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    CKVision在分選設(shè)備視覺定位中的應(yīng)用

    2015-07-04 01:41:46尚美杰
    電子工業(yè)專用設(shè)備 2015年9期
    關(guān)鍵詞:墨點(diǎn)圖像處理灰度

    劉 丹,尚美杰,郭 東,紀(jì) 偉

    (中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十五研究所,北京100176)

    分選設(shè)備的視覺定位系統(tǒng)是采用工業(yè)相機(jī)將被檢測(cè)的物體轉(zhuǎn)換成圖像信號(hào),傳遞給圖像處理系統(tǒng),圖像處理系統(tǒng)對(duì)這些信號(hào)進(jìn)行各種運(yùn)算來抽取被檢測(cè)物體的特征,如數(shù)量、幾何中心、角度、灰度等,再根據(jù)預(yù)設(shè)的搜索范圍和搜索條件來輸出結(jié)果,如幾何中心、角度、個(gè)數(shù)、合格/ 不合格、有/無等,實(shí)現(xiàn)自動(dòng)識(shí)別定位功能。

    1 分選設(shè)備結(jié)構(gòu)與工作原理

    分選設(shè)備可分為運(yùn)動(dòng)部件,機(jī)器視覺,人機(jī)交互三個(gè)部分。其中,運(yùn)動(dòng)部件由擺臂和頂針機(jī)構(gòu)、晶片臺(tái)機(jī)構(gòu)以及工作臺(tái)機(jī)構(gòu)組成;機(jī)器視覺部分由相機(jī)、鏡頭和光源組成;人機(jī)交互由工控機(jī)、顯示器、鼠標(biāo)和鍵盤組成。各部件具體組成及相互關(guān)系如圖1所示。

    在分選設(shè)備上晶片臺(tái)機(jī)構(gòu)用于承載晶圓來料,可實(shí)現(xiàn)x、y 及z 向運(yùn)動(dòng)。工作臺(tái)機(jī)構(gòu)用于承載Tray 盤,可實(shí)現(xiàn)x、y 向運(yùn)動(dòng)。擺臂和頂針機(jī)構(gòu)用于實(shí)現(xiàn)將芯片從晶片臺(tái)的晶圓上抓取并放置到工作臺(tái)的Tray 盤碗杯內(nèi),可實(shí)現(xiàn)z 向及θ 向旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。視覺系統(tǒng)分為兩路,分別設(shè)置在晶片臺(tái)上方和工作臺(tái)上方,用于實(shí)現(xiàn)擺臂和頂針機(jī)構(gòu)的三點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)設(shè)置、晶片臺(tái)側(cè)芯片的識(shí)別定位和工作臺(tái)側(cè)Tray 盤碗杯的識(shí)別定位工作。其工作原理是將符合要求的芯片從藍(lán)膜(或UV 膜) 上拾取起來放置到工作臺(tái)Tray 盤的碗杯內(nèi),詳見圖2所示。

    圖1 分選設(shè)備硬件結(jié)構(gòu)框圖

    2 原用圖像處理軟件的不足

    分選設(shè)備對(duì)芯片的抓取和放置都依賴于視覺系統(tǒng)的識(shí)別定位,抓取的位置是否正確,抓取的芯片是否合格都取決于圖像識(shí)別的結(jié)果,因此圖像識(shí)別在分選設(shè)置上占有重要地位。

    分選設(shè)備要求能識(shí)別帶墨點(diǎn)的芯片,正常光亮條件下帶墨點(diǎn)的芯片成像如圖3所示,在圖像識(shí)別處理上對(duì)芯片的識(shí)別定位主要分為圖像特征匹配和圖像灰度匹配兩種方式。圖像特征匹配是提取圖像中保持不變的特征進(jìn)行匹配識(shí)別,圖像灰度匹配是直接利用全部可用的圖像灰度信息進(jìn)行匹配識(shí)別,原圖像處理軟件對(duì)芯片的識(shí)別采用圖像灰度匹配的方式。這種方式在識(shí)別有墨點(diǎn)的芯片時(shí)就需要將墨點(diǎn)顏色與芯片顏色盡量區(qū)分開,我們通常采用加大相機(jī)的曝光值和光源亮度的方式以達(dá)到該目的,打亮光源后的圖像如圖4所示,再適度的調(diào)節(jié)識(shí)別分?jǐn)?shù)從而獲得較好的識(shí)別率。這種方式雖然可以將墨點(diǎn)識(shí)別出來,但過度的曝光降低了相機(jī)的使用效率,同時(shí)也不可避免的存在識(shí)別誤差,例如對(duì)于面積相對(duì)較小的墨點(diǎn)就無法識(shí)別。

    圖2 分選設(shè)備工藝流程圖

    圖3 正常光亮條件下芯片成像

    圖4 加大光源亮度條件下芯片成像

    3 改進(jìn)軟件設(shè)計(jì)

    3.1 CKVision 圖像處理軟件

    深圳市創(chuàng)科自動(dòng)化控制有限公司是一家高科技軟件公司,專業(yè)從事開發(fā)機(jī)器視覺軟件系統(tǒng)。公司自成立以來致力于圖像算法的研究,成功開發(fā)出易編程的CKVision 機(jī)器視覺處理軟件。CKVision 具有精度高、穩(wěn)定性強(qiáng),識(shí)別速度快,功能全面,對(duì)環(huán)境光線干擾不敏感,檢測(cè)可靠性極高等特點(diǎn);支持所有圖像采集設(shè)備,適用范圍廣;在功能上分為多個(gè)模塊,以類庫(kù)形式封裝,開發(fā)應(yīng)用方便;全中文開發(fā)例程,容易解讀;被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、電子產(chǎn)品、食品、藥品和印刷等行業(yè)。

