• <tr id="yyy80"></tr>
  • <sup id="yyy80"></sup>
  • <tfoot id="yyy80"><noscript id="yyy80"></noscript></tfoot>
  • 99热精品在线国产_美女午夜性视频免费_国产精品国产高清国产av_av欧美777_自拍偷自拍亚洲精品老妇_亚洲熟女精品中文字幕_www日本黄色视频网_国产精品野战在线观看 ?

    Ga N薄膜外延過(guò)程的動(dòng)力學(xué)蒙特卡洛仿真

    2016-12-07 11:05:12馮蘭勝過(guò)潤(rùn)秋張進(jìn)成
    關(guān)鍵詞:襯底粒子速率

    馮蘭勝,過(guò)潤(rùn)秋,張進(jìn)成

    (1.西安電子科技大學(xué)機(jī)電工程學(xué)院,陜西西安 710071; 2.西安電子科技大學(xué)微電子學(xué)院,陜西西安 710071)

    Ga N薄膜外延過(guò)程的動(dòng)力學(xué)蒙特卡洛仿真

    馮蘭勝1,過(guò)潤(rùn)秋1,張進(jìn)成2

    (1.西安電子科技大學(xué)機(jī)電工程學(xué)院,陜西西安 710071; 2.西安電子科技大學(xué)微電子學(xué)院,陜西西安 710071)

    為更好研究GaN材料的生長(zhǎng)機(jī)理,提出了一種在金屬有機(jī)物化學(xué)氣相淀積系統(tǒng)中生長(zhǎng)GaN的化學(xué)反應(yīng)生長(zhǎng)模型,并結(jié)合動(dòng)力學(xué)蒙特卡羅方法模擬了垂直噴淋式金屬有機(jī)物化學(xué)氣相淀積系統(tǒng)中GaN的生長(zhǎng)過(guò)程.模擬結(jié)果表明,在垂直噴淋式金屬有機(jī)物化學(xué)氣相淀積系統(tǒng)中生長(zhǎng)GaN時(shí),首先發(fā)生加合反應(yīng),隨著反應(yīng)物逐步接近高溫襯底,再轉(zhuǎn)變?yōu)闊峤夥磻?yīng),最終生成GaN.GaN的生長(zhǎng)速率隨溫度的升高而升高,而襯底的表面溫度均勻性會(huì)直接影響最終材料的表面形貌.文中還在動(dòng)力學(xué)蒙特卡羅方法中模擬了反應(yīng)粒子在襯底表面的擴(kuò)散和脫附過(guò)程,這些過(guò)程均主要受溫度的影響,并影響材料的表面形貌和生長(zhǎng)速率.

    Ga N;動(dòng)力學(xué)蒙特卡羅;反應(yīng)模型;反應(yīng)動(dòng)力學(xué)

    Ga N是重要的寬帶隙半導(dǎo)體材料,在光電器件、高功率器件等眾多領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用.金屬有機(jī)物化學(xué)氣相淀積(Metal Organic Chemical Vapor Deposition,MOCVD)方法是制備GaN材料的主要手段之一.為提高GaN的材料質(zhì)量,國(guó)內(nèi)外很多學(xué)者針對(duì)MOCVD生長(zhǎng)GaN材料的生長(zhǎng)動(dòng)力學(xué)過(guò)程進(jìn)行了大量研究.文獻(xiàn)[1-2]中的fluent軟件對(duì)垂直噴淋式MOCVD中生長(zhǎng)Ga N的氣體流動(dòng)、表面反應(yīng)過(guò)程、襯底溫度分布以及生長(zhǎng)速率進(jìn)行了模擬;文獻(xiàn)[3-5]使用分子動(dòng)力學(xué)方法、離散傅里葉變換(Discrete Fourier Transform,DFT)等方法在分子運(yùn)動(dòng)層面分析了Ga N生長(zhǎng)過(guò)程;文獻(xiàn)[6-9]對(duì)Ga N生長(zhǎng)過(guò)程中的化學(xué)反應(yīng)路徑和反應(yīng)過(guò)程進(jìn)行了分析,并使用fluent方法或者動(dòng)力學(xué)蒙特卡羅(Kinetic Monte Carlo,KMC)方法進(jìn)行了分子層面的模擬.目前,對(duì)于GaN生長(zhǎng)過(guò)程的模擬主要分為宏觀參數(shù)模擬和微觀分子運(yùn)動(dòng)模擬兩大類.宏觀參數(shù)模擬主要用來(lái)模擬反應(yīng)過(guò)程中反應(yīng)物的氣體流動(dòng)、化學(xué)反應(yīng)濃度分布等過(guò)程;微觀分組運(yùn)動(dòng)模擬主要用來(lái)模擬分子在襯底表面的吸附、擴(kuò)散、脫附等過(guò)程.筆者在前人化學(xué)反應(yīng)模型的基礎(chǔ)上,提出了一種簡(jiǎn)化的專門針對(duì)垂直噴淋式MOCVD系統(tǒng)生長(zhǎng)GaN的化學(xué)反應(yīng)模型,使用KMC方法模擬GaN化學(xué)反應(yīng)過(guò)程,同時(shí)包含了分子在襯底表面的擴(kuò)散和脫附過(guò)程,對(duì)Ga N分子的運(yùn)動(dòng)及變化過(guò)程進(jìn)行了仿真.

    1 化學(xué)生長(zhǎng)模型

    Ga N生長(zhǎng)過(guò)程中的實(shí)際化學(xué)反應(yīng)過(guò)程非常復(fù)雜,目前很難通過(guò)實(shí)驗(yàn)確定其詳細(xì)的化學(xué)反應(yīng)過(guò)程及相關(guān)參數(shù).因此,筆者提出了一種簡(jiǎn)化的化學(xué)反應(yīng)模型,忽略掉復(fù)雜的過(guò)渡反應(yīng)細(xì)節(jié),突出關(guān)鍵反應(yīng)步驟,比較完整地復(fù)現(xiàn)了GaN生長(zhǎng)中各種反應(yīng)物質(zhì)的主要變化過(guò)程,同時(shí)保證了模擬的準(zhǔn)確性和快速性.Ga N在MOCVD中的化學(xué)反應(yīng)過(guò)程因具體反應(yīng)條件而有所不同,大體可分為加合反應(yīng)過(guò)程和熱解反應(yīng)過(guò)程.

