汪 松,王俊平,萬(wàn)國(guó)挺,王 樂
(西安電子科技大學(xué)通信工程學(xué)院,西安710071)
近年來,隨著匹配技術(shù)的迅猛發(fā)展,圖像匹配在全景圖合成、物體3D重建、航空攝影測(cè)量、三維地圖制作等領(lǐng)域具有廣泛應(yīng)用[1]。因此針對(duì)圖像匹配技術(shù)的研究從未停止。
目前圖像匹配方法分為基于灰度的圖像匹配方法[2]、基于特征的圖像匹配方法[3]和基于解釋的圖像匹配算法[4]。文獻(xiàn)[2-5]詳細(xì)介紹了基于灰度的匹配方法,但這種方法對(duì)圖像變形、光照、尺度變化等情況有一定的敏感性。因此不具有適用性。由于基于解釋的圖像匹配算法應(yīng)用較少,并且該方法需要建立在圖像自動(dòng)判讀的專家系統(tǒng)上,目前還沒有取得突破性的進(jìn)展。基于特征的圖像匹配方法,如 CCH算法[6]、Harris算法[7]、SIFT算法[8]等都能夠較好的適應(yīng)圖像變形、光照變化等情況,而且技術(shù)比較成熟。Mikolajczyk等[9]對(duì)以上算法做了系統(tǒng)的比較,結(jié)果表明SIFT算法檢測(cè)效果最好。但SIFT算法存在匹配點(diǎn)數(shù)量有限、算法效率低、精度差、并且在特征點(diǎn)分布均勻的情況下正確匹配率低。人們提出了很多的匹配方法以解決上述問題帶來的匹配困難。根據(jù)Brown[10]理論,各種匹配方法都是特征空間、相似性度量、搜索空間和搜索策略4個(gè)關(guān)鍵要素的不同選擇組合。因此,筆者依據(jù)Brown理論,在設(shè)計(jì)匹配方法時(shí),首先在特征點(diǎn)提取前對(duì)待匹配圖像進(jìn)行匹配預(yù)處理,然后基于簡(jiǎn)化SIFT算法在搜索策略方面進(jìn)行了改進(jìn),采用KD樹雙向匹配方法,在匹配點(diǎn)數(shù)量、匹配點(diǎn)的精度和匹配重復(fù)點(diǎn)方面都有所提高。筆者通過對(duì)有共同缺陷的版圖進(jìn)行圖像匹配實(shí)驗(yàn),并驗(yàn)證得到了較好的效果,最后將該方法應(yīng)用于優(yōu)化版圖的線網(wǎng)自動(dòng)檢測(cè)方面,進(jìn)一步驗(yàn)證了該方法的適用性。試驗(yàn)證明該方法不僅滿足圖像拼接等相關(guān)領(lǐng)域?qū)ζヅ浼夹g(shù)高精度、高準(zhǔn)確率的要求,而且在集成電路版圖優(yōu)化線網(wǎng)檢測(cè)領(lǐng)域也有較好的適用性。
圖像在成像過程中易受到隨機(jī)噪聲、成像傳感器變化以及在不同時(shí)間受到不同環(huán)境的影響,使所得到的原始圖像都不是理想的待配準(zhǔn)圖像,這些圖像間的差異可能會(huì)使后面的配準(zhǔn)產(chǎn)生錯(cuò)誤的結(jié)果或無(wú)法配準(zhǔn)。所以在進(jìn)行圖像匹配之前,對(duì)原始圖像進(jìn)行預(yù)處理是非常必要的,圖像預(yù)處理也是圖像配準(zhǔn)整個(gè)過程必不可少的環(huán)節(jié)。為減少噪聲,增強(qiáng)圖像邊緣特征信息,提高匹配點(diǎn)的精度和數(shù)量,經(jīng)實(shí)驗(yàn)筆者對(duì)圖像進(jìn)行高斯和Wallis濾波處理,這樣特征提取效果較好。
高斯濾波的實(shí)現(xiàn)方法比較常見,這里不再累述,把處理前后的圖像列出,如圖1是一幅480× 421像素的缺陷版圖。高斯濾波后的圖像如圖2所示。直觀上看,圖2的噪聲已被濾除,但邊緣有些模糊,這是后續(xù)進(jìn)行Wallis濾波所需步驟,實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明這樣的預(yù)處理效果提高了圖像匹配點(diǎn)數(shù)量和精度,并不影響原始圖像的邊緣信息和匹配點(diǎn)在原始圖像上的顯示。
