• 
    

    
    

      99热精品在线国产_美女午夜性视频免费_国产精品国产高清国产av_av欧美777_自拍偷自拍亚洲精品老妇_亚洲熟女精品中文字幕_www日本黄色视频网_国产精品野战在线观看 ?

      關(guān)于半導(dǎo)體行業(yè)含氟廢水的處理策略探討

      2015-12-14 09:25:59汪軼杰
      資源節(jié)約與環(huán)保 2015年7期
      關(guān)鍵詞:氟化鈣含氟沉淀法

      汪軼杰

      (中芯國際集成電路制造(深圳)有限公司 廣東深圳 518118)

      關(guān)于半導(dǎo)體行業(yè)含氟廢水的處理策略探討

      汪軼杰

      (中芯國際集成電路制造(深圳)有限公司 廣東深圳 518118)

      隨著科技的發(fā)展,中國也逐漸開始轉(zhuǎn)向電子整機產(chǎn)品生產(chǎn),半導(dǎo)體行業(yè)的加入更是加快了中國轉(zhuǎn)向的步伐,讓中國獲得了大量的需求和機遇,半導(dǎo)體行業(yè)的企業(yè)也開始大量在中國建立生產(chǎn)基地。半導(dǎo)體行業(yè)在中國迅速發(fā)展的同時也給中國帶來了新的環(huán)境問題,其中半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)的含氟廢水對于環(huán)境的危害最為嚴(yán)重。本文首先分析半導(dǎo)體行業(yè)含氟廢水的產(chǎn)生,然后概述含氟廢水的處理方法,最后探討處理半導(dǎo)體行業(yè)含氟廢水的有效策略。寄希望對我國半導(dǎo)體行業(yè)含氟廢水的有效處理提供幫助。

      半導(dǎo)體;含氟廢水;處理;策略

      1 半導(dǎo)體行業(yè)含氟廢水的產(chǎn)生

      半導(dǎo)體行業(yè)含氟廢水的產(chǎn)生主要來自半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝流程中,半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝不僅復(fù)雜,步驟也較為繁多,過程中使用的化學(xué)試劑也比較多樣化,產(chǎn)生的特殊氣味也是比較復(fù)雜的。一般來說,主要的生產(chǎn)工序主要有:硅片的清洗、氧化或擴散的過程、化學(xué)氣相沉積過程、光刻、去膠、氫氟酸和氟化銨以及高純水清洗的干法刻蝕過程、濕法腐蝕、離子注入、金屬化、化學(xué)機械拋光CMP、檢測等流程。在這些流程中,含氟廢水主要來自刻蝕工序中的氫氟酸和氟化銨,主要存在的污染物有氟化物、磷酸、氨氮、SS、PH。含氟廢水對于人體危害極大,能夠?qū)θ梭w粘膜、眼睛、上呼吸道以及皮膚組織等產(chǎn)生巨大的破壞,吸入會發(fā)生中毒,影響人體物質(zhì)代謝,進而對人體各器官發(fā)生危害,最終致死。

      2 含氟廢水的處理方法

      我國半導(dǎo)體行業(yè)對于含氟廢水的處理采用的方法一般有:化學(xué)沉淀法、吸附法、混凝沉降法、反滲透法、離子交換法、共蒸餾法、電凝聚法以及液膜法等方法。在這些方法中,化學(xué)沉淀法是含氟廢水處理最為常用的方法,調(diào)節(jié)廢水pH值至堿性,然后投加鈣鹽,讓溶液中的氟離子與鈣離子結(jié)合,形成氟化鈣沉淀出來。吸附法則是通過讓含氟廢水通過裝有氟吸附劑的設(shè)備中,氟離子與吸附劑中的其他離子或基團發(fā)生交換而留在吸附劑上,從而達(dá)到去除的目的。該種方法一般應(yīng)用于濃度較低的含氟廢水?;炷两捣ㄔ趶U水處理中應(yīng)用也比較廣泛,主要是通過使用混凝劑讓廢水中的膠體和細(xì)微懸浮物凝聚起來形成絮凝體,然后采用分離的方法進行分離。常用的除氟混凝劑主要是鐵鹽和聚丙烯酰胺等有機類溶劑。除了詳述的三種除氟方法,后面的幾種方法對于除氟也有較好的效果,具體操作由于篇幅問題不進行詳述。在對含氟廢水進行處理時,可以根據(jù)實際情況來選擇除氟方法。

      3 半導(dǎo)體行業(yè)含氟廢水的處理策略

      半導(dǎo)體行業(yè)的含氟廢水處理常采用的方法為化學(xué)沉淀法和混凝劑沉降法兩種,無論是哪種除氟的方法,都需要進行除氟工藝的優(yōu)化,才能有效提高除氟水平。以下將兩種除氟方法進行組合,形成氟化鈣絮凝沉淀法,來探討本公司含氟廢水的具體處理過程:

