OLED用含鉬和/或鋁金屬膜的蝕刻液及其制備方法

專利申請(qǐng)?zhí)?CN201110316299.8

公開號(hào):CN102392248A

申請(qǐng)日:2011.10.18

公開日:2012.03.28

申請(qǐng)人:綿陽(yáng)艾薩斯電子材料有限公司

本發(fā)明公開了一種OLED用含鉬和/或鋁金屬膜的蝕刻液及其制備方法。該蝕刻液，包括硝酸水溶液、磷酸水溶液、甜菜堿兩性表面活性劑和水。其中，所述硝酸水溶液占所述蝕刻液總重的1% ～10%，優(yōu)選2% ～8%;所述磷酸水溶液占所述蝕刻液總重的40% ～80%，優(yōu)選50% ～70%;所述甜菜堿兩性表面活性劑占所述蝕刻液總重的0.1% ～5%，優(yōu)選0.5% ～2%;余量為所述水。該蝕刻液能有效改善蝕刻液和金屬膜之間固液界面張力，提高金屬表面的潤(rùn)濕性，不但穩(wěn)定了蝕刻速度，提高蝕刻精度，最重要的是，能夠有效的控制錐角在20°～70°，且沒有蝕刻殘?jiān)且环N高效高精度的蝕刻液，具有重要的應(yīng)用價(jià)值。