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    印制電路板孔線共鍍銅工藝研究

    2013-09-26 02:02:52陳苑明郭茂桂李志丹
    電鍍與精飾 2013年12期
    關(guān)鍵詞:金屬化印制電路銅箔

    何 杰,何 為,陳苑明,馮 立,徐 緩,周 華,郭茂桂,李志丹

    (1.電子科技大學(xué)微電子與固體電子學(xué)院,四川 成都 610054;2.博敏電子股份有限公司,廣東梅州 514000)

    引 言

    電子產(chǎn)品微小型化與多功能化促使印制電路板趨向高密度互連方向發(fā)展,而高厚徑比導(dǎo)通孔與精細(xì)線路是印制電路板高密度化的有效解決方法之一[1]。印制電路板線路的精細(xì)化主要體現(xiàn)在線寬線距的不斷縮小,而傳統(tǒng)減成法工藝所采用的照相底版成像與蝕刻方法已經(jīng)難以滿足線路精細(xì)化的要求[2-3],且當(dāng)使用的銅箔較厚,會(huì)加大精細(xì)線路的側(cè)蝕問(wèn)題甚至?xí)鹁€路的斷開(kāi)而影響印制電路產(chǎn)品的合格率;減成法工藝同樣不利于高厚徑比的微小導(dǎo)通孔制作,其原因是高厚徑比的微小導(dǎo)通孔需要電鍍時(shí)間較長(zhǎng)才能完成孔金屬化過(guò)程,由此導(dǎo)致板面的銅層厚度過(guò)大,加大精細(xì)線路的制作難度[4-5]??拙€共鍍法結(jié)合了半加成法、圖形電鍍與孔金屬化技術(shù)要點(diǎn),其過(guò)程是采用負(fù)相抗蝕層阻擋底層超薄銅箔的非線路圖形區(qū)域,整板活化后用電鍍方法增加導(dǎo)通孔孔壁銅層與精細(xì)線路的厚度,再去除抗蝕層并差分快速蝕刻底層超薄銅層,從而實(shí)現(xiàn)導(dǎo)通孔金屬化與精細(xì)線路同時(shí)制作,該方法可消除精細(xì)線路制作的側(cè)蝕問(wèn)題[6-7],滿足導(dǎo)通孔孔壁銅層的厚度要求。

    應(yīng)用孔線共鍍法同時(shí)實(shí)現(xiàn)板δ為1.5mm、孔d為200μm的導(dǎo)通孔與線寬、線距均為50μm精細(xì)線路的制作。研究了圖形轉(zhuǎn)移、圖形電鍍等工藝過(guò)程對(duì)導(dǎo)通孔與精細(xì)線路制作質(zhì)量的影響,對(duì)比了孔線共鍍法與減成法在導(dǎo)通孔與精細(xì)線路制作上的優(yōu)劣。

    1 孔線共鍍法的工藝過(guò)程

    孔線共鍍法實(shí)現(xiàn)孔金屬化與精細(xì)線路制作的原理,是先對(duì)覆銅板進(jìn)行鉆孔與鉆污清洗,形成抗蝕層后進(jìn)行整板活化,通過(guò)電鍍方法同時(shí)增加導(dǎo)通孔孔壁與精細(xì)線路圖形區(qū)域的銅層厚度,板面其它未經(jīng)圖形電鍍加厚的非線路超薄銅箔區(qū)域,采用酸性蝕刻液將其快速蝕刻去除,保留下來(lái)的部分則為同時(shí)制作的導(dǎo)通孔及精細(xì)線路,如圖1。

    圖1 孔線共鍍法工藝流程

    2 實(shí)驗(yàn)

    2.1 實(shí)驗(yàn)材料與儀器

    材料為FR-4雙面覆銅箔層壓板(聯(lián)茂IT158),YQ-40SD型抗蝕干膜(旭化成),國(guó)產(chǎn)H2SO4-H2O2蝕刻液、顯影液、退膜液等。儀器與設(shè)備為 ND-6NI210E型日立鉆孔機(jī)(日立公司),F(xiàn)W-FLM610型自動(dòng)貼膜機(jī)(上海飛為自動(dòng)化系統(tǒng)有限公司),SPRESS QI型激光直接成像(LDI)系統(tǒng)(奧寶科技有限公司),化學(xué)鍍銅線,H2SO4-H2O2減銅線,顯影線,去膜線,電鍍生產(chǎn)線,ASIDA-JX22C型金相顯微鏡(愛(ài)思達(dá)公司)等。

