寬頻高光提取效率LED芯片的研究

方海聞，蔣尋涯

(復(fù)旦大學(xué)電光源研究所，先進(jìn)照明技術(shù)教育部工程研究中心，上?！?00433)

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寬頻高光提取效率LED芯片的研究

方海聞，蔣尋涯

(復(fù)旦大學(xué)電光源研究所，先進(jìn)照明技術(shù)教育部工程研究中心，上海200433)

提出一種利用單一光子晶體蛾眼結(jié)構(gòu)實現(xiàn)寬頻大幅提高LED光提取效率的設(shè)計，其核心思想是利用結(jié)構(gòu)參數(shù)優(yōu)化，融合“光子晶體多波矢耦合”和“蛾眼結(jié)構(gòu)寬頻折射率漸變”兩種機制。通過基于時域有限差分算法的數(shù)值實驗，對光子晶體蛾眼結(jié)構(gòu)的物理參數(shù)進(jìn)行優(yōu)化，最后得到一種簡單且寬頻高光提取效率的結(jié)構(gòu)，適用于RGB 全彩LED，在寬頻范圍內(nèi)可以比傳統(tǒng)無表面結(jié)構(gòu)LED的光提取效率平均提高了6倍以上，具有廣泛的工業(yè)使用前景。

光提取效率；RGB全彩LED；光子晶體；蛾眼結(jié)構(gòu)

引言

LED作為一種新型固態(tài)光源以其獨特的優(yōu)越性已經(jīng)被廣泛用于各個領(lǐng)域，實現(xiàn)了人類照明歷史的又一次技術(shù)革命[1-3]。隨著人們對照明質(zhì)量需求的提高，RGB全彩LED得到快速發(fā)展，其內(nèi)部由三顆基色芯片構(gòu)成，通過控制電流大小可以調(diào)節(jié)三基色的配比實現(xiàn)可調(diào)色溫和高顯色指數(shù)的功能[4-9]。在LED眾多課題中，提高LED芯片的光提取效率一直是該領(lǐng)域的重要問題，這是由于大于臨界角入射到LED芯片表面的光會在表面發(fā)生全內(nèi)反射(total internal reflection，即 TIR)，這部分光在 LED 內(nèi)部傳播，一部分從 LED 芯片的側(cè)面出射，而另一部分被有源層或者是缺陷能級吸收，造成出光效率低。更嚴(yán)重的是被缺陷吸收的光轉(zhuǎn)化為熱能，使 LED 工作在高溫狀態(tài)，縮短使用壽命，而且高溫會降低LED的材料性能，造成更強的吸收，從而使系統(tǒng)性能進(jìn)入惡性循環(huán)。所以，提高出光效率是LED一個長期的問題。

最近幾年國內(nèi)外學(xué)者在提高LED芯片出光效率方面做了很多研究工作，也提出了很多有效方法，包括表面粗化、透明襯底、芯片異形、倒裝芯片等方法，讓光提取效率都有了很大提高，平均可以提高2～4倍[12-15]，表面粗化法和倒裝技術(shù)已經(jīng)成熟地運用到了實際應(yīng)用中。但是，這種無順序的粗化法不能有效控制粗化后的表面形貌，從而不能對從LED芯片內(nèi)部提取的光的出射方向進(jìn)行控制，而且對不同波長出光效果帶有一定的隨機性。另一方面，光子晶體作為一種全新的光子學(xué)材料被引入來解決該問題[16-17]，Shanhui Fan(MIT)在2001年首次提出利用特定光子晶體可以將LED出光效率做到100%[18]。但是其工作頻率范圍極其窄，無法實現(xiàn)寬頻范圍高光提取效率，未能滿足全彩LED的實用性。再后來，光子晶體蛾眼結(jié)構(gòu)來提高LED的光提取效率的思路被提出，其寬角度提高出光率的效果得到證實，Eun-Ju Hong等人通過實驗證實了有蛾眼結(jié)構(gòu)的LED樣品光致發(fā)光強度比沒有該結(jié)構(gòu)的樣品高5～7倍[19]，但是相關(guān)研究并沒有考慮到全彩LED的寬頻需求[20-24]。

