艾國齊 汪延明 苗振林 袁章潔
【摘要】本實驗通過在玻璃襯底上,采用溶膠-凝膠法制備K+、Mg2+共摻雜ZnO薄膜,固定K+與Zn2+摩爾比,改變Mg2+的摻雜含量,實驗表明隨著Mg2+摻雜量增加,薄膜的致密性更好,透光率不斷提高,說明薄膜隨著Mg2+濃度增加,結(jié)晶性能提高,Mg2+的摻入有利于薄膜的結(jié)晶,摻入薄膜中的離子濃度增大,從而增大了載流子濃度,但是當(dāng)濃度過高時,過多的Mg2+進入間隙位會阻礙離子的運輸,不利于薄膜的擇優(yōu)取向生長。
【關(guān)鍵詞】玻璃襯底;溶膠-凝膠法;ZnO薄膜;擇優(yōu)取向