    2.2 制作工藝

    1)開(kāi)料。將介質(zhì)層為1.5mm、銅箔 δ為17.5 μm的FR-4雙面覆銅板裁剪成544mm×412mm的規(guī)格。

    2)鉆孔。設(shè)置兩組不同的鉆孔機(jī)參數(shù)分別鉆出孔徑d為200μm的導(dǎo)通孔,其中A組參數(shù)為鉆刀速 110kr/min,下刀速 1.6m/min,退刀速 20 m/min;B組參數(shù)為鉆刀速145kr/min,下刀速1.8 m/min,退刀速20m/min,選取鉆孔效果較好的參數(shù)作為后續(xù)的鉆孔參數(shù)。

    3)減銅。用H2SO4-H2O2蝕刻液進(jìn)行面銅減薄,將面銅δ減至4μm左右。

    4)化學(xué)鍍銅。經(jīng)高錳酸鉀清洗、微蝕、活化等處理后進(jìn)行化學(xué)鍍銅t為50min。

    5)圖形轉(zhuǎn)移?;瘜W(xué)鍍銅后烘干并熱壓貼40μm厚的干膜,放置15min后用LDI系統(tǒng)進(jìn)行曝光,其中曝光能量為450J/m2,放置15min后顯影,將所需線路部分及導(dǎo)通孔全部露出,其余部分全部覆蓋。

    6)孔、線共鍍銅??刂?0g/L硫酸銅,190g/L硫酸,60mg/L Cl-,適量的光亮劑、平整劑,Jκ為1.5 A/dm2進(jìn)行圖形電鍍t為80min。

    7)快速蝕刻。通過(guò)去膜線除去板面余下干膜,用H2SO4-H2O2蝕刻液進(jìn)行快速的差分蝕刻去除板面多余銅箔完成導(dǎo)通孔及精細(xì)線路的制作。

    2.3 測(cè) 試

    圖形轉(zhuǎn)移后檢測(cè)線路和孔的對(duì)位精度及非線路部分干膜與覆銅板結(jié)合效果;圖形電鍍后測(cè)試導(dǎo)通孔的深鍍能力并用金相顯微鏡觀察精細(xì)線路與導(dǎo)通孔的制作效果;快速蝕刻后用3M膠帶對(duì)線路部分做3次剝離強(qiáng)度測(cè)試,檢測(cè)電鍍后線路與基材結(jié)合效果。

    3 結(jié)果分析與討論

    3.1 圖形轉(zhuǎn)移效果分析

    印制電路板(PCB)圖形轉(zhuǎn)移主要包括貼膜、曝光及顯影等步驟,圖形轉(zhuǎn)移效果對(duì)電鍍加成制作精細(xì)線路的質(zhì)量有較大的影響。實(shí)驗(yàn)選用了δ為40μm的干膜進(jìn)行貼膜,完成貼膜后用放大鏡觀察,發(fā)現(xiàn)干膜與銅面間結(jié)合良好,無(wú)氣泡、無(wú)褶皺情況出現(xiàn),說(shuō)明貼膜效果較好。實(shí)驗(yàn)制作的精細(xì)線路線寬線距均為50μm,且線路排布較為密集,為了得到較好的圖形轉(zhuǎn)移效果,選用激光直接成像(LDI)曝光機(jī)對(duì)線路進(jìn)行曝光,完成曝光后用放大鏡觀察線路及孔的曝光效果,發(fā)現(xiàn)曝光后線路部分線條非常清晰,孔的對(duì)位情況較為精準(zhǔn),如圖2(a)。與傳統(tǒng)的采用照相底片的圖形轉(zhuǎn)移方式相比,LDI曝光系統(tǒng)不僅縮短了工藝流程,且將圖形對(duì)位精度提高到±5μm之內(nèi)(由于照相底片的生產(chǎn)和保存、曝光機(jī)光源的特性及其它的多種因素所帶來(lái)的尺寸誤差非常大,可達(dá)到±25μm)。將曝光后的覆銅板放置15min后顯影,顯影后檢測(cè)板面干膜發(fā)現(xiàn)無(wú)甩膜翹起等情況出現(xiàn),如圖2(b),可知最終的圖形轉(zhuǎn)移效果較好,滿足電鍍加成制作精細(xì)線路的要求。