在此工作中，我們提出光子晶體蛾眼結(jié)構(gòu)，通過優(yōu)化參數(shù)，可以實現(xiàn)寬頻高光提取效率甚至覆蓋整個RGB全彩光譜，即同一種結(jié)構(gòu)在RGB波段在寬角度范圍都具有高的抽光率。通過基于FDTD算法的數(shù)值實驗，我們發(fā)現(xiàn)與傳統(tǒng)平板結(jié)構(gòu)相比能在RGB全彩頻率提高抽光率達(dá)到6倍以上。因為該設(shè)計結(jié)構(gòu)相對簡單，易于微納加工，具有廣泛的運用價值。

對于RGB全彩 LED，希望在610～620nm、530～540nm、460～470nm三個波段均具有很高的光提取效率成為迫切需求。

1　模型結(jié)構(gòu)和計算方法

加蛾眼結(jié)構(gòu)的一般正裝GaN LED結(jié)構(gòu)示意圖如圖1所示：從上到下結(jié)構(gòu)依次為蛾眼結(jié)構(gòu)層、p型層、多量子阱層、n型層和金屬反射層。

圖1　真實LED結(jié)構(gòu)示意圖Fig.1　The schematic diagram of real LED structure

圖2　仿真結(jié)構(gòu)示意圖Fig.2　Schematic diagram of simulation structure

因為實際LED全反射主要是發(fā)生在最上層平板(p型層)與空氣之間，為了突出蛾眼結(jié)構(gòu)的效果，我們對此模型進(jìn)行了簡化，簡化結(jié)構(gòu)如圖2所示，我們略去多量子井層，并且，忽略p型層與n型層的差別，所以p型層與n型層就合為一層GaN層，其厚度約100nm，GaN介質(zhì)折射率為2.4，消光系數(shù)3.58×10-4[19]，底層與真實LED一樣是理想金屬反射層。頂層蛾眼結(jié)構(gòu)也是由相同GaN材料構(gòu)成，在xy平面是正方晶格，其中最主要三個參數(shù)：晶格常數(shù)a、錐高h(yuǎn)、錐底半徑d，它們的初始值設(shè)為a=700nm，h=500nm，d=600nm，后面我們將對它們進(jìn)行優(yōu)化，優(yōu)化過程的規(guī)則是“掃描某個參數(shù)，保持另外兩個參數(shù)為初值”。

本文的數(shù)值實驗是用EastWave商業(yè)軟件[10]進(jìn)行模擬，該軟件是基于三維FDTD(時域有限差分)算法。在仿真過程中，不同偏振方向的偶極子光源放在GaN層中，發(fā)出特殊高斯脈沖，在LED蛾眼結(jié)構(gòu)的上方200nm位置設(shè)立“觀測面”，記錄各個頻率在觀測面z方向的出射能流(軟件中附帶此功能)，從而計算出每個頻率的LED的光提取效率為

(1)

而光提取效率的增強倍數(shù)為

仿真計算體系的尺寸大小是一個需要綜合考慮的問題。因為我們關(guān)心的是全彩LED的抽光率提高，所以光源發(fā)出的高斯脈沖涵蓋了所有可見光頻譜范圍，即波長是幾百納米級別，而真實LED芯片的尺寸是毫米級別，約波長的千倍以上。進(jìn)行真實LED尺寸(千倍波長以上)的嚴(yán)格仿真是不可行的，因為我們必須考慮到有限計算資源限制和計算時間的限制。在考慮各種限制和計算結(jié)果準(zhǔn)確性的前提下，我們選擇計算10a×10a(7μm×7μm)大小的體系，因為，通過檢驗性計算，我們發(fā)現(xiàn)再增大計算體系尺寸，對計算結(jié)果影響很小，說明結(jié)果已經(jīng)收斂，即這個尺寸體系的計算結(jié)果已經(jīng)能夠代表更大體系的結(jié)果。所以，10a×10a的仿真計算尺寸已經(jīng)保證了計算結(jié)果的收斂性和可靠性。