    1.1加合反應(yīng)

    三甲基鎵和氨氣混合后,在常溫下可發(fā)生加合反應(yīng)生成加合物,主要產(chǎn)物為Ga(CH3)3∶NH3,該反應(yīng)為可逆反應(yīng),Ga(CH3)3∶NH3將進(jìn)一步生成Ga(CH3)2NH2.實(shí)測(cè)表明,Ga(CH3)3∶NH3彼此結(jié)合進(jìn)一步形成環(huán)狀物的可能性很小.因此,在文中的反應(yīng)模型中,加合反應(yīng)主要生成物為Ga(CH3)2NH2和Ga (CH3)3∶NH3.

    1.2熱解反應(yīng)

    在溫度升高到500℃以上時(shí),三甲基鎵會(huì)逐步釋放甲基.首先,高溫TMGa(Ga(CH3)3)首先釋放一個(gè)甲基生成DMGa(二甲基鎵Ga(CH3)2),而后繼續(xù)釋放甲基形成MMGa(單甲基鎵GaCH3).由于DMGa釋放甲基生成MMGa的活化能相較于TMGa生成DMGa的活化能小得多,所以只要反應(yīng)溫度能夠使TMGa熱解成DMGa時(shí),基本上DMGa都會(huì)熱解為MMGa.因此,隨著溫度的升高,主要生成Ga N的反應(yīng)物為MMGa.在垂直式MOCVD中,在襯底上方有一個(gè)高溫過(guò)渡層,因此,在過(guò)渡層中形成的主要反應(yīng)物為MMGa,此時(shí)主要的反應(yīng)過(guò)程應(yīng)為熱解反應(yīng).

    文中所涉及的MOCVD設(shè)備為西安電子科技大學(xué)自行研制的120型MOCVD.該反應(yīng)室為垂直噴淋式,其模型如圖1所示.

    圖1 120型MOCVD反應(yīng)室結(jié)構(gòu)圖

    在反應(yīng)物剛剛進(jìn)入反應(yīng)室的階段時(shí),溫度較低,因此,在材料生長(zhǎng)過(guò)程中首先進(jìn)行的是加合反應(yīng),而后隨著反應(yīng)物逐漸接近高溫襯底,又開始出現(xiàn)熱解反應(yīng).根據(jù)以上過(guò)程,文中所采用的化學(xué)反應(yīng)模型如表1所示.

    表1 GaN化學(xué)反應(yīng)列表

    表1中每種化學(xué)反應(yīng)的反應(yīng)速率均遵循Arrhenius公式:k=ATnexp(-Ea/(RT)),指前系數(shù)A在反應(yīng)2,3,4,7中的單位為cm3/(mol·s),在反應(yīng)1,5,6中的單位為s-1;n為溫度指數(shù);Ea為反應(yīng)發(fā)生所需要的活化能,單位為kcal/mol;R為理想氣體常數(shù).模擬中所有化學(xué)反應(yīng)所涉及的反應(yīng)分子在未固化到襯底材料內(nèi)之前均為氣態(tài),所有反應(yīng)在氣態(tài)下完成.

    2 模型的模擬驗(yàn)證

    MOCVD材料生長(zhǎng)過(guò)程的數(shù)值模擬有多種方法,KMC方法將微觀粒子動(dòng)力學(xué)和基于隨機(jī)統(tǒng)計(jì)過(guò)程的蒙特卡羅方法相結(jié)合,可在一定的時(shí)間范圍和空間范圍對(duì)材料生長(zhǎng)過(guò)程中的各種微觀粒子行為進(jìn)行模擬,并獲取最終生成材料的相關(guān)數(shù)值特征,是一種重要的材料生長(zhǎng)模擬方法.

    文中所模擬的材料生長(zhǎng)過(guò)程主要包括各種反應(yīng)物到達(dá)襯底表面發(fā)生的各種化學(xué)反應(yīng)過(guò)程以及在表面進(jìn)行熱擴(kuò)散、脫附反應(yīng)物的物理運(yùn)動(dòng)過(guò)程.

    熱擴(kuò)散是反應(yīng)粒子在吸附到襯底表面后不斷在表面發(fā)生遷移的過(guò)程,是材料生長(zhǎng)中的一個(gè)重要過(guò)程.在材料生長(zhǎng)過(guò)程中,反應(yīng)粒子(包括在化學(xué)反應(yīng)模型中反應(yīng)生成的各種粒子)首先吸附到襯底表面,然后在襯底表面不斷遷移,并不斷反應(yīng)生成最終的材料或者遷移出襯底隨尾氣排出反應(yīng)室.反應(yīng)粒子的熱擴(kuò)散與反應(yīng)粒子所在位置的襯底粒子類型、襯底形貌、襯底溫度有關(guān).熱擴(kuò)散與溫度的關(guān)系可表示為

    其中,Es表示發(fā)生擴(kuò)散前后系統(tǒng)的能量差,T1為反應(yīng)溫度.

    當(dāng)前粒子所在位置的襯底形貌決定了粒子發(fā)生擴(kuò)散的概率和擴(kuò)散方向.首先根據(jù)當(dāng)前位置形貌和可能擴(kuò)散到的最終位置形貌判斷在每個(gè)方向發(fā)生擴(kuò)散所需要的能量差,再按照概率確定擴(kuò)散方向.

    粒子的脫附是反應(yīng)粒子離開襯底表面并隨載氣排出反應(yīng)室的過(guò)程,脫附速率可表示為

    其中,Ea表示粒子在襯底表面的吸附能,一般情況下,Es=(1/6~ 1/2)Ea;T2為反應(yīng)溫度.

