潔凈廠房的檢測分析

龍曉凱

摘 要：筆者參照液晶顯示器面板制造潔凈廠房的實際特征，針對高空間、大面積以及FFU數(shù)量巨大的電子工業(yè)潔凈室工程性能參數(shù)的實際檢測方式進行了相應的分析和探究，通過數(shù)據(jù)檢測的方式來完成實驗任務，經(jīng)過論證、實驗和對比分析之后，對潔凈廠房的檢測方式進行了分析，同時可以提高工作效率，保證檢測質(zhì)量，縮短檢測時間，促使最終的檢測結(jié)果更具精準度。

關(guān)鍵詞：潔凈廠房；檢測；分析

DOI：10.16640/j.cnki.37-1222/t.2017.21.219

自從進入到二十一世紀以來，我國的科學技術(shù)發(fā)展水平就在不斷提提高，隨之而來電子工業(yè)的發(fā)展腳步也隨之加快，集成電路芯片制造以及液晶顯示面板制造生產(chǎn)廠家的運作和發(fā)展也趨于成熟，高世代的TFT-LCD生產(chǎn)線中涵蓋著8.5代生產(chǎn)線國內(nèi)已經(jīng)有數(shù)十條生產(chǎn)線正在處于建設過程中，特別是12英寸的晶圓生產(chǎn)線有多條已經(jīng)建成，同時投入到生產(chǎn)之中，正式因為產(chǎn)品生產(chǎn)工藝的實際特征，導致這類的生產(chǎn)用潔凈廠房的實際需求度是極高的，此時，就需要對廠房的潔凈程度予以全方面的檢測，筆者基于此問題進行了分析和歸納。

1 對于潔凈廠房檢測參數(shù)和技術(shù)指標的分析

電子工業(yè)潔凈廠房環(huán)境參數(shù)可以直接給產(chǎn)品的良品率帶來極大的影響，確保潔凈室之內(nèi)動態(tài)環(huán)境下和靜態(tài)環(huán)境下的每一項餐參數(shù)都應當符合設計的內(nèi)容需要，通常情況下，電子潔凈廠房對于各類參數(shù)的要求都是極為嚴格的，比如，對于排氣量、新風量、工藝排氣、FFU安裝檢漏、溫濕度、照度、靜壓差、防靜電、FFU風速、潔凈度等級、噪聲以及氣流流型等因素的控制需求都是極其嚴格和嚴謹?shù)?，不僅如此，還有其中的超純水測試以及超純氣體測試都是必要的，筆者對潔凈室的參數(shù)測試方式進行了相應的分析，以某8.5液晶面板生產(chǎn)線的彩膜和成盒廠房為例進行探討，對其實際測試參數(shù)和相關(guān)技術(shù)指標予以闡述[1]。

2 對于FFU面風速測試方式的分析

FFU面風速測試過程中，需要結(jié)合相關(guān)的技術(shù)標準《潔凈廠房施工及質(zhì)量驗收規(guī)范》GB51110及ISO14644-3中的內(nèi)容要求，在對過濾網(wǎng)予以測試時，需要在過濾網(wǎng)的1.5分米的位置應用多點風速儀或是單點風速儀在網(wǎng)面之上合理的布置測試點，每一點的均值都應當是過濾網(wǎng)面的風速值。在實施檢測工作的過程中，因為液晶顯示面板潔凈廠房的凈高較高，測試工作的落實需要利用移動式升降機亦或是長桿的作用，落實檢測工作，但是它的檢測效率相對較差，同時高空作業(yè)也會具有一定程度的安全隱患，不僅如此，受到建設工期的限制和制約，測試工作量的巨大也會導致測試時間相應的增加，如果想要在規(guī)定時間之內(nèi)完成檢測任務，那么就會導致時間過緊，此時的產(chǎn)品投入到工藝運作生產(chǎn)之中，將會致使井字架或是升降機難以正常運行，風速測試工作的落實也會層層受阻[2]。