2　提高光提取效率原理

蛾眼結(jié)構(gòu)是一種熟知的寬頻低反射的微納結(jié)構(gòu)，其在空氣和蛾眼睛內(nèi)部之間形成漸變的有效折射率梯度，把自由空間的輻射光高效地耦合到眼睛內(nèi)部，大幅度降低反射，增加吸收效果。其頻率不敏感的低反射現(xiàn)象，物理原理是：當(dāng)光的波長大于微納結(jié)構(gòu)的尺寸時，光波無法分辨微納結(jié)構(gòu)細(xì)節(jié)，只能感受到平均折射率，即隨深度漸變的平均折射率。根據(jù)光路可逆性原理，好的吸波材料往往就是好的發(fā)光材料，所以蛾眼結(jié)構(gòu)也能夠用于LED等發(fā)光器件的設(shè)計。

自然界的蛾眼結(jié)構(gòu)普遍是準(zhǔn)無序的，而人工周期性的蛾眼結(jié)構(gòu)則可以把前述“光子晶體周期波矢耦合效應(yīng)”和“蛾眼結(jié)構(gòu)寬頻折射率漸變效應(yīng)”融合起來，通過這兩個效應(yīng)就能夠?qū)崿F(xiàn)寬頻、寬角度、高效率的內(nèi)外場耦合效果，而這恰恰是本文的創(chuàng)新點。我們在下一節(jié)將看到，通道適當(dāng)選擇結(jié)構(gòu)參數(shù)，確實能夠?qū)崿F(xiàn)這個效果。

3　數(shù)值仿真結(jié)果

接下來，我們將根據(jù)所建的模型利用FDTD軟件進(jìn)行參數(shù)優(yōu)化計算。作為光提取效率提高的基礎(chǔ)，首先計算普通平板LED的光提取效率，在400nm～700nm波段，可以發(fā)現(xiàn)在此波段普通平板LED的光提取效率平均大約在6%左右然后設(shè)置蛾眼結(jié)構(gòu)，假設(shè)蛾眼光子晶體結(jié)構(gòu)的晶格常數(shù)a，蛾眼高度h，蛾眼底部間距d，初始值分別為a=700nm，h=500nm，d=600nm，計算該結(jié)構(gòu)在300～1000nm的光提取增強系數(shù)如圖3所示。可以看出在400～700nm波段光提取效率在各個波段表現(xiàn)很不同，在500～600nm波段相對于普通平板LED有了很大的提高，有些波段提高接近6倍，但是，在400nm左右只與平板差不多，在比600nm更長的波段光提取效率也只提高3倍左右。顯然，該結(jié)構(gòu)還有很大的優(yōu)化空間。

為了實現(xiàn)寬頻段高光提取效率，我們將先后依次優(yōu)化蛾眼結(jié)構(gòu)參數(shù)a、h和d，發(fā)現(xiàn)它們影響光提取效率增強倍數(shù)(蛾眼/平板)的規(guī)律，并得到較優(yōu)化的設(shè)計。

首先，優(yōu)化晶格常數(shù)a。如前所述，在優(yōu)化a時，我們假定h和d保持固定(h=500nm，d=600nm)，改變晶格常數(shù)a：700nm，800nm, 900nm，并計算光提取效率的變化。如圖4所示，可以看出在在700～800nm范圍，a增大會大幅提高光提取效率，但是隨著a從800nm進(jìn)一步增大到900nm，光提取效率明顯趨于飽和。有鑒于此，我們下面優(yōu)化其他參數(shù)時把a定為900nm。

圖3　平板LED光提取效率和光子晶體蛾眼結(jié)構(gòu)LED相對于平板LED光提取效率增強倍數(shù)Fig.3　The extract efficiency of flat LED and the enhancement factor of the PC moth-eye structure LED relative to the flat LED