    當(dāng)前粒子所在位置的襯底粒子類型決定了當(dāng)前所有可以發(fā)生的化學(xué)反應(yīng)列表.在模擬的每一步,根據(jù)當(dāng)前離子所在位置的襯底粒子類型,為當(dāng)前所模擬的粒子建立一張所有可以發(fā)生的化學(xué)反應(yīng)列表.當(dāng)前可以發(fā)生的化學(xué)反應(yīng)為N項(xiàng),列表中的每一種反應(yīng)都有一定的發(fā)生概率,選擇其最終發(fā)生哪一種化學(xué)反應(yīng)的方法是,首先按照均勻分布的原則隨機(jī)產(chǎn)生一個(gè)在(0.0,1.0)范圍內(nèi)的隨機(jī)數(shù)m;而后,再根據(jù)

    選擇化學(xué)反應(yīng)表格中的第n項(xiàng)反應(yīng)作為當(dāng)前粒子要發(fā)生的反應(yīng),反應(yīng)后更新系統(tǒng)狀態(tài),重新進(jìn)行下一步模擬,直到粒子最終固化到襯底上或者擴(kuò)散出模擬區(qū)域?yàn)橹?式(3)中每個(gè)化學(xué)反應(yīng)模型的反應(yīng)速率k均遵循Arrhenius公式,即

    其中,R為理想氣體常數(shù),T3為反應(yīng)溫度.

    模擬過(guò)程中,假設(shè)襯底范圍為100×100的矩形晶格平面區(qū)域,以映射襯底的整體表面晶格面積.同時(shí)根據(jù)實(shí)際生長(zhǎng)過(guò)程中反應(yīng)物流量對(duì)比關(guān)系,設(shè)置進(jìn)入反應(yīng)室的NH3與TMGa的比例為2 000∶1,并假設(shè)NH3和TMGa都能均勻地到達(dá)模擬的襯底區(qū)域上方參加材料的生長(zhǎng).首先,建立單個(gè)反應(yīng)粒子從進(jìn)入反應(yīng)室開始,直到在襯底發(fā)生反應(yīng)生成材料或者排出反應(yīng)室外的整個(gè)過(guò)程;然后,根據(jù)粒子流量比進(jìn)行大量粒子行為的統(tǒng)計(jì)計(jì)算;最后,形成一定流量下的反應(yīng)過(guò)程模擬.

    任一單個(gè)粒子的模擬過(guò)程如圖2所示.

    圖2 KMC模擬流程圖

    文中根據(jù)提出的化學(xué)反應(yīng)模型以及KMC模擬流程圖,開發(fā)出基于KMC方法的GaN生長(zhǎng)過(guò)程模擬軟件,對(duì)西安電子科技大學(xué)120型MOCVD生長(zhǎng)GaN材料過(guò)程進(jìn)行模擬.

    3 模擬結(jié)果與討論

    3.1溫度與化學(xué)反應(yīng)過(guò)程的關(guān)系

    首先在不同的反應(yīng)溫度下對(duì)所建立的化學(xué)反應(yīng)模型進(jìn)行模擬.結(jié)果表明,在低溫時(shí)主要發(fā)生聚合反應(yīng),在低于500℃的范圍內(nèi),生長(zhǎng)速率很低,這主要是由于最終生成GaN的化學(xué)反應(yīng)在這個(gè)溫度范圍內(nèi)很難發(fā)生,此時(shí)基本不發(fā)生熱解反應(yīng),產(chǎn)生的物質(zhì)主要為聚合物.隨著溫度的升高,熱解反應(yīng)在所有化學(xué)反應(yīng)中的比重明顯升高,GaN的生成速率加快,模擬出的生長(zhǎng)速率的最高值出現(xiàn)在1 100℃處.隨著溫度的進(jìn)一步升高,襯底表面發(fā)生的脫附運(yùn)動(dòng)明顯上升,導(dǎo)致生長(zhǎng)速率有所下降.圖3為GaN生長(zhǎng)速率與生長(zhǎng)溫度的關(guān)系曲線.圖3中橫坐標(biāo)為襯底溫度,縱坐標(biāo)單位為每秒淀積的原子層數(shù)(ML).

    圖3 生長(zhǎng)速率與生長(zhǎng)溫度的關(guān)系曲線

    圖4 MOCVD系統(tǒng)中MMGa和Ga(CH3)2NH2濃度與溫度的對(duì)應(yīng)關(guān)系

    在KMC的模擬過(guò)程中,可對(duì)模擬的每一個(gè)粒子的最終狀態(tài)進(jìn)行記錄,包括其最終是否淀積在襯底表面或者通過(guò)脫附排出反應(yīng)室,未脫附的情況下通過(guò)一系列化學(xué)反應(yīng)所形成的粒子種類,最終淀積的坐標(biāo)位置等信息.通過(guò)對(duì)淀積在襯底上的粒子類型進(jìn)行統(tǒng)計(jì),發(fā)現(xiàn)在襯底溫度逐漸升高的過(guò)程中,MMG(Ga(CH3))的比重逐漸升高,而Ga(CH3)2NH2和Ga(CH3)3∶NH3的比重逐漸降低,表明在低溫時(shí),加合反應(yīng)占主要地位,而在高溫時(shí),熱解反應(yīng)占主要地位.圖4為MMGa和Ga(CH3)2NH2的濃度隨溫度的變化結(jié)果.

    3.2表面形貌的模擬結(jié)果

    文中所描述的GaN材料表面形貌主要是通過(guò)對(duì)模擬區(qū)域內(nèi)所有淀積在襯底上的粒子進(jìn)行統(tǒng)計(jì),得出在不同坐標(biāo)處的生長(zhǎng)高度,從而模擬出各個(gè)坐標(biāo)處GaN生長(zhǎng)材料的生長(zhǎng)厚度.

