高純安全系統(tǒng)特氣柜機械系統(tǒng)設(shè)計
2016-12-31 00:00:00陳勝
科技創(chuàng)新與應(yīng)用 2016年20期
摘 要：高純安全系統(tǒng)特氣柜主要用于電子、化工、制藥等生產(chǎn)線上。文章對高純安全系統(tǒng)特氣柜進行了設(shè)計，主要包括氣路主系統(tǒng)、抽真空系統(tǒng)、吹掃供氣系統(tǒng)、柜體設(shè)計等。
關(guān)鍵詞：高純安全系統(tǒng)；特氣柜機械系統(tǒng)；設(shè)計