    圖2 曝光、顯影后的板面照片

    3.2 電鍍過(guò)程控制分析

    3.2.1 硫酸銅及硫酸質(zhì)量濃度的影響

    實(shí)驗(yàn)制作的印制電路板導(dǎo)通孔孔徑較小,d為200μm,且厚徑比為7.5∶1,這對(duì)電鍍銅溶液的深鍍能力提出了較高的要求。鍍液中深鍍能力受酸銅配比、陰極電流密度、添加劑組成等多個(gè)因素的影響,硫酸銅和硫酸的質(zhì)量濃度對(duì)深鍍能力影響進(jìn)行分析??刂棋円?0g/L硫酸銅,190g/L硫酸,光亮劑、平整劑及適量Cl-進(jìn)行電鍍。隨機(jī)選取十個(gè)導(dǎo)通孔,通孔示意圖由圖3所示;按公式(1)計(jì)算深鍍能力,計(jì)算結(jié)果列于表1。

    圖3 通孔示意圖

    式中,A、B、C及D表示孔口上方處板面鍍銅層厚度,E、F表示孔中心處鍍銅層厚度。

    表1 導(dǎo)通孔深鍍能力檢測(cè)結(jié)果

    由表1可知,導(dǎo)通孔的深鍍能力,均在60%以上,說(shuō)明鍍層的均勻性較好,鍍液深鍍能力較強(qiáng)。硫酸銅溶液中的Cu2+質(zhì)量濃度即不能太高也不能太低,Cu2+太低雖然可提高鍍液的深鍍能力但在高電流密度區(qū)易出現(xiàn)鍍層燒焦,太高又會(huì)降低鍍液的深鍍能力;硫酸的質(zhì)量濃度也必需合理控制,硫酸太低鍍液的導(dǎo)電性及分散能力較差,硫酸太高鍍銅層的光亮度和平整性會(huì)受到影響[8]??傊岣咝】捉?jīng)、高厚徑比PCB板導(dǎo)通孔的深鍍能力,必需控制好硫酸銅及硫酸的質(zhì)量濃度。

    3.2.2 電鍍參數(shù)及溶液攪拌的影響

    實(shí)驗(yàn)控制 Jκ為 1.5A/dm2,t為 80min,采用空氣攪拌、平行于板面方向噴射鍍液和陰極移動(dòng)加強(qiáng)電鍍?nèi)芤旱慕粨Q。孔線共鍍完成后,對(duì)導(dǎo)通孔和精細(xì)線路分別制作切片觀測(cè)導(dǎo)通孔的孔金屬化效果及精細(xì)線路的制作效果如圖4。由圖4可知,孔線共鍍后導(dǎo)通孔的孔金屬化及精細(xì)線路的制作效果較好,這是由于控制Jκ為1.5A/dm2,可減小導(dǎo)通孔孔中心與孔口及板面的電位差,使鍍層的分布更加均勻且小電流有利于提升導(dǎo)通孔的深鍍能力。電鍍t為80min,這是基于孔金屬化、精細(xì)線路所需銅層厚度的綜合考慮,時(shí)間過(guò)短導(dǎo)通孔及精細(xì)線路鍍層厚度過(guò)薄,不能滿足工藝要求;電鍍時(shí)間過(guò)長(zhǎng),容易造成精細(xì)線路厚度超過(guò)干膜厚度而出現(xiàn)夾膜情況。同時(shí)采用空氣攪拌可加快溶液的循環(huán)、平行于板面方向鍍液的噴射增強(qiáng)孔內(nèi)溶液交換、陰極移動(dòng)可使溶液穿過(guò)導(dǎo)通孔,加快導(dǎo)通孔內(nèi)電鍍?nèi)芤旱牧鲃?dòng)及交換速度,從而提高鍍層的均勻性和深鍍能力。