    由于實(shí)際的MOCVD系統(tǒng)中襯底表面溫度并非完全均勻,而實(shí)際的襯底表面溫度分布很難準(zhǔn)確測(cè)得,而溫度對(duì)生長(zhǎng)速率又有很大影響,因此,根據(jù)實(shí)際襯底溫度分布規(guī)律,假設(shè)襯底表面的溫度分布曲線,如圖5(a)中所示.在此前提下使用KMC進(jìn)行模擬.模擬結(jié)果表明,在溫度較高的區(qū)域,GaN的生長(zhǎng)速率在溫度低的區(qū)域生長(zhǎng)快,如圖5(b)中所示.在反應(yīng)物充足的前提下,材料的厚度隨溫度的升高而變大.而曲線中的極值點(diǎn)可能是由于仿真過(guò)程中統(tǒng)計(jì)的隨機(jī)分子數(shù)量不足所致.但整體上累積的分子數(shù)量是與溫度成正比的.襯底表面溫度的一致性是保證Ga N材料生長(zhǎng)厚度一致性的重要前提.

    圖5 GaN生長(zhǎng)厚度在非均勻襯底溫度下的分布

    4 結(jié)束語(yǔ)

    筆者提出了一個(gè)簡(jiǎn)化的GaN生長(zhǎng)過(guò)程的化學(xué)反應(yīng)模型,并使用KMC方法對(duì)GaN生長(zhǎng)過(guò)程中的化學(xué)反應(yīng)過(guò)程、擴(kuò)散過(guò)程和脫附過(guò)程進(jìn)行了模擬.模擬結(jié)果表明,在所涉及的120型垂直噴淋式MOCVD系統(tǒng)生長(zhǎng)Ga N的過(guò)程中,反應(yīng)氣體進(jìn)入到反應(yīng)室內(nèi)部后,隨著溫度的逐漸升高,首先會(huì)發(fā)生加合反應(yīng)生成聚合物,而后發(fā)生熱解反應(yīng)產(chǎn)生MMGa,最終在襯底表面生成GaN.GaN的生長(zhǎng)速率隨著溫度的升高而升高.同時(shí),在襯底上進(jìn)行反應(yīng)的同時(shí),還伴隨著反應(yīng)粒子的擴(kuò)散和脫附過(guò)程.通過(guò)KMC方法,模擬得到了在該模型下Ga N生長(zhǎng)過(guò)程中各種反應(yīng)物粒子的變化過(guò)程和分布規(guī)律,為進(jìn)一步的研究打下了基礎(chǔ).

    [1]TSENG C F,YEN T.Transport Phenomena and the Effects of Reactor Geometry for Epitaxial Ga N Growth in a Vertical MOCVD Reactor[J].Journal of Crystal Growth,2015,432:54-63.

    [2]ZHANG Z,FANG H S.Influencing Factors of GaN Growth Uniformity Through Orthogonal Test Analysis[J].Applied Thermal Engineering,2015,91:53-61.

    [3]ZHOU A,XIU X Q.Effect of Lattice Defects on the Property of GaN Crystal:Amolecular Dynamics Simulation Study [DB/OL].[2015-10-10].http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0749603615302445.

    [4]KEMPISTY P,STRAK P.DFT Study of Ammonia Desorption from the GaN(0001)Surface Covered with NH3/NH2Mixture[J].Journal of Crystal Growth,2014,403:105-109.

    [5]TOKOI H.Development of GaN Growth Reaction Model Using Ab Initio Molecular Orbital Calculation and Computational Fluid Dynamics of Metalorganic Vapor-phase Epitaxy[J].Journal of the Electrochemical Society,2012,159(5):270-275.

    [6]于海群.GaN沉積的化學(xué)反應(yīng)動(dòng)力學(xué)進(jìn)展[J].材料導(dǎo)報(bào)A:綜述篇,2012,26(9):21-24. YU Haiqun.The Progress of Chemical Reaction Kinetics with GaN Deposition[J].Materials Review A:Review Article,2012,26(9):21-24.

    [7]王國(guó)斌,張永紅,王懷兵.氮化鎵生長(zhǎng)反應(yīng)模型與數(shù)值模擬研究[J].人工晶體學(xué)報(bào),2010,139(S1):160-163. WANG Guobin,ZHANG Yonghong,WANG Huaibing.Reaction Model and Numerical Simulation of Gallium Nitride Growth[J].Journal of Synthetic Crystals,2010,139(S1):160-163.

    [8]PARIKH R P,ADOMAITIS R A.An Overview of Gallium Nitride Growth Chemistry and Its Effect on Reactor Design: Application to a Planetary Radial-flow CVD System[J].Journal of Crystal Growth,2006,286(2006):259-278.

    [9]FU K,FU Y,HAN P.Kinetic Monte Carlo Study of Metal Organic Chemical Vapor Deposition Growth Dynamics of GaN Thin Film at Microscopic Level[DB/OL].[2015-10-11].http://dx.doi.org/10.1063/1.2927389.

    (編輯:齊淑娟)

    簡(jiǎn) 訊

    2016年度“高等學(xué)校學(xué)科創(chuàng)新引智計(jì)劃”(簡(jiǎn)稱“111計(jì)劃”)新建基地評(píng)審工作結(jié)束.我校申報(bào)的“移動(dòng)互聯(lián)網(wǎng)安全創(chuàng)新引智基地”獲批立項(xiàng).該引智基地依托密碼學(xué)國(guó)家重點(diǎn)學(xué)科及網(wǎng)絡(luò)與系統(tǒng)安全陜西省重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,密切關(guān)注移動(dòng)互聯(lián)網(wǎng)安全領(lǐng)域的國(guó)際發(fā)展動(dòng)態(tài),結(jié)合國(guó)家中長(zhǎng)期科技發(fā)展的需要,以“移動(dòng)互聯(lián)網(wǎng)安全”為主方向,重點(diǎn)在密碼及安全協(xié)議理論、無(wú)線網(wǎng)絡(luò)安全以及云計(jì)算安全理論與方法等領(lǐng)域進(jìn)行基礎(chǔ)理論、關(guān)鍵技術(shù)和應(yīng)用研發(fā)等合作研究工作.截止目前,我校共有五個(gè)“111計(jì)劃”學(xué)科創(chuàng)新引智基地,分別為:智能信息處理科學(xué)與技術(shù)學(xué)科創(chuàng)新引智基地、現(xiàn)代無(wú)線信息網(wǎng)絡(luò)基礎(chǔ)理論與技術(shù)學(xué)科創(chuàng)新引智基地、寬禁帶半導(dǎo)體與微納電子學(xué)創(chuàng)新引智基地、電子裝備機(jī)電耦合理論與關(guān)鍵技術(shù)學(xué)科創(chuàng)新引智基地、移動(dòng)互聯(lián)網(wǎng)安全創(chuàng)新引智基地.