圖1 高斯濾波前缺陷版圖Fig.1 The former defects territory of the Gaussian filter
圖2 高斯濾波后版圖圖像Fig.2 The Gaussian filtered territory image
高斯濾波后的圖像存在一定程度的邊緣模糊等問題。考慮到Wallis濾波是一種局部的影像變換,它可增強(qiáng)影像的紋理模式和影像反差同時(shí)壓制噪聲,提高了影像的信噪比。因此筆者采用Wallis濾波器處理圖像2。Wallis濾波器的一般形式為[11]:
其中g(shù)(x,y)為原始圖像的灰度值;f(x,y)為Wallis濾波后圖像的灰度值;mg為原始圖像的局部灰度均值;sg為原始圖像的局部灰度方差值;mf為結(jié)果圖像局部灰度均值的目標(biāo)值;sf為結(jié)果圖像局部灰度方差值的目標(biāo)值;c∈[0,1]為圖像反差的擴(kuò)展常數(shù);b∈[0,1]為圖像的亮度系數(shù)。
圖3為Wallis濾波后圖像??砂l(fā)現(xiàn)圖2模糊的邊緣信息經(jīng)過濾波后邊緣更加突出、版圖缺陷更加明顯、紋理更加清晰,這為特征點(diǎn)的提取提供了更多的點(diǎn)、邊緣等特征信息。
圖3 W allis濾波后版圖效果圖Fig.3 W allis filtered territory effect diagram
SIFT算法分為構(gòu)造尺度空間、極值點(diǎn)檢測(cè)、精確確定極值點(diǎn)位置、特征點(diǎn)方向分配、生成特征點(diǎn)描述子[8]5個(gè)步驟。
從文獻(xiàn)[12]中可知尺度空間的構(gòu)造大約占總時(shí)間的30%~55%,優(yōu)化空間較大。為提高提取特征點(diǎn)的效率,筆者根據(jù)文獻(xiàn)[12]采用簡(jiǎn)化尺度空間的SIFT算法提取特征點(diǎn),即取高斯金字塔的組數(shù)為2,每組3層的固定金字塔進(jìn)行尺度空間的構(gòu)造。表1列出了傳統(tǒng) SIFT算法和簡(jiǎn)化SIFT算法完成匹配的時(shí)間。
表1 一般SIFT和簡(jiǎn)化SIFT耗時(shí)對(duì)比Table 1 run time of SIFT and simplified SIF
從表1可看出簡(jiǎn)化SIFT的耗時(shí)為一般方法的1/2,在算法效率方面有所提高。實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證簡(jiǎn)化后的SIFT算法提高了效率,而且特征點(diǎn)的數(shù)量并不比一般SIFT算法少很多。
一般特征點(diǎn)匹配采用單向匹配方法,匹配方法簡(jiǎn)便,但容易產(chǎn)生誤匹配,而且由于一個(gè)特征點(diǎn)可能具有多個(gè)方向,在匹配時(shí)可能產(chǎn)生重復(fù)的匹配點(diǎn)。筆者為提高圖像匹配的準(zhǔn)確率,采取雙向匹配方法,即基于單向匹配結(jié)果,反過來求第2個(gè)特征集中已被匹配的特征點(diǎn)在第1個(gè)特征點(diǎn)集中匹配點(diǎn),距離比小于某個(gè)閾值的特征點(diǎn)為正確匹配點(diǎn)[13]。雙向匹配方法既去除了重復(fù)匹配點(diǎn),又提高了匹配準(zhǔn)確率。圖4為一般SIFT算法對(duì)缺陷版圖提取特征點(diǎn)的圖像效果,共得到802對(duì)匹配點(diǎn),經(jīng)過RANSAC剔除后有665對(duì)正確匹配點(diǎn)。圖5為筆者方法提取特征點(diǎn)的圖像效果,共得到2659對(duì)匹配點(diǎn),無(wú)錯(cuò)匹配點(diǎn)。
