线图片| 亚洲第一av免费看| 男的添女的下面高潮视频| 激情五月婷婷亚洲| 亚洲人与动物交配视频| 热99久久久久精品小说推荐| 天天躁夜夜躁狠狠久久av| 国产亚洲最大av| 韩国av在线不卡| 亚洲久久久国产精品| 最黄视频免费看| 精品卡一卡二卡四卡免费| 国产色爽女视频免费观看| 久久人妻熟女aⅴ| 精品久久蜜臀av无| 亚洲国产色片| 少妇被粗大的猛进出69影院 | 天堂8中文在线网| 女的被弄到高潮叫床怎么办| 女性生殖器流出的白浆| 菩萨蛮人人尽说江南好唐韦庄| 丝袜美足系列| 丁香六月天网| 日本黄大片高清| 男女边吃奶边做爰视频| 欧美xxxx性猛交bbbb| 亚洲国产精品999| 制服诱惑二区| 在线观看免费高清a一片| av黄色大香蕉| 国产成人精品无人区| 狂野欧美激情性xxxx在线观看| 久久久久久久久久成人| 男人操女人黄网站| 亚洲精品av麻豆狂野| 十八禁高潮呻吟视频| 高清黄色对白视频在线免费看| 自拍欧美九色日韩亚洲蝌蚪91| 欧美精品亚洲一区二区| 人人妻人人爽人人添夜夜欢视频| 日本午夜av视频| 91精品国产国语对白视频| 极品少妇高潮喷水抽搐| 满18在线观看网站| 国产亚洲最大av| 如何舔出高潮| 最近中文字幕2019免费版| 国产成人精品婷婷| 麻豆乱淫一区二区| 日韩,欧美,国产一区二区三区| 日韩伦理黄色片| 性色avwww在线观看| 久久国产精品男人的天堂亚洲 | 秋霞在线观看毛片| 国产探花极品一区二区| 国产国语露脸激情在线看| 我要看黄色一级片免费的| 久久精品aⅴ一区二区三区四区 | 亚洲av日韩在线播放| 精品一区在线观看国产| 啦啦啦啦在线视频资源| 久久女婷五月综合色啪小说| 精品午夜福利在线看| 美女国产高潮福利片在线看| 日韩成人伦理影院| 日本午夜av视频| 最近手机中文字幕大全| 赤兔流量卡办理| 26uuu在线亚洲综合色| 欧美国产精品va在线观看不卡| 国产又色又爽无遮挡免| av福利片在线| av国产久精品久网站免费入址| 日本欧美视频一区| 男女啪啪激烈高潮av片| 久久综合国产亚洲精品| 纯流量卡能插随身wifi吗| 青春草亚洲视频在线观看| 国产爽快片一区二区三区| 99视频精品全部免费 在线| 国产精品人妻久久久影院| 免费黄色在线免费观看| 亚洲国产日韩一区二区| 亚洲av.av天堂| 97人妻天天添夜夜摸| 国产一区二区三区综合在线观看 | 乱人伦中国视频| 天堂中文最新版在线下载| av一本久久久久| 纯流量卡能插随身wifi吗| 午夜福利在线观看免费完整高清在| 久久ye,这里只有精品| 九九爱精品视频在线观看| 永久网站在线| 狂野欧美激情性xxxx在线观看| 亚洲国产成人一精品久久久| 你懂的网址亚洲精品在线观看| 一级毛片电影观看| 中文字幕亚洲精品专区| 在线天堂最新版资源| 久久久精品94久久精品| 飞空精品影院首页| 国产成人精品在线电影| 日韩三级伦理在线观看| 国产 精品1| 欧美激情极品国产一区二区三区 | 久久久a久久爽久久v久久| 天天操日日干夜夜撸| 精品第一国产精品| 99久久人妻综合| 纵有疾风起免费观看全集完整版| 国产成人av激情在线播放| 精品亚洲成a人片在线观看| 亚洲精品久久久久久婷婷小说| 丝袜美足系列| 精品一品国产午夜福利视频| 最黄视频免费看| 国产精品嫩草影院av在线观看| 精品人妻熟女毛片av久久网站| 爱豆传媒免费全集在线观看| 国产乱来视频区| 岛国毛片在线播放| 大码成人一级视频| 婷婷成人精品国产| 免费观看av网站的网址| 中文字幕最新亚洲高清| 熟妇人妻不卡中文字幕| 午夜福利网站1000一区二区三区| 一区二区三区四区激情视频| 