    摘自《西電科大報(bào)》2015.12.12

    Kinetic Monte Carlo simulation of GaN epitaxy

    FENG Lansheng1,GUO Runqiu1,ZHANG Jincheng2
    (1.School of Mechano-electronic Engineering,Xidian Univ.,Xi’an 710071,China; 2.School of Microelectronics,Xidian Univ.,Xi’an 710071,China)

    A chemical reaction mode about GaN epitaxy in MOCVD is presented.We simulate the growth process of Ga N in the vertical-spray MOCVD system on this mode using the KMC mothod.The result shows that adductive reaction mostly occurs at a lower temperature and pyrolytic reaction mostly occurs at a high temperature.And the growth rate increases with increasing temperature.This feature determines the surface morphology of the material.We also include the diffusion and desorption process of the reaction particle by the KMC method.These processes depend mostly on temperature and ultimately affect the surface morphology of the GaN material.

    Ga N;kinetic Monte Carlo(KMC);reaction model;reaction kinetics

    TN204

    A

    1001-2400(2016)03-0167-05

    10.3969/j.issn.1001-2400.2016.03.029

    2015-11-11

    國(guó)家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(61334002);國(guó)家重大科技專項(xiàng)資金資助項(xiàng)目(2011ZX01002-001)

    馮蘭勝(1978-),男,講師,西安電子科技大學(xué)博士研究生,E-mail:fenglansheng001@163.com.

