近日,上海微高精密機(jī)械工程有限公司與福建龍巖市某公司正式簽訂了用于生產(chǎn)藍(lán)寶石圖形化襯底(PSS)的系列成套設(shè)備合同,合同總額超億元。這是自上海微高公司成立以來,對(duì)外簽訂的第一個(gè)超億元大額銷售合同,也是公司與市場(chǎng)用戶簽訂的首單以光刻機(jī)為核心設(shè)備的大規(guī)模整線建設(shè)合同。
該合同是計(jì)劃月總產(chǎn)能60 萬片圖形化藍(lán)寶石襯底(PSS)的整線建設(shè)項(xiàng)目,包含了光刻機(jī)、清洗機(jī)、刻蝕機(jī)、3D 設(shè)備、膜厚測(cè)量?jī)x、掃描電鏡、自動(dòng)檢測(cè)等多種類/多臺(tái)套黃光區(qū)工藝制造及測(cè)試設(shè)備。
(來自:中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十五研究所)