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      《中國制造2025》設(shè)定集成電路設(shè)備國產(chǎn)化目標

      2016-03-10 21:49:28
      電子工業(yè)專用設(shè)備 2016年8期
      關(guān)鍵詞:光刻機工藝設(shè)備關(guān)鍵設(shè)備

      《中國制造2025》設(shè)定集成電路設(shè)備國產(chǎn)化目標

      作為我國實施制造強國戰(zhàn)略第一個10年的行動綱領(lǐng),《中國制造2025》對于半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化提出了明確要求:

      在2020年之前,90~32 nm工藝設(shè)備國產(chǎn)化率達到50%,實現(xiàn)90 nm光刻機國產(chǎn)化,封測關(guān)鍵設(shè)備國產(chǎn)化率達到50%。

      在2025年之前,20~14 nm工藝設(shè)備國產(chǎn)化率達到30%,實現(xiàn)浸沒式光刻機國產(chǎn)化。

      到2030年,實現(xiàn)450 mm工藝設(shè)備、EUV光刻機、封測設(shè)備的國產(chǎn)化。

      從產(chǎn)業(yè)鏈各環(huán)節(jié)國產(chǎn)化的難度來看,設(shè)備>制造>封裝>設(shè)計是不爭的事實。不過,近期國內(nèi)各地已刮起一陣大規(guī)模集成電路晶圓制造生產(chǎn)線的東風。我國半導(dǎo)體設(shè)備制造業(yè)要抓住這難得的契機,一舉實現(xiàn)《中國制造2025》的既定目標。

      (來自:中國電子報)

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