圖4　當(dāng)h=500nm，d=600nm時，改變晶格常數(shù)a對光提取效率的影響Fig.4　The effect of extraction when change the lattice constant at h=500nm,d=600nm

圖5　當(dāng)a=900nm，d=600nm時，改變蛾眼結(jié)構(gòu)高度h對光提取效率的影響Fig.5　The effect of extraction when change the height of moth-structure at a=900nm,d=600nm

其次，優(yōu)化蛾眼結(jié)構(gòu)的高度h。假定固定a=900nm和d=600nm不變，改變蛾眼高度h，結(jié)構(gòu)如圖5所示。可以看出，在300～500nm范圍，h的變化對該結(jié)構(gòu)光提取效率的整體影響并不大，只是會改變一下頻段的細(xì)節(jié)。所以，我們保持h的初始值，即500nm。

最后，優(yōu)化蛾眼結(jié)構(gòu)的錐底邊距d。假設(shè)a=900nm和h=450nm固定，d分別選擇500nm,550nm,600nm,650nm, 如圖6所示，可以看出在一定范圍內(nèi)，錐底直徑越大光提取效率會有所降低，考慮到納米加工的難度，我們選取d最優(yōu)值為500nm。

圖6　當(dāng)a=900nm，h=450nm時，改變蛾眼底部直徑d對光提取效率的影響Fig.6　The effect of extraction when change the diameter of moth-structure at a=900nm,h=450nm

通過系列參數(shù)優(yōu)化，我們得到相對優(yōu)化的結(jié)構(gòu)參數(shù)為a=900nm，h=450nm，d=500nm，數(shù)值實驗顯示它可以達(dá)到很好的提高光提取效率的結(jié)果。對于RGB全彩 LED，該設(shè)計在460～470nm，530～540nm，610～620nm三個核心波段均實現(xiàn)了6倍以上的光提取效率提高。

4　總結(jié)

從以上的模擬結(jié)果看出，使用蛾眼結(jié)構(gòu)光子晶體的LED光提取效率在400nm～700nm波段比傳統(tǒng)平板型LED平均提高了7～8倍，該結(jié)構(gòu)表現(xiàn)出了很強的優(yōu)勢，尤其在RGB在三個常用的核心波段都實現(xiàn)光提取效率6倍以上的提高，在530nm和620nm波段更分別達(dá)到了12倍和8倍，該結(jié)構(gòu)可用于高顯色指數(shù)的RGB LED，在保證顯示的情況下大大提高了流明值。但是，在465nm波段只提升了6倍左右，需要進(jìn)一步改進(jìn)。由于計算資源限制，導(dǎo)致優(yōu)化方案受限，所以，最終結(jié)構(gòu)可能不是最優(yōu)設(shè)計，然而這并不影響總體趨勢?？偟膩碚f該結(jié)構(gòu)在RGB波段具有很好的增強光提取效果，加上該設(shè)計的結(jié)構(gòu)簡單、尺度適中，通過現(xiàn)代微納加工很容易制造，具有很高的實用性。

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The Study on A Broadband and High Extract Efficiency LED Chip

FANG Haiwen, JIANG Xunya

(InstituteforElectricLightSources,EngineeringResearchCenterofAdvancedLightingTechnology,MinistryofEducation,FudanUniversity,Shanghai200433,China)

This paper proposes the use of a single photonic crystal (PC) moth-eye structure to improve LED light extract efficiency in a wide frequency range, the main idea is to optimize the structural parameters so that both mechanisms of PC multiple wave-vector coupling and moth-eye gradually-varied refractive index in wide frequency range could work together very well. Based on numerical experiments with finite-difference time-domain method, we optimize the structural parameters of PC moth-eye structure, and finally get a simple structure with higher extract efficiency for RGB full color LED. Its average extract efficiency could be six times higher than the traditional without-surface-structure LED in a very wide frequency range. With these values, the structure has great potential for industrial applications.

light extract efficiency； RGB full color LED； photonic crystal； moth-eye structure

TM923

A

10.3969j.issn.1004-440X.2016.02.016