上海微電子：“智”造中國芯

宋 杰

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上海微電子：“智”造中國芯

宋 杰

在光刻機領(lǐng)域，上海微電子裝備有限公司不僅在先進封裝光刻機產(chǎn)品方面形成了系列化和量產(chǎn)化，而且還實現(xiàn)了光刻機海外市場的銷售突破

隨著信息產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，集成電路（也就是常說的“芯片”）成為手機、平板電腦等電子移動終端離不開的設(shè)備，而光刻機是半導體芯片制造業(yè)中的最核心設(shè)備。以光刻機為代表的高端半導體裝備支撐著集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展，芯片越做越小，集成的電路越來越多，能使終端變得小巧玲瓏。

在光刻機領(lǐng)域，上海微電子裝備有限公司（簡稱“SMEE”）取得了重要突破，并在先進封裝光刻機產(chǎn)品方面形成了系列化和量產(chǎn)化，在國際同類產(chǎn)品中處于先進水平，還實現(xiàn)了光刻機海外市場的銷售突破。SMEE也被列入國家發(fā)改委2016 年1月底公布的國家認定企業(yè)技術(shù)中心名單。

在微觀世界里“造房子”

近日，在浦東張江園區(qū)SMEE展覽館里，SMEE人事總監(jiān)賀躍進介紹了組成光刻機的核心部件。他將制造光刻機比作是在微觀世界里“造房子”——成像系統(tǒng)由幾十個直徑為200～300毫米的透鏡組成，定位精度都是納米級。微米級的瞬時傳輸控制技術(shù)，猶如兩架空客以1000/小時公里同步高速運動，在瞬間對接穿針引線；玻璃鏡面加工等精度，誤差不會超過0.5毫米。

SMEE總經(jīng)理賀榮明表示，光刻機是集成電路裝備中技術(shù)難度最高、價值量最大的部分，由于技術(shù)的超高難度導致在全世界形成了超高的技術(shù)門檻。

據(jù)了解，當今世界能夠擁有這種技術(shù)、生產(chǎn)這種產(chǎn)品的只有兩三個國家的兩三家公司。賀榮明表示，集成電路行業(yè)發(fā)展的很多技術(shù)路線、工藝路線是非常依賴于光科技的發(fā)展路線，所以從這個角度，它就成為信息產(chǎn)業(yè)集成電路行業(yè)發(fā)展的重要基石；從另一個角度來講，我國正在進行大的結(jié)構(gòu)調(diào)整，對集成電路產(chǎn)業(yè)提出了非常高的期待與要求，不僅涉及到整個國家的產(chǎn)品結(jié)構(gòu)調(diào)整發(fā)展，從某種程度它也涉及到整個信息產(chǎn)業(yè)的安全，所以如何在集成電路行業(yè)擁有自己的核心裝備，對國家國民經(jīng)濟的發(fā)展就至為重要。

光刻機是集成度非常高，涉及的門類、領(lǐng)域、科技種類非常廣泛的集成性的設(shè)備，由于這種設(shè)備的發(fā)展會牽引帶動很多關(guān)鍵單元技術(shù)、子技術(shù)、子學科的發(fā)展，“牽一發(fā)而動全身”，它可以牽引推動整個高科技基礎(chǔ)領(lǐng)域的發(fā)展。

據(jù)了解，以光刻機為代表的產(chǎn)品主要應(yīng)用于四大領(lǐng)域，芯片制造、芯片先進封裝、LED制造、下一代顯示屏制造。另外還有類光科技產(chǎn)品，包括激光封裝、激光退火等設(shè)備，去年開始在試驗，今年逐步開始小批生產(chǎn)，未來為移動穿戴、智能時代提供產(chǎn)品。

賀榮明表示，光刻機的自主研發(fā)可以概括為一個“難”字，“因為難，有時候就逼著你沒有后路背水一戰(zhàn)去創(chuàng)新?！比魏我粋€行業(yè)的發(fā)展，特別是高端裝備的發(fā)展，其實最重要的還是人才，光刻機人才與其他行業(yè)相比，涉及面更廣，有幾十個專業(yè)，所有的技術(shù)在這個產(chǎn)品上匯聚、交雜，形成異常復雜的設(shè)備，對人才的廣泛性、多樣性提出更高要求。

從跟蹤國際專利到不斷掌握擁有完全自主知識產(chǎn)權(quán)的高端光刻設(shè)備的總體設(shè)計技術(shù)、集成技術(shù)和關(guān)鍵單元技術(shù)，SMEE形成了系列完整的產(chǎn)品，實現(xiàn)了“用中國人的光刻機造中國芯”的夢想

創(chuàng)新路上要“沿途下蛋”