    猜你喜歡
    襯底粒子速率
    硅襯底LED隧道燈具技術(shù)在昌銅高速隧道中的應(yīng)用
    “化學(xué)反應(yīng)的速率與限度”知識(shí)與能力提升
    基于粒子群優(yōu)化的橋式起重機(jī)模糊PID控制
    基于粒子群優(yōu)化極點(diǎn)配置的空燃比輸出反饋控制
    速度和速率有什么不同
    大尺寸低阻ZnO單晶襯底
    大尺寸低阻ZnO 單晶襯底
    大尺寸低阻ZnO 單晶襯底
    不同冷卻速率下低壓轉(zhuǎn)子鋼30Cr2Ni4MoV的凝固組織
    上海金屬(2014年5期)2014-12-20 07:58:39
    蓮心超微粉碎提高有效成分的溶出速率
    精品一区二区三区视频在线 | 国产欧美日韩一区二区精品| 亚洲美女黄片视频| 中文字幕久久专区| 99在线视频只有这里精品首页| 色综合亚洲欧美另类图片| 又黄又爽又免费观看的视频| 国产精品久久久久久久久免 | av专区在线播放| 欧美乱妇无乱码| 亚洲,欧美精品.| 亚洲精品一区av在线观看| 女同久久另类99精品国产91| 中文在线观看免费www的网站| 国模一区二区三区四区视频| 90打野战视频偷拍视频| 成人三级黄色视频| 在线观看66精品国产| 在线播放国产精品三级| 男人和女人高潮做爰伦理| 69av精品久久久久久| 岛国视频午夜一区免费看| 日韩欧美精品v在线| 又紧又爽又黄一区二区| 午夜视频国产福利| 丰满人妻熟妇乱又伦精品不卡| 18禁裸乳无遮挡免费网站照片| 欧美性猛交╳xxx乱大交人| www日本黄色视频网| 国产午夜福利久久久久久| 少妇的逼水好多| www.熟女人妻精品国产| 男人和女人高潮做爰伦理| 狠狠狠狠99中文字幕| 亚洲av成人av| 久久精品国产清高在天天线| 亚洲中文字幕日韩| 国内精品一区二区在线观看| 夜夜躁狠狠躁天天躁| 亚洲av不卡在线观看| 黄片大片在线免费观看| 久久精品综合一区二区三区| 国产高清视频在线播放一区| 欧美日本视频| 国产精品一区二区免费欧美| 熟女少妇亚洲综合色aaa.| aaaaa片日本免费| 1024手机看黄色片| 日本a在线网址| 噜噜噜噜噜久久久久久91| 久久精品国产清高在天天线| 无遮挡黄片免费观看| av福利片在线观看| 久久久久国产精品人妻aⅴ院| 国产高清三级在线| 欧美成人免费av一区二区三区| 操出白浆在线播放| 色精品久久人妻99蜜桃| 在线观看美女被高潮喷水网站 | 免费av观看视频| 国产 一区 欧美 日韩| 亚洲午夜理论影院| 久久久久性生活片| 母亲3免费完整高清在线观看| 亚洲精品美女久久久久99蜜臀| 人人妻,人人澡人人爽秒播| 一区二区三区激情视频| 亚洲国产精品合色在线| 韩国av一区二区三区四区| 中文字幕av在线有码专区| 欧美日本视频| 欧美中文综合在线视频| 国产视频内射| 国产精品嫩草影院av在线观看 | 亚洲人成电影免费在线| 搡老妇女老女人老熟妇| 88av欧美| 丰满的人妻完整版| av中文乱码字幕在线| 亚洲专区国产一区二区| 日韩欧美在线乱码| 国产aⅴ精品一区二区三区波| xxxwww97欧美| 欧美成人一区二区免费高清观看| 变态另类丝袜制服| www.色视频.com| 人人妻人人澡欧美一区二区| 动漫黄色视频在线观看| 天天一区二区日本电影三级| 午夜精品一区二区三区免费看| 成年女人毛片免费观看观看9| 久久久国产成人免费| 欧美zozozo另类| 亚洲无线在线观看| 宅男免费午夜| 国产不卡一卡二| 男女午夜视频在线观看| av天堂中文字幕网| 波多野结衣巨乳人妻| 久久伊人香网站| 国产日本99.免费观看| 女人十人毛片免费观看3o分钟| 亚洲美女视频黄频| 久久久久亚洲av毛片大全| 老司机在亚洲福利影院| 免费在线观看日本一区| 国产v大片淫在线免费观看| 嫩草影院入口| 一个人免费在线观看的高清视频| 男女做爰动态图高潮gif福利片| 91字幕亚洲| 久久香蕉精品热| 欧美绝顶高潮抽搐喷水| 啦啦啦韩国在线观看视频| 蜜桃久久精品国产亚洲av| 日本一二三区视频观看| 精品久久久久久久毛片微露脸| 99热6这里只有精品| 欧美黑人巨大hd| 亚洲精品美女久久久久99蜜臀| 婷婷精品国产亚洲av在线| 亚洲一区二区三区色噜噜| 9191精品国产免费久久| 色尼玛亚洲综合影院| 久久久色成人| 国产精品三级大全| 国产91精品成人一区二区三区| 亚洲一区二区三区色噜噜| 国产探花在线观看一区二区| 老司机午夜福利在线观看视频| 老司机午夜十八禁免费视频| 午夜福利视频1000在线观看| 免费人成视频x8x8入口观看| 亚洲精华国产精华精| 99国产精品一区二区蜜桃av| 男女之事视频高清在线观看| 欧美一区二区亚洲| 超碰av人人做人人爽久久 | 观看美女的网站| 一个人免费在线观看的高清视频| 深夜精品福利| 男女床上黄色一级片免费看| 国产精品久久久人人做人人爽| av中文乱码字幕在线| 亚洲精品亚洲一区二区| av在线蜜桃| 精品国产超薄肉色丝袜足j| 亚洲va日本ⅴa欧美va伊人久久| 老司机深夜福利视频在线观看| 久久国产精品人妻蜜桃| 真实男女啪啪啪动态图| 国产在视频线在精品| 黄色丝袜av网址大全| 亚洲男人的天堂狠狠| 中文字幕av成人在线电影| 国产高清videossex| 国产精品一区二区免费欧美| 淫妇啪啪啪对白视频| 免费在线观看亚洲国产| 精品熟女少妇八av免费久了| 男人的好看免费观看在线视频| 啪啪无遮挡十八禁网站| 我要搜黄色片| 两个人视频免费观看高清| 18禁在线播放成人免费| 精品乱码久久久久久99久播| 国产真人三级小视频在线观看| 一区二区三区高清视频在线| 精品一区二区三区视频在线观看免费| 三级男女做爰猛烈吃奶摸视频| 精品国产亚洲在线| 精品国产亚洲在线| 免费看光身美女| 午夜免费男女啪啪视频观看 | 亚洲人与动物交配视频| 真人一进一出gif抽搐免费| 丝袜美腿在线中文| 嫩草影院入口| 亚洲欧美日韩高清专用| 99精品久久久久人妻精品| 美女cb高潮喷水在线观看| 国产精品 国内视频| www.www免费av| 免费搜索国产男女视频| 亚洲国产精品成人综合色| 日韩av在线大香蕉| 夜夜爽天天搞| 