    CKVision 視覺軟件包含以下功能模塊:

    圖像預(yù)處理功能;

    二維測(cè)量功能;

    缺陷檢測(cè)功能;

    目標(biāo)定位功能;

    相機(jī)標(biāo)定功能;

    彩色分析功能。

    3.2 功能分析及實(shí)現(xiàn)方式

    考慮使用創(chuàng)科圖像處理軟件的主要目的是為了解決分選設(shè)備對(duì)帶墨點(diǎn)芯片的識(shí)別問題。軟件設(shè)計(jì)時(shí)采用將CKVision 的目標(biāo)定位功能和灰度判定功能疊加使用來解決該問題。先設(shè)置模板輪廓線圖像如圖5所示,再設(shè)置灰度分析范圍矩形框如圖6所示,即在設(shè)置模板的過程中不但采集了芯片的特征線同時(shí)也設(shè)置了灰度分析范圍。在識(shí)別時(shí)先通過輪廓匹配功能來完成對(duì)芯片特征的匹配,再對(duì)通過特征匹配的芯片采用灰度值統(tǒng)計(jì)功能對(duì)其需要灰度判定的區(qū)域進(jìn)行灰度分析,最終根據(jù)灰度分析結(jié)果來確定芯片上是否有墨點(diǎn),從而實(shí)現(xiàn)對(duì)芯片好壞的識(shí)別。

    圖5 模板輪廓線

    考慮好對(duì)帶墨點(diǎn)芯片的識(shí)別問題后再分析設(shè)備對(duì)圖像處理軟件的需求,總結(jié)為:

    圖6 灰度分析范圍矩形框

    (1)顯示功能

    ◇顯示窗口的創(chuàng)建

    ◇采集圖像

    ◇圖像縮放顯示

    ◇圖像居中顯示

    ◇畫直線標(biāo)示線

    ◇畫十字標(biāo)示線

    ◇畫矩形顯示框

    (2)識(shí)別功能

    ◇學(xué)習(xí)范圍的設(shè)置

    ◇創(chuàng)建模板

    ◇編輯模板

    ◇模板保存

    ◇模板加載

    ◇設(shè)置模板參數(shù)

    ◇保存模板參數(shù)

    ◇識(shí)別方式設(shè)置

    ◇識(shí)別范圍設(shè)置

    根據(jù)以上需求最終確定將CKVision 進(jìn)行二次封裝,封裝為一個(gè)動(dòng)態(tài)鏈接庫(kù),將需要使用的函數(shù)按功能進(jìn)行封,從而方便整機(jī)軟件的調(diào)用。最終確定的對(duì)外接口函數(shù)如表1所示。

    4 實(shí)驗(yàn)結(jié)果

    封裝完成的動(dòng)態(tài)鏈接庫(kù)能夠與整機(jī)軟件很好地結(jié)合,沒有出現(xiàn)錯(cuò)誤,實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證采用輪廓識(shí)別和局部區(qū)域灰度分析的方式很好地解決了設(shè)備對(duì)墨點(diǎn)的識(shí)別。實(shí)驗(yàn)過程及結(jié)果分別如圖6、7、8 所示。其中圖7描述了模板參數(shù)的設(shè)置,識(shí)別方式選為輪廓+灰度識(shí)別,特征匹配分?jǐn)?shù)閾值為70,定灰度判定值設(shè)置為80。

    表1 動(dòng)態(tài)鏈接庫(kù)對(duì)外接口函數(shù)

    圖7 模板參數(shù)

    圖8及表2是分別識(shí)別6 顆芯片的圖像顯示和數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)。在圖8中可清晰的看到1、2、3、4號(hào)芯片的只有邊框線沒有灰度分析框即為合格芯片,5、6 號(hào)芯片的雖然有邊框線但在有墨點(diǎn)區(qū)域卻又灰度分析范圍框即為不合格芯片。從表2的數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)結(jié)果中也可以看出雖然1~6 號(hào)芯片的特征匹配結(jié)果分?jǐn)?shù)都在設(shè)定的分?jǐn)?shù)閾值之上,但5、6 號(hào)芯片的灰度判定值小于設(shè)定的灰度判定值。

    圖8 識(shí)別結(jié)果圖像

    表2 識(shí)別結(jié)果統(tǒng)計(jì)

    5 結(jié)束語

    CKVision 圖像處理使用簡(jiǎn)單,二次開發(fā)操作容易,在芯片的識(shí)別定位上采用輪廓識(shí)別加灰度分析的方式解決了分選設(shè)備對(duì)帶墨點(diǎn)的芯片識(shí)別誤差大的問題。最終成果動(dòng)態(tài)庫(kù)穩(wěn)定,與設(shè)備軟件能很好的對(duì)接,并已成功在客戶現(xiàn)象投入使用,收到客戶的肯定。

    [1]創(chuàng)科自動(dòng)化控制有限公司.CKVISION 機(jī)器視覺軟件開發(fā)包[Z].2012.

    [2]創(chuàng)科自動(dòng)化控制有限公司.CKVISION5.0 函數(shù)說明[Z].2012.

    [3]阮秋琦阮宇智等譯,數(shù)字圖像處理(第二版)[M].北京:電子工業(yè)出版社,2014.

    [4]王亮,蔣欣蘭譯,機(jī)器視覺[M].北京:中國(guó)青年出版社,2014.

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