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      民轉(zhuǎn)軍技術(shù)

      2013-12-03 11:42:52
      中國軍轉(zhuǎn)民 2013年8期
      關(guān)鍵詞:半導(dǎo)體芯片純金濾紙

      電子工業(yè)用金基蒸發(fā)材料及濺射靶材

      【關(guān)鍵技術(shù)參數(shù)或產(chǎn)品性能】

      金基蒸發(fā)材料:

      1)高純金5N及純金4N產(chǎn)品

      高純金:純度Au≥99.999%、雜質(zhì)總量≤10PPM、其中C≤0.3PPM;純金:純度Au≥99.99%、雜質(zhì)總量≤100PPM。

      2)金鈹AuBe1-2.5產(chǎn)品

      成分:Be1-2.5、Au余量、雜質(zhì)總量≤0.01%。

      3)金鍺AuGe2-12、金鍺鎳AuGe10-12Ni1-5合金產(chǎn)品

      成分:Ge2-12、Au余量、雜質(zhì)總量≤0.01%;Ge10-12、Ni1-5、Au余量、雜質(zhì)總量≤0.01%。

      4)金錫合金、金鋅合金、金鎵合金產(chǎn)品

      產(chǎn)品規(guī)格:¢2×5mm、¢3×4mm、≠2×10×10mm等規(guī)則顆粒,絲材、片材。

      金基濺射靶材:

      高純金靶材產(chǎn)品:純度:Au≥99.999%、雜質(zhì)總量≤10 PPM、C≤0.3PPM;

      金鍺AuGe12、金鍺鎳AuGe11.5Ni5合金靶材產(chǎn)品:

      金鍺AuGe12成分:Au88%,Ge余量、雜質(zhì)總量≤0.01%、C≤0.3PPM;

      金鍺鎳AuGe11.5Ni5成分: Au83.6%、Ni5%、Ge余量、雜質(zhì)總量≤0.01%、C≤0.3PPM;

      產(chǎn)品規(guī)格: 高純金厚度3mm、直徑6英寸、8英寸、127×382mm等;AuGe12、AuGe11.5Ni5合金靶材、厚度6mm、直徑6~8英寸、127×382mm等。

      關(guān)鍵技術(shù):高純金原料批量制備技術(shù);連鑄工藝連鑄高純金及合金技術(shù);精密澆鑄AuBe、AuGe、AuGeNi合金規(guī)則顆粒技術(shù);制備超低含碳量高純金蒸發(fā)源及濺射靶材技術(shù);采用包覆熱軋加工制備AuGe、AuGeNi合金箔材技術(shù)。

      本產(chǎn)品為單位自有技術(shù),目前處于規(guī)?;a(chǎn)階段,屬國內(nèi)先進(jìn)水平。

      【功能及主要應(yīng)用情況】

      高純金及合金具有極好的化學(xué)穩(wěn)定性,接觸電阻低而穩(wěn)定,導(dǎo)電性和導(dǎo)熱性良好,易形成膜、易鍵合和與半導(dǎo)體基體好的附著性。通過添加合金元素形成金鍺、金鍺鎳、金鈹、金鎵、金錫等合金后可改變其熔點(diǎn),改善與不同半導(dǎo)體芯片材料的潤濕性、附著性,特別是可以與化合物半導(dǎo)體芯片形成金屬-半導(dǎo)體(M-S) 歐姆接觸。高純金及合金通常加工成蒸發(fā)源或?yàn)R射靶材形狀,使用真空蒸發(fā)或?yàn)R射工藝沉積在半導(dǎo)體芯片表面,形成歐姆接觸、電極和連線膜,是制造半導(dǎo)體芯片的關(guān)鍵基礎(chǔ)材料,大量應(yīng)用于制造發(fā)光二極管(LED),軍用和民用微波通信器件,航天、航空等重要領(lǐng)域用高轉(zhuǎn)化率半導(dǎo)體化合物(GaN、GaAs等)芯片太陽能電池等。

      【產(chǎn)品(技術(shù))持有單位】貴研鉑業(yè)股份有限公司

      玻璃纖維空氣濾紙

      【關(guān)鍵技術(shù)參數(shù)或產(chǎn)品性能】

      通風(fēng)用濾紙(ASHRAE):過濾效率15~80%,過濾阻力15~90Pa;

      中、高效空氣過濾器用濾紙(HEPA):過濾效率:95~99.99%(0.3μm);

      過濾阻力160~380Pa;

      超高效空氣過濾器用濾紙(ULPA):過濾效率:99.995~99.999%(0.3μm);過濾阻力400~450Pa;

      厚度0.30-0.35mm;抗張強(qiáng)度≥1.2 kN/m(縱向),≥0.5 kN/m(橫向);挺度≥1.2mN.m(HEPA、ULPA),≥1.5 mN.M(ASHRAE)。

      本產(chǎn)品為單位自有技術(shù)并獲國內(nèi)發(fā)明專利,目前處于規(guī)?;a(chǎn)階段。

      【功能及主要應(yīng)用情況】本產(chǎn)品用于醫(yī)藥、電子、食品、紡織、高檔辦公娛樂場(chǎng)所等行業(yè)的空調(diào)系統(tǒng)中的空氣過濾。一般通風(fēng)用濾紙(ASHRAE)主要用于普通空調(diào)系統(tǒng)、燃?xì)廨啓C(jī)與空壓機(jī);中、高效空氣過濾器用濾紙(HEPA)主要用于10萬級(jí)~萬級(jí)潔凈室或工作臺(tái)、核電站排風(fēng)、高檔家用吸塵器、空氣凈化器、防毒面具等;超高效空氣過濾器用濾紙(ULPA)主要用于芯片廠及100級(jí)、10級(jí)、1級(jí)潔凈廠房等。

      【產(chǎn)品(技術(shù))持有單位】中材科技股份有限公司

      太陽能電池用鍺單晶片

      【關(guān)鍵技術(shù)參數(shù)或產(chǎn)品性能】

      本產(chǎn)品為單位自有技術(shù)并獲國內(nèi)發(fā)明專利,目前處于中試階段。

      【功能及主要應(yīng)用情況】鍺單晶片用于生產(chǎn)高效率三結(jié)砷化鎵太陽能電池,主要應(yīng)用于衛(wèi)星、空間站等太陽能電池,及地面海島、邊防哨所以及建設(shè)地面高倍聚光太陽能電站。

      【產(chǎn)品(技術(shù))持有單位】云南中科鑫圓晶體材料有限公司

      TbDy-Fe磁致伸縮材料

      【關(guān)鍵技術(shù)參數(shù)或產(chǎn)品性能】材料磁致伸縮性能:l≥1000ppm,

      力學(xué)性能:抗彎強(qiáng)度(σbb)≥20Mpa,抗壓強(qiáng)度(σbc)≥250MPa

      本產(chǎn)品為單位自有技術(shù)并獲國內(nèi)發(fā)明專利,目前處于中試階段。

      【功能及主要應(yīng)用情況】用這種材料做驅(qū)動(dòng)元件的器件具有功率大,體積小,結(jié)構(gòu)簡單,響應(yīng)快,精度高,頻帶寬,可靠性高等優(yōu)點(diǎn)。主要用于制造致動(dòng)器、致動(dòng)器(輸出位移或力的伺服器件)、傳感器和聲表面波器件。

      【產(chǎn)品(技術(shù))持有單位】包頭稀土研究院

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