日韩欧美精品免费久久 | 99在线人妻在线中文字幕| 国产精品久久久久久精品电影| 亚洲精品色激情综合| 宅男免费午夜| 国产成人福利小说| 欧美日韩中文字幕国产精品一区二区三区| 国产一区二区亚洲精品在线观看| 久久久久久大精品| 国产精品精品国产色婷婷| 久久久久久国产a免费观看| 九九热线精品视视频播放| 淫秽高清视频在线观看| 国产精品女同一区二区软件 | 国内久久婷婷六月综合欲色啪| 国产精品美女特级片免费视频播放器| 男人的好看免费观看在线视频| 亚洲成av人片免费观看| 国产亚洲精品久久久com| 日本黄大片高清| 国产主播在线观看一区二区| 国产精品女同一区二区软件 | 国产成人福利小说| 村上凉子中文字幕在线| 亚洲国产精品sss在线观看| 亚洲国产精品999在线| av国产免费在线观看| 中文字幕人成人乱码亚洲影| 久久久久亚洲av毛片大全| 三级男女做爰猛烈吃奶摸视频| 黄色成人免费大全| 久久香蕉精品热| 麻豆成人av在线观看| 又黄又爽又免费观看的视频| 欧美日韩瑟瑟在线播放| 国产黄片美女视频| 搞女人的毛片| 亚洲欧美日韩东京热| 国产精品一区二区三区四区免费观看 | 在线观看一区二区三区| 男女下面进入的视频免费午夜| 午夜免费成人在线视频| 欧美av亚洲av综合av国产av| 亚洲美女黄片视频| 五月伊人婷婷丁香| 婷婷精品国产亚洲av在线| 国产精品香港三级国产av潘金莲| av在线蜜桃| 国产三级在线视频| 国产精品av视频在线免费观看| 宅男免费午夜| 中文字幕熟女人妻在线| 日本一二三区视频观看| 亚洲欧美精品综合久久99| 亚洲在线观看片| 99久久精品国产亚洲精品| 法律面前人人平等表现在哪些方面| 一级作爱视频免费观看| 色综合欧美亚洲国产小说| 亚洲人成网站在线播| 精品久久久久久久久久免费视频| 午夜久久久久精精品| 韩国av一区二区三区四区| 国产毛片a区久久久久| 亚洲一区二区三区色噜噜| 2021天堂中文幕一二区在线观| 91av网一区二区| 国产一区二区激情短视频| 99久久无色码亚洲精品果冻| 麻豆国产av国片精品| 国产麻豆成人av免费视频| 亚洲不卡免费看| 啦啦啦韩国在线观看视频| 欧美不卡视频在线免费观看| 嫩草影视91久久| 日韩欧美一区二区三区在线观看| 一个人免费在线观看电影| 久久久久九九精品影院| 非洲黑人性xxxx精品又粗又长| 午夜福利成人在线免费观看| 国产激情欧美一区二区| 黄色日韩在线| 国产午夜精品久久久久久一区二区三区 | 国产精品嫩草影院av在线观看 | 精品久久久久久久人妻蜜臀av| 成年版毛片免费区| 国产高潮美女av| 丁香欧美五月| 99久久精品热视频| 露出奶头的视频| 一个人免费在线观看电影| tocl精华| 亚洲人成网站在线播| 99久久精品一区二区三区| h日本视频在线播放| 国产爱豆传媒在线观看| 长腿黑丝高跟| 日韩亚洲欧美综合| svipshipincom国产片| 中文资源天堂在线| 小说图片视频综合网站| 村上凉子中文字幕在线| 91麻豆精品激情在线观看国产| 欧美一区二区国产精品久久精品| 男人的好看免费观看在线视频| 欧美极品一区二区三区四区| 国产激情欧美一区二区| 老熟妇乱子伦视频在线观看| 男女午夜视频在线观看| 波多野结衣高清作品| 偷拍熟女少妇极品色| 日本一二三区视频观看| 亚洲精品乱码久久久v下载方式 | 久久亚洲精品不卡| 淫秽高清视频在线观看| 国产精华一区二区三区| 亚洲不卡免费看| 国产亚洲精品综合一区在线观看| 亚洲中文字幕一区二区三区有码在线看| 草草在线视频免费看| 精品免费久久久久久久清纯| 在线观看午夜福利视频| 久久精品国产99精品国产亚洲性色| 国产欧美日韩精品一区二区| 日本成人三级电影网站| 色噜噜av男人的天堂激情| 久久香蕉国产精品| 成人精品一区二区免费| 国产欧美日韩一区二区精品| 久久亚洲真实| 午夜精品一区二区三区免费看| 窝窝影院91人妻| av天堂在线播放| 免费搜索国产男女视频| 国产成+人综合+亚洲专区| www.999成人在线观看| 女人被狂操c到高潮| 欧美区成人在线视频| 亚洲av一区综合| 欧美最黄视频在线播放免费| 亚洲av美国av| 国产 一区 欧美 日韩| 丁香欧美五月| 两人在一起打扑克的视频| 成年女人看的毛片在线观看| 99久久无色码亚洲精品果冻| 日韩国内少妇激情av| 久久久久久大精品| 日日夜夜操网爽| 欧美黄色片欧美黄色片| 99热这里只有精品一区| 国产真人三级小视频在线观看| 三级毛片av免费| 九九在线视频观看精品| 国内毛片毛片毛片毛片毛片| 国产熟女xx| 亚洲熟妇熟女久久| 看免费av毛片| АⅤ资源中文在线天堂| 脱女人内裤的视频| 亚洲精品美女久久久久99蜜臀| 国产高清videossex| 久久亚洲精品不卡| 国产69精品久久久久777片| 91字幕亚洲| 一本一本综合久久| 我的老师免费观看完整版| 日韩高清综合在线| 99视频精品全部免费 在线| 99久久无色码亚洲精品果冻| 在线观看66精品国产| 岛国在线免费视频观看| 成人高潮视频无遮挡免费网站| 国产精品女同一区二区软件 | 国产亚洲精品综合一区在线观看| 成人特级av手机在线观看| 亚洲人成网站高清观看| 男女床上黄色一级片免费看| 亚洲av成人精品一区久久| 国产私拍福利视频在线观看| 中文在线观看免费www的网站| 热99在线观看视频| 欧美国产日韩亚洲一区| 国产一区在线观看成人免费| 欧美极品一区二区三区四区| 久久精品夜夜夜夜夜久久蜜豆| 国产v大片淫在线免费观看| 成人三级黄色视频| www国产在线视频色| 亚洲精品一区av在线观看| 三级毛片av免费| 久久久久亚洲av毛片大全| 国产美女午夜福利| 亚洲精品亚洲一区二区| 免费在线观看成人毛片| 日本与韩国留学比较| 久久久久性生活片| 无遮挡黄片免费观看| 夜夜夜夜夜久久久久| 亚洲av一区综合| 国产精品 欧美亚洲| 香蕉丝袜av| 精品日产1卡2卡| 精品国产亚洲在线| 午夜福利免费观看在线| 中出人妻视频一区二区| 熟女电影av网| 丰满乱子伦码专区| 欧美中文综合在线视频| 成人av一区二区三区在线看| 极品教师在线免费播放| 国产精品亚洲av一区麻豆| 又黄又爽又免费观看的视频| 在线观看一区二区三区| 成年人黄色毛片网站| 亚洲国产日韩欧美精品在线观看 | 禁无遮挡网站| 欧美日韩国产亚洲二区| 他把我摸到了高潮在线观看| 黄色片一级片一级黄色片| 欧美精品啪啪一区二区三区| 十八禁网站免费在线| 欧美丝袜亚洲另类 | 亚洲成人久久爱视频| 变态另类成人亚洲欧美熟女| 极品教师在线免费播放| 欧美日韩综合久久久久久 | av国产免费在线观看| 18禁黄网站禁片午夜丰满| 精品人妻偷拍中文字幕| 夜夜夜夜夜久久久久| 搡老岳熟女国产| 精品日产1卡2卡| www.