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      PECVD PM塔多變量控制系統(tǒng)的設計研究

      2014-10-21 20:06:36曹陽王慧慧陳金元
      中國機械 2014年24期
      關鍵詞:PLC控制系統(tǒng)設計

      曹陽 王慧慧 陳金元

      摘要:本文介紹了PECVD PM塔的溫度控制系統(tǒng)設計。作者提出了一種既能減小系統(tǒng)非線性,又能減小變量之間耦合的新的控制方案。在此基礎上,將PECVD PM塔的溫度控制系統(tǒng)視為10輸入和10輸出的線性被控對象,應用逆乃氏陣列法對系統(tǒng)進行了分析與設計。整個系統(tǒng)采用PLC系統(tǒng)控制。文中還給出了實驗結果。

      關鍵詞:PECVD;多變量控制;系統(tǒng)設計;逆乃氏陣列法;PLC控制

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