基于此，實際的測試工作落實之后，需要將其移動到技術(shù)夾層之內(nèi)，應用電子式風量罩來對FFU風機側(cè)進風予以檢測，如果將其換位過濾網(wǎng)來完成風速值的測試工作，亦或是將風量罩之上設置相應的尺寸，對過濾網(wǎng)的風速予以讀出，想要使測試更為精準，可以通過對比實驗的方式，來提高測量的精準度和科學性，可在1.2米*1.2米的截面之上取四個點，與此同時，可以在FFU之上的風側(cè)之上的技術(shù)夾層之中的風機側(cè)，借助風量罩來完成測量任務，而后完成數(shù)據(jù)的讀取，從首次的測量數(shù)據(jù)讀取過程中，可知風量罩以及多點風速儀的測試都會體現(xiàn)出一定的誤差，這就顯示了FFU風機測量實際的進風量，此測量方式具有一定的可行性。或可使用粒子技術(shù)方式來完成FFU泄漏檢測任務[3]。

粒子技術(shù)方法的實施，實際的影響因素主要有兩個，其一為測量用塵源，其二為上方塵源濃度?；趬m源這一問題，已經(jīng)有技術(shù)標準來對其予以規(guī)范，我國國內(nèi)大多都使用人工塵源的方式，比如，有PAO、DEHS、DOP以及PSL等，而筆者經(jīng)過分析之后，認為潔凈廠房對于潔凈度的需求等級為ISO，以及五級混合流潔凈室的FFU檢泄漏檢測，所應用的大氣塵源大多能夠符合塵源檢測的粒徑或是濃度需要，同時人工塵源檢測也具有較大的優(yōu)勢，體現(xiàn)出小批量生產(chǎn)中對于空氣過濾器泄露檢測的精準度，具有一定的穩(wěn)定性，另外，檢測時間以及費用等也可以被接受。

如果空氣過濾器的數(shù)量較為巨大，那么，將會極其繁雜，不僅費時費力，同時它的實際可操作性能也極差，特別是受到時間成本的影響，如若此時應用大氣塵作為塵源，此時的測量方式將會相對較為便捷，檢測過程中，僅僅需要在區(qū)域范圍內(nèi)引入一定的風量，同時可以在過濾器之上的位置實施取樣測試，最終確定塵源的濃度，而其他的操作都應當在過濾網(wǎng)的下方來完成。

結(jié)合相關(guān)的技術(shù)規(guī)范需要，應當對采樣流量的規(guī)定內(nèi)容，以及采樣頭的尺寸以及速率等，保證規(guī)格為1200*1200的FFU測試時間超出五分鐘的范圍，確保一個測試人員、測試的機器以及儀器設備等都可以符合測量需要。

3 對于溫濕度的測試方式分析

電子工業(yè)潔凈廠房溫濕度精度要求，溫濕度的精度應當控制在±0.5攝氏度的范圍之內(nèi)，而濕度精度則應當控制在±5%，此時需要參照有關(guān)的技術(shù)標準，對溫濕度進行合理的設置，對測試點的數(shù)量和位置予以確定，將測量點控制在150點左右，實現(xiàn)均勻的分布，這樣將會使測試結(jié)果更具針對性，更能對室內(nèi)的情況予以全方位的展現(xiàn)。

4 結(jié)束語

綜上所述，電子工業(yè)潔凈廠房對于潔凈度的需求是極高的，此時就需要借助高精準度的檢測方式，確保測量結(jié)果的準確程度，提高檢測質(zhì)量。

參考文獻：

[1]袁華暉，張建鵬，辜少虹等.廣東省35家保健食品企業(yè)廠房空氣潔凈度檢測結(jié)果分析[J].中國熱帶醫(yī)學，2012，4（04）：654-656.

[2]張韻.淮南市醫(yī)藥生產(chǎn)企業(yè)潔凈度監(jiān)測情況分析[J].中國醫(yī)藥導刊，2013，10（08）：1303，1306.endprint