国产一区有黄有色的免费视频| 国产精品国产三级专区第一集| 久久午夜福利片| 午夜福利乱码中文字幕| 日本午夜av视频| 在线 av 中文字幕| 国产探花极品一区二区| 极品人妻少妇av视频| 美女国产高潮福利片在线看| 成年人免费黄色播放视频| 精品久久蜜臀av无| 啦啦啦啦在线视频资源| 你懂的网址亚洲精品在线观看| 天堂8中文在线网| 免费少妇av软件| av播播在线观看一区| 婷婷色综合www| 国产探花极品一区二区| 精品久久蜜臀av无| 女人被躁到高潮嗷嗷叫费观| 成人毛片a级毛片在线播放| 日韩成人av中文字幕在线观看| 国产亚洲av片在线观看秒播厂| 久久99蜜桃精品久久| 老司机影院成人| 国产欧美亚洲国产| 夫妻午夜视频| 久久精品国产a三级三级三级| 22中文网久久字幕| 王馨瑶露胸无遮挡在线观看| 国产伦理片在线播放av一区| 亚洲精品色激情综合| 亚洲国产欧美日韩在线播放| 国产有黄有色有爽视频| 两个人看的免费小视频| 欧美97在线视频| 国产欧美日韩综合在线一区二区| 人妻少妇偷人精品九色| 久久精品人人爽人人爽视色| av天堂久久9| 少妇精品久久久久久久| 久久精品国产自在天天线| 欧美xxxx性猛交bbbb| 肉色欧美久久久久久久蜜桃| 免费观看性生交大片5| 久久国产精品男人的天堂亚洲 | 三上悠亚av全集在线观看| 最新的欧美精品一区二区| av电影中文网址| 国产毛片在线视频| 国产国拍精品亚洲av在线观看| 亚洲图色成人| 免费人妻精品一区二区三区视频| 大香蕉97超碰在线| 黑丝袜美女国产一区| 搡老乐熟女国产| 午夜影院在线不卡| 成人国产麻豆网| 另类精品久久| 天天操日日干夜夜撸| 国内精品宾馆在线| 大陆偷拍与自拍| 国产精品久久久久久av不卡| 99re6热这里在线精品视频| 国产男女内射视频| 丝瓜视频免费看黄片| 中文欧美无线码| 国产精品熟女久久久久浪| 欧美日韩一区二区视频在线观看视频在线| 9色porny在线观看| 国产深夜福利视频在线观看| 只有这里有精品99| 老司机影院成人| 免费高清在线观看日韩| 久久青草综合色| av视频免费观看在线观看| 亚洲综合色惰| 国产无遮挡羞羞视频在线观看| 捣出白浆h1v1| 亚洲伊人久久精品综合| 一级黄片播放器| 免费看光身美女| 在线观看三级黄色| 乱码一卡2卡4卡精品| 男人操女人黄网站| 一边摸一边做爽爽视频免费| 国产女主播在线喷水免费视频网站| 一本大道久久a久久精品| 国产白丝娇喘喷水9色精品| 日本av手机在线免费观看| 18+在线观看网站| 九色成人免费人妻av| 一个人免费看片子| 草草在线视频免费看| 18禁动态无遮挡网站| 欧美精品一区二区免费开放| 一级黄片播放器| 久久久亚洲精品成人影院| xxxhd国产人妻xxx| 免费黄频网站在线观看国产| a级毛片在线看网站| 观看美女的网站| 国产精品国产av在线观看| 日韩av免费高清视频| 久久国产精品男人的天堂亚洲 | 国产爽快片一区二区三区| 超色免费av| 精品一区二区三区视频在线| 黄色配什么色好看| 多毛熟女@视频| 少妇精品久久久久久久| 亚洲一区二区三区欧美精品| 欧美精品亚洲一区二区| 伦理电影大哥的女人| 两个人看的免费小视频| 免费黄网站久久成人精品| 亚洲av欧美aⅴ国产| 欧美国产精品va在线观看不卡| 午夜影院在线不卡| 丁香六月天网| 99热网站在线观看| 亚洲少妇的诱惑av| 国产麻豆69| 国产精品熟女久久久久浪| 国产av码专区亚洲av| 午夜老司机福利剧场| 亚洲av综合色区一区| 丝袜人妻中文字幕| 国产黄色视频一区二区在线观看| 久久人人97超碰香蕉20202| 制服诱惑二区| 