圖4 一般SIFT方法缺陷版圖匹配效果Fig.4 The general SIFT method defects territory matching effect
圖5 筆者方法缺陷版圖匹配效果Fig.5 The author method defects territorymatching effect
隨著集成電路復(fù)雜度與芯片面積的增加和亞波長(zhǎng)光刻技術(shù)的廣泛應(yīng)用,導(dǎo)致集成電路(IC)成品率降低,進(jìn)一步影響了半導(dǎo)體產(chǎn)品市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)和質(zhì)量[14]。版圖優(yōu)化的目標(biāo)是在不改變電路性能的情況下,調(diào)整版圖上的布線使關(guān)鍵面積降低,從而提高其成品率,因此,版圖優(yōu)化對(duì)提高IC成品率具有重要的研究意義[15]。
版圖優(yōu)化主要是通過對(duì)版圖結(jié)構(gòu)和線網(wǎng)位置的改變來達(dá)到減小面積、延遲和功耗的目的。對(duì)于優(yōu)化后的版圖進(jìn)行移動(dòng)線網(wǎng)的檢測(cè)也是版圖優(yōu)化中不可缺少的步驟。筆者通過該方法對(duì)優(yōu)化前和優(yōu)化后的版圖進(jìn)行圖像匹配,然后以匹配點(diǎn)對(duì)的位置關(guān)系檢測(cè)移動(dòng)的線網(wǎng)。如圖6為優(yōu)化前的版圖,圖6中綠色線框內(nèi)是需要優(yōu)化的線網(wǎng),圖7為線網(wǎng)移動(dòng)后的優(yōu)化版圖。同圖6相比圖7中的線網(wǎng)進(jìn)行了簡(jiǎn)單的平移,先通過該方法對(duì)圖6和圖7進(jìn)行匹配,然后根據(jù)線網(wǎng)上的一對(duì)匹配點(diǎn)R-1、L-1的坐標(biāo)關(guān)系可以檢測(cè)出線網(wǎng)在x,y方向的平移量。如表2所示,列出了x,y的坐標(biāo)和平移量,以像素為單位。
圖6 優(yōu)化前的線網(wǎng)Fig.6 Line network before optim ization
圖7 優(yōu)化后的線網(wǎng)Fig.7 Optim ized reticle
表2 匹配點(diǎn)對(duì)x,y坐標(biāo)與平移量Table2 the coordinates and shift ofmatched points
匹配方法的性能評(píng)價(jià)指標(biāo)有匹配正確率、匹配時(shí)間和匹配精度3方面。為驗(yàn)證筆者方法,針對(duì)有缺陷的版圖圖像從這3個(gè)方面進(jìn)行檢驗(yàn)。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,該方法提取的匹配點(diǎn)在數(shù)量、準(zhǔn)確率等方面都優(yōu)于一般SIFT算法。該方法是一種有效的圖像匹配方法,具有精度高、魯棒性強(qiáng)、穩(wěn)定性高、適用性強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn),并在優(yōu)化線網(wǎng)檢測(cè)的應(yīng)用得到較好效果。同時(shí),該方法為圖像拼接等相關(guān)領(lǐng)域后續(xù)產(chǎn)品的生成提供了精確的匹配點(diǎn)。在匹配時(shí)間方面由于該方法的特征點(diǎn)數(shù)量較多,所以匹配耗時(shí)較多,對(duì)該方法的實(shí)時(shí)性還需要進(jìn)一步的研究。
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