高精度測量機(jī)測頭結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)與分析
2013-10-09 06:02:58盛碩陳賀楊橋
中國信息化·學(xué)術(shù)版 2013年5期
盛碩 陳賀 楊橋
引言
隨著納米技術(shù)和精密加工技術(shù)的發(fā)展，對(duì)精密測量技術(shù)和高精度計(jì)量檢測設(shè)備要求越來越高。各國研究所和各大高校投入大量的人力和物力在高精度的計(jì)量測量設(shè)備的研發(fā)上，高精度的微納測量平臺(tái)需要高精度的測頭相匹配，高精度的測頭的研發(fā)成為測量領(lǐng)域的趨勢(shì)。
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