欧美丝袜亚洲另类| 久久久久国产网址| 综合色丁香网| 日韩一区二区视频免费看| 一级毛片 在线播放| 国产69精品久久久久777片| 成人免费观看视频高清| 高清不卡的av网站| 精品亚洲成国产av| 国产欧美另类精品又又久久亚洲欧美| 亚洲图色成人| 欧美精品一区二区免费开放| 天堂俺去俺来也www色官网| 国产精品国产三级国产专区5o| 国语对白做爰xxxⅹ性视频网站| 另类亚洲欧美激情| 青春草亚洲视频在线观看| 免费在线观看完整版高清| 黑人欧美特级aaaaaa片| 人妻一区二区av| 校园人妻丝袜中文字幕| 亚洲精品美女久久久久99蜜臀 | 久久久久视频综合| 乱人伦中国视频| 少妇人妻久久综合中文| 精品亚洲乱码少妇综合久久| 国产精品国产三级专区第一集| 丰满饥渴人妻一区二区三| 亚洲国产精品一区二区三区在线| 爱豆传媒免费全集在线观看| 新久久久久国产一级毛片| 桃花免费在线播放| 高清欧美精品videossex| 国产在线免费精品| 黑人欧美特级aaaaaa片| 精品人妻一区二区三区麻豆| 99热网站在线观看| tube8黄色片| 国产午夜精品一二区理论片| 欧美精品av麻豆av| 亚洲精品美女久久久久99蜜臀 | av网站免费在线观看视频| 久久精品夜色国产| av.在线天堂| 久久ye,这里只有精品| 久热这里只有精品99| 精品一区在线观看国产| 美女中出高潮动态图| 日韩中文字幕视频在线看片| 高清毛片免费看| 日韩不卡一区二区三区视频在线| 一级毛片我不卡| 寂寞人妻少妇视频99o| 97人妻天天添夜夜摸| 不卡视频在线观看欧美| 9色porny在线观看| 少妇被粗大的猛进出69影院 | 亚洲国产色片| 男女啪啪激烈高潮av片| 三级国产精品片| 国产日韩欧美在线精品| 夫妻午夜视频| 高清视频免费观看一区二区| 一二三四中文在线观看免费高清| 午夜免费观看性视频| 久久久久人妻精品一区果冻| 亚洲久久久国产精品| av免费观看日本| 亚洲少妇的诱惑av| 少妇被粗大猛烈的视频| 伊人久久国产一区二区| 欧美日韩精品成人综合77777| 久久久久久人人人人人| 制服诱惑二区| 大片免费播放器 马上看| 免费观看av网站的网址| 国产精品久久久久久精品电影小说| 国产在线视频一区二区| 久久精品国产综合久久久 | 人成视频在线观看免费观看| 亚洲五月色婷婷综合| 成年人免费黄色播放视频| 丝袜美足系列| 亚洲第一区二区三区不卡| 午夜老司机福利剧场| 日本黄大片高清| 99久国产av精品国产电影| 午夜日本视频在线| 亚洲成人一二三区av| 免费人妻精品一区二区三区视频| 三上悠亚av全集在线观看| 最新中文字幕久久久久| 亚洲国产毛片av蜜桃av| 99热网站在线观看| 天天影视国产精品| 久久久久人妻精品一区果冻| 免费少妇av软件| 久久ye,这里只有精品| 免费人成在线观看视频色| 亚洲国产av影院在线观看| 久久久久久久大尺度免费视频| 制服诱惑二区| 高清在线视频一区二区三区| 蜜臀久久99精品久久宅男| 久久久久久久大尺度免费视频| 国产成人91sexporn| 久久久精品区二区三区| 国产一区二区在线观看av| 伊人久久国产一区二区| 有码 亚洲区| 国产xxxxx性猛交| 青春草亚洲视频在线观看| 国产免费又黄又爽又色| 久久久久久伊人网av| 一级爰片在线观看| 免费大片18禁| 国产成人欧美| 久久久久视频综合| 日韩视频在线欧美| 美女xxoo啪啪120秒动态图| 日韩电影二区| 国产综合精华液| 九九在线视频观看精品| 亚洲欧美一区二区三区国产| 考比视频在线观看| 精品少妇久久久久久888优播| av.在线天堂| 91精品伊人久久大香线蕉|