PECVD PM塔多變量控制系統(tǒng)的設計研究
2014-10-21 20:06:36曹陽王慧慧陳金元
中國機械 2014年24期
關鍵詞：PLC控制系統(tǒng)設計
曹陽 王慧慧 陳金元
摘要：本文介紹了PECVD PM塔的溫度控制系統(tǒng)設計。作者提出了一種既能減小系統(tǒng)非線性，又能減小變量之間耦合的新的控制方案。在此基礎上，將PECVD PM塔的溫度控制系統(tǒng)視為10輸入和10輸出的線性被控對象，應用逆乃氏陣列法對系統(tǒng)進行了分析與設計。整個系統(tǒng)采用PLC系統(tǒng)控制。文中還給出了實驗結果。
關鍵詞：PECVD；多變量控制；系統(tǒng)設計；逆乃氏陣列法；PLC控制
猜你喜歡
建筑建材裝飾(2016年11期)2016-12-29 19:13:49
科技創(chuàng)新與應用(2016年34期)2016-12-23 18:52:54
科學與財富(2016年18期)2016-12-22 17:51:16
電子技術與軟件工程(2016年19期)2016-12-19 18:49:35
數(shù)字技術與應用(2016年9期)2016-11-09 22:52:38
數(shù)字技術與應用(2016年9期)2016-11-09 22:09:07
中國科技博覽(2016年22期)2016-11-01 12:32:07
中國科技博覽(2016年19期)2016-10-19 14:58:22
科技視界(2016年22期)2016-10-18 14:34:34
企業(yè)導報(2016年11期)2016-06-16 15:09:23