色视频.com| 中文在线观看免费www的网站| 欧美黄色片欧美黄色片| 一级毛片高清免费大全| 深爱激情五月婷婷| 757午夜福利合集在线观看| 亚洲黑人精品在线| 99视频精品全部免费 在线| 久久午夜亚洲精品久久| 波多野结衣高清无吗| 99久久精品国产亚洲精品| 国产野战对白在线观看| 老司机福利观看| 搡女人真爽免费视频火全软件 | av国产免费在线观看| 国产成人啪精品午夜网站| 国产免费av片在线观看野外av| 久久国产精品人妻蜜桃| 欧美日韩中文字幕国产精品一区二区三区| 91久久精品电影网| 成年人黄色毛片网站| 日韩免费av在线播放| 亚洲人与动物交配视频| 亚洲真实伦在线观看| 亚洲精品456在线播放app | 亚洲美女黄片视频| 特大巨黑吊av在线直播| 国产伦精品一区二区三区视频9 | 色噜噜av男人的天堂激情| 高清在线国产一区| 美女高潮喷水抽搐中文字幕| 啦啦啦韩国在线观看视频| 欧美性猛交╳xxx乱大交人| 特级一级黄色大片| 亚洲黑人精品在线| 精品一区二区三区视频在线观看免费| 88av欧美| 一本精品99久久精品77| 免费高清视频大片| 中文字幕高清在线视频| 制服丝袜大香蕉在线| 手机成人av网站| 桃红色精品国产亚洲av| 91字幕亚洲| 狂野欧美激情性xxxx| 亚洲美女视频黄频| 国内精品久久久久精免费| 亚洲av日韩精品久久久久久密| 好看av亚洲va欧美ⅴa在| 国产高清有码在线观看视频| 午夜两性在线视频| x7x7x7水蜜桃| 大型黄色视频在线免费观看| 亚洲一区高清亚洲精品| 久久这里只有精品中国| 最新美女视频免费是黄的| 99在线人妻在线中文字幕| 亚洲成av人片在线播放无| 69av精品久久久久久| 日本成人三级电影网站| 一级作爱视频免费观看| 欧美日本亚洲视频在线播放| 国内久久婷婷六月综合欲色啪| 免费高清视频大片| 熟妇人妻久久中文字幕3abv| 亚洲精品影视一区二区三区av| 午夜两性在线视频| x7x7x7水蜜桃| 国产高清激情床上av| 黑人欧美特级aaaaaa片| a级毛片a级免费在线| 成人永久免费在线观看视频| 亚洲精品影视一区二区三区av| 每晚都被弄得嗷嗷叫到高潮| 色视频www国产| 男女下面进入的视频免费午夜| 观看免费一级毛片| 久久久久久久午夜电影| 亚洲欧美日韩东京热| 性色avwww在线观看| 老熟妇仑乱视频hdxx| 国产亚洲欧美98| 国产主播在线观看一区二区| 国产色婷婷99| 俄罗斯特黄特色一大片| 亚洲av二区三区四区| 亚洲欧美日韩高清专用| 国产三级在线视频| 丰满人妻熟妇乱又伦精品不卡| 国产一区二区亚洲精品在线观看| 国产探花极品一区二区| 俺也久久电影网| 97碰自拍视频| 精品99又大又爽又粗少妇毛片 | 国内揄拍国产精品人妻在线| 精品国内亚洲2022精品成人| 日韩欧美免费精品| 小说图片视频综合网站| 狂野欧美白嫩少妇大欣赏| av国产免费在线观看| 精品久久久久久久久久免费视频| 最近视频中文字幕2019在线8| 亚洲国产精品合色在线| 成年人黄色毛片网站| 日韩欧美精品v在线| 级片在线观看| 黄色视频,在线免费观看| 在线观看免费视频日本深夜| 国产麻豆成人av免费视频| 国产主播在线观看一区二区| 午夜视频国产福利| 狠狠狠狠99中文字幕| 亚洲电影在线观看av| 97超级碰碰碰精品色视频在线观看| 久久精品夜夜夜夜夜久久蜜豆| 国产激情欧美一区二区| 岛国在线免费视频观看| 12—13女人毛片做爰片一| 久久草成人影院| 久久久久久久久久黄片| 好看av亚洲va欧美ⅴa在| 嫁个100分男人电影在线观看| 亚洲乱码一区二区免费版| 国产高清videossex| 最近视频中文字幕2019在线8| 国产视频一区二区在线看| 99久久精品国产亚洲精品| 宅男免费午夜| 搡老熟女国产l中国老女人| 中国美女看黄片| 男人舔奶头视频| 日韩欧美在线二视频| 久久久久久大精品| 九九在线视频观看精品| 成年免费大片在线观看| 免费电影在线观看免费观看| 欧美乱码精品一区二区三区| 最后的刺客免费高清国语| 久久欧美精品欧美久久欧美| 在线播放国产精品三级| 亚洲av电影在线进入| 欧美最新免费一区二区三区 | 国产成人啪精品午夜网站| 国产亚洲欧美在线一区二区| 麻豆成人av在线观看| 99热6这里只有精品| 黄色女人牲交| 国产伦在线观看视频一区| 午夜免费激情av| 欧美日本亚洲视频在线播放| 亚洲欧美日韩高清在线视频| 一夜夜www| 国产免费一级a男人的天堂| 一卡2卡三卡四卡精品乱码亚洲| 国产国拍精品亚洲av在线观看 | 国产精品女同一区二区软件 | 小说图片视频综合网站| 色视频www国产| 国产精品一区二区三区四区久久| 两性午夜刺激爽爽歪歪视频在线观看| 麻豆成人午夜福利视频| 少妇丰满av| 国产av麻豆久久久久久久| 欧美成人一区二区免费高清观看| 午夜福利在线在线| 黑人欧美特级aaaaaa片| 欧美zozozo另类| 国产三级中文精品| 一本精品99久久精品77| 天美传媒精品一区二区| 人妻夜夜爽99麻豆av| 精品99又大又爽又粗少妇毛片 | 变态另类丝袜制服| 婷婷精品国产亚洲av| 亚洲欧美激情综合另类| 美女黄网站色视频| 久久精品国产亚洲av涩爱 | 波多野结衣巨乳人妻| 午夜福利在线观看吧| av中文乱码字幕在线| 亚洲人成网站高清观看| 69av精品久久久久久| 久久久久亚洲av毛片大全| 国产成人av激情在线播放| 啪啪无遮挡十八禁网站| 日本与韩国留学比较| 看免费av毛片| 亚洲精华国产精华精| 在线视频色国产色| 免费人成在线观看视频色| 成人无遮挡网站| 亚洲美女黄片视频| 窝窝影院91人妻| 十八禁人妻一区二区| 中文字幕人成人乱码亚洲影|