      由上述可知,使用化學(xué)沉淀法進行含氟廢水的處理原理可以用以下化學(xué)方程式來體現(xiàn):

      加入的CaCl2是過量的,在加入之前為了保證pH值為8左右,因此還需要加入NaOH,然后加入絮凝劑,讓形成的沉淀CaF2成為礬花,從而更加有利于分離。

      加入絮凝劑后,含氟廢水會發(fā)生絮凝反應(yīng),之后,通過泥水分離方法,含氟沉淀很快分離出來,被污泥泵抽到污泥濃縮池中,最后用壓濾機壓成泥餅,而分離出來的上清液則進入中和池,經(jīng)過再度監(jiān)測后便可進行排放。檢查的水質(zhì)不合格的需要進行二次處理,直到合格后方可排出。廢水排放的形式為連續(xù)排放,每次排放量為480t/d。

      通過上述的原理分析,本半導(dǎo)體企業(yè)在進行含氟廢水的處理過程中,按照以下的除氟工藝流程來進行含氟廢水的處理,如圖1所示。

      圖1 氟化鈣絮凝沉淀法除氟工藝流程

      該種方法,既能夠讓含氟廢水的中的氟離子得到有效的清除,還能夠有效解決日常含氟廢水處理后出現(xiàn)的水質(zhì)不穩(wěn)定,藥劑使用量不確定以及二次污染等問題,在工藝流程上也比較簡單,費用也比較低,對于半導(dǎo)體行業(yè)的除氟處理具有很大的適用性。另外,采用氟化鈣絮凝沉淀法處理含氟廢水的同時,也能夠除去廢水中大部分的磷,因此,該種方法可以進行廣泛的推廣。

      4 結(jié)語

      半導(dǎo)體行業(yè)進入中國后,給中國帶來了巨大的經(jīng)濟利益,刺激了中國對于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的需求,但是它同時帶給中國的環(huán)境問題是不同忽視的。半導(dǎo)體行業(yè)在進行生產(chǎn)的過程中,會產(chǎn)生大量的廢水。其中含氟廢水對于環(huán)境的影響最大,危害也愈加嚴(yán)重,因此含氟廢水的處理在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中是必不可少的環(huán)節(jié)。實踐證明,本公司采用的氟化鈣絮凝沉淀法,對含氟廢水的處理效果明顯,運行穩(wěn)定,兼顧了經(jīng)濟效益和環(huán)境效益,值得在半導(dǎo)體行業(yè)推廣。

      [1]周霖,張彰,方瑜,等.混凝沉淀法處理工業(yè)含氟廢水的工藝研究[J].化學(xué)研究,2010,21(5)∶54-57,62.

      [2]胡瑩海.半導(dǎo)體廠的含氟廢水處理[J].城市建設(shè)理論研究(電子版),2013,(2).

      [3]楊有才.從高濃度含氟廢水中回收砂狀冰晶石的研究[D].中南大學(xué),2012.

      猜你喜歡
      氟化鈣含氟沉淀法
      氟化鈣污泥提純及資源化利用的研究現(xiàn)狀
      硝酸銀沉淀法去除高鹽工業(yè)廢水中鹵化物對COD測定的干擾
      磷酸鈉-氫氧化鈉浸出氟化鈣動力學(xué)研究
      氟化鈣污泥處置技術(shù)研究進展
      光伏含氟背板隱憂
      能源(2017年5期)2017-07-06 09:25:55
      2017年1~9月化學(xué)礦產(chǎn)品及相關(guān)產(chǎn)品出口數(shù)據(jù)
      濕法磷酸化學(xué)沉淀法除鎂工藝
      POSS 含氟丙烯酸酯聚合物的合成及其性能研究
      混凝沉淀法處理含鉛礦坑涌水
      化工進展(2015年6期)2015-11-13 00:32:12
      采用碳化-沉淀法制備纖維狀納米Mg(OH)2的研究
      平邑县| 尉氏县| 积石山| 济阳县| 应城市| 筠连县| 潮安县| 石河子市| 吉木萨尔县| 万宁市| 独山县| 凤翔县| 贵定县| 泸溪县| 高州市| 长沙县| 汉川市| 广宗县| 玛沁县| 德昌县| 秭归县| 富宁县| 治县。| 天长市| 宁国市| 通辽市| 子洲县| 兴仁县| 屏南县| 乌拉特后旗| 鄯善县| 卢氏县| 鸡泽县| 策勒县| 崇义县| 房山区| 湘阴县| 临城县| 化德县| 鄂托克前旗| 惠水县|