雙面帶有隔片的密封用片、以及半導體裝置的制造方法

申請公布號：CN105745750A

申請公布日：2016.07.06

申請人：日東電工株式會社

地址：日本大阪府

發(fā)明人：志賀豪士；石坂剛；盛田浩介；飯野智繪

Int.Cl.：H01L23/29（2006.01）I；C09J7/02（2006.01）I；H01L21/60（2006.01）I；H01L23/28（2006.01）I；

優(yōu)先權：2013-241276 2013.11.21 JP

PCT進入國家階段日：2016.05.19

PCT申請數(shù)據(jù)：PCT/JP2014/079078 2014.10.31

PCT公布數(shù)據(jù)：WO2015/076088 JA 2015.05.28

摘 要：該發(fā)明提供一種雙面帶有隔片的密封用片，其具備密封用片、層疊于密封用片的一個面的厚50 μm以上的隔片A、和層疊于密封用片的另一個面的隔片B。