角度計量中三光柵光學(xué)系統(tǒng)應(yīng)用分析

王勝磊　劉?！±渍齻ァ堄纻?/p>

摘要：在目前的角度計量工作中普遍采用光電軸角編碼器作為測角器件，而光柵系統(tǒng)由于具有分辨率高、穩(wěn)定性好、出錯率低、環(huán)境適應(yīng)性強(qiáng)等特點而得到了計量界的認(rèn)可。結(jié)合計量工作誤差處理嚴(yán)謹(jǐn)、不確定度來源分析透徹的要求，在分析了三光柵光學(xué)系統(tǒng)原理的基礎(chǔ)上，提出了針對其正弦輸出信號的自適應(yīng)濾波方法。

關(guān)鍵詞：角度計量； 三光柵； 衍射； 自適應(yīng)濾波

中圖分類號：TN911.7434 文獻(xiàn)標(biāo)識碼：A 文章編號：1004373X(2012)19017902