    圖4 電鍍后導(dǎo)通孔及精細(xì)線路的截面圖

    3.3 孔線共鍍工藝與減成法工藝對(duì)比分析

    在導(dǎo)通孔的孔金屬化制作上,孔線共鍍工藝與減成法工藝均是采用電鍍加厚的方法制作,但孔線共鍍的工藝有著明顯的優(yōu)勢(shì)??拙€共鍍工藝圖形電鍍是同時(shí)加厚導(dǎo)通孔孔壁及線路銅厚,制作效率更高;減成法工藝是采用整板電鍍,該過(guò)程不僅導(dǎo)通孔孔壁銅層厚度增加,面銅厚度也會(huì)相應(yīng)增加,增加了后續(xù)蝕刻制作線路的難度。

    在精細(xì)線路的制作上,孔線共鍍工藝采用的是先電鍍加厚線路,再用H2SO4-H2O2蝕刻液進(jìn)行快速的差分蝕刻法去除非線路部分的較薄銅箔完成精細(xì)線路的制作,所得線路側(cè)蝕量非常小,線路的截面基本呈矩形狀;而減成法工藝是通過(guò)化學(xué)蝕刻法去除非線路部分的銅箔制作精細(xì)線路,由于減成法制作中銅箔的厚度一般較厚,因此線路的側(cè)蝕問(wèn)題較為嚴(yán)重,線路的截面呈梯形狀。實(shí)驗(yàn)中用美國(guó)3M公司生產(chǎn)的PCB專(zhuān)用膠帶均勻貼在孔線共鍍工藝制作的精細(xì)線路部分,迅速撕下膠帶,重復(fù)以上步驟3次,發(fā)現(xiàn)膠帶上無(wú)銅箔脫落痕跡,說(shuō)明線路鍍層與基板間的結(jié)合良好。圖5和圖6分別為采用孔線共鍍工藝和傳統(tǒng)減成法工藝制作的精細(xì)線路截面切片圖,由圖5圖6可知,孔線共鍍法避免了減成法制作精細(xì)線路側(cè)蝕嚴(yán)重的問(wèn)題,其截面切片呈矩形狀,提高了線路制作的質(zhì)量。

    圖5 孔線共鍍法制作的線路截面切片圖

    圖6 減成法制作的線路截面切片圖

    4 結(jié)論

    印制線路板向著導(dǎo)通孔微小化和線路精細(xì)化方向發(fā)展。實(shí)驗(yàn)通過(guò)對(duì)孔線共鍍工藝中圖形轉(zhuǎn)移、圖形電鍍等關(guān)鍵步驟的嚴(yán)格控制,制作了板δ為1.5 mm,導(dǎo)通孔孔徑 d為 200μm,線寬和線距均為50μm的導(dǎo)通孔及精細(xì)線路。結(jié)果表明,采用LDI系統(tǒng)進(jìn)行曝光圖形對(duì)位精度高、圖形轉(zhuǎn)移后干膜與覆銅板結(jié)合效果好無(wú)甩膜翹起等現(xiàn)象;圖形電鍍時(shí)控制電鍍?nèi)芤褐辛蛩徙~、硫酸質(zhì)量濃度分別為70g/L及 190g/L,Jκ為 1.5A/dm2,t為 80min 及適當(dāng)溶液攪拌,完成電鍍后導(dǎo)通孔深鍍能力達(dá)60%以上,精細(xì)線路與基板結(jié)合力較強(qiáng);與減成法相比,孔線共鍍法可同時(shí)完成導(dǎo)通孔的孔金屬化及精細(xì)線路的加厚制作,是一種效率極高的印制電路板制造方法,此法制作的線路側(cè)蝕量較小,線路截面基本呈矩形狀,提高了線路的制作質(zhì)量。因此,孔線共鍍的方法可適用于印制線路板微小導(dǎo)通孔及精細(xì)線路的制作。

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