賀榮明坦言，高端光刻機開發(fā)的周期非常長，難度也非常高，如果在整個過程中只是走研發(fā)的道路，而不是及時考慮產(chǎn)業(yè)化，那么對整個項目的開發(fā)、人才團隊的鼓勵都會帶來管理上的困難 。SMEE的決策者們在決定以高端光刻機開發(fā)為主線的同時，每天都在考慮當離高端產(chǎn)品的開發(fā)還有一定高峰要攀登的時候，在“半山腰”、在“山腳”下，能不能把已經(jīng)掌握、部分掌握的技術(shù)變成產(chǎn)品，去服務(wù)于行業(yè)。基于這個思路，SMEE就形成了很多“沿途下蛋”的產(chǎn)品。

比如說，同樣是光刻機，它在前道的產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用難度非常高，但是后道的先進封裝對光刻機的應(yīng)用越來越廣泛，可以先行進入，所以SMEE就抓住了這個契機，開發(fā)了一款適用于先進封裝行業(yè)的光刻機。此前，這種光刻機完全依賴于進口，而今SMEE 已經(jīng)占領(lǐng)了80%以上的國內(nèi)市場?，F(xiàn)在市場上高端智能手機上都有SMEE 自主研發(fā)的先進封裝光刻機的功勞。這樣一來，產(chǎn)品的研發(fā)形成了一種階梯、波浪，“前面在不斷瞄準高科技的發(fā)展，同時它不斷把掌握的技術(shù)輻射為具有應(yīng)用前景又能為國民經(jīng)濟、產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域提供很好技術(shù)支撐的產(chǎn)品，這樣兩個目標形成一種互動、良性循環(huán)。既通過高科技的研發(fā)來錘煉人才，又通過產(chǎn)品的市場化來打造工程性人才，這種人才的分合匯聚組合讓公司向兩維領(lǐng)域發(fā)展（一維是技術(shù)高度，一維是產(chǎn)業(yè)寬度），不讓公司變?yōu)榧兇獾难邪l(fā)機構(gòu)，同時也不讓公司太功利化。這兩者融合能為公司將來高端光刻機的發(fā)展提供良好的發(fā)展模式?！辟R榮明表示。

賀榮明直言，企業(yè)運營的最大壓力在于技術(shù)突破和人才團隊的聚焦與持續(xù)發(fā)展。由于我國技術(shù)基礎(chǔ)比較薄弱，不但要攻克技術(shù)上的難點，還要解決攻克過程中的管理問題。在供應(yīng)鏈的打造和高科技行業(yè)上受到國外的限制等，使得我國整個技術(shù)門類還不健全，整個資源鏈還不完善，現(xiàn)在一方面以自主創(chuàng)新為主，一方面用更寬泛的國際視野面向全球整合資源?！拔覈咚侔l(fā)展，吸引了全球高科技人才、組織對我們充滿期待，這樣迎來了利用國際資源解決自身瓶頸，使得SMEE在堅持自主創(chuàng)新的同時全球化、國際化?！?/p>

從跟蹤國際專利到不斷掌握擁有完全自主知識產(chǎn)權(quán)的高端光刻設(shè)備的總體設(shè)計技術(shù)、集成技術(shù)和關(guān)鍵單元技術(shù)，SMEE形成了系列完整的產(chǎn)品，實現(xiàn)了“用中國人的光刻機造中國芯”的夢想。截至2015年底，SMEE獲得的專利總數(shù)1800項左右，85%是發(fā)明專利，800項已獲授權(quán)，其中國際發(fā)明專利140多項，獲授權(quán)的國際發(fā)明專利42項。這些專利滲透在各個產(chǎn)品之中，為高科技產(chǎn)品走向世界提供自主知識產(chǎn)權(quán)的法律保障。

SMEE在布局知識產(chǎn)權(quán)規(guī)劃時，很早就成立了知識產(chǎn)權(quán)與技術(shù)管理部，有20多位知識產(chǎn)權(quán)工程師、法律專家，定期分析收集全球?qū)I(yè)技術(shù)領(lǐng)域的各種專利，包括新產(chǎn)生專利、即將失效的專利等，每個季度，知識產(chǎn)權(quán)與技術(shù)管理部提交知識產(chǎn)權(quán)戰(zhàn)略工作報告，以供SMEE進行戰(zhàn)略決策。

值得一提的是，每年SMEE以任務(wù)形式下達“專利指標”，并且與績效考核掛鉤，使產(chǎn)品進入市場不侵權(quán)不被起訴，“比如先進封裝光刻機技術(shù)有400項專利在保護著它，使它很好地進入市場，用戶可以放心使用，我們也不會受到競爭對手的干擾?！备呖萍计髽I(yè)發(fā)展，知識產(chǎn)權(quán)的戰(zhàn)略規(guī)劃與產(chǎn)品發(fā)展必須要同步。目前，SMEE已成為國家級知識產(chǎn)權(quán)示范企業(yè)。