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    高頻硅PNP晶體管3CG120高溫失效機(jī)理研究

    2012-08-14 00:54:40王立新單尼娜宋李梅韓鄭生
    電子設(shè)計工程 2012年11期
    關(guān)鍵詞:基區(qū)空穴界面

    王立新,單尼娜,夏 洋,宋李梅,韓鄭生

    (中國科學(xué)院 微電子研究所,北京 100029)

    失效分析的目的是通過總結(jié)失效現(xiàn)象,分析失效模式,研究其失效原因和失效機(jī)理,為器件的可靠性設(shè)計,工藝改進(jìn)及可靠性增長提供有益的信息。

    電子器件有時需要在宇宙空間中運行的衛(wèi)星、火箭等高溫、高輻射等極端條件下使用,條件非常惡劣,超出了正常使用溫度范圍。并且,隨著技術(shù)的進(jìn)步,對電子器件所要求的可靠壽命也越來越長。這就使得研究器件高溫特性和高溫下的退化特性,分析其高溫下的失效機(jī)理及失效原因,從而保證器件在各種溫度條件下正常工作具有重要意義。

    文中使用溫度斜坡法[1-4],對樣品硅PNP型晶體管3CG120進(jìn)行170~340℃溫度范圍內(nèi)序進(jìn)應(yīng)力加速壽命試驗,得到樣品在不同溫度下電流增益、擊穿電壓、反向漏電流等電參數(shù)的退化規(guī)律。并通過對不同電參數(shù)退化規(guī)律的分析,初步分析在不同溫度范圍內(nèi)的樣品失效機(jī)理。

    1 試 驗

    為了研究樣品3CG120在高溫下的失效模式,失效機(jī)理等,文中對樣品3CG120進(jìn)行序進(jìn)應(yīng)力加速壽命試驗,試驗條件及測試參數(shù)如表1所示。

    表1 3CG120的序進(jìn)應(yīng)力加速壽命試驗的試驗條件及測試參數(shù)Tab.1 Experiment conditions and test parameters of process stress accelerated life test

    2 結(jié)果與分析

    試驗的樣本量為3支,在Tj=170~340℃溫度范圍內(nèi),試驗樣品372#、373#、374#表現(xiàn)出的退化規(guī)律比較一致。測試數(shù)據(jù)hFE如圖1所示。

    如圖1,參數(shù) hFE的退化過程可分為 A、B、C、D 4段。各溫度段內(nèi)參數(shù)的退化規(guī)律如表2所示。

    分析各參數(shù)的退化規(guī)律,直流增益hFE仍然是第一位的失效敏感參數(shù),下面從理論上分析其退化機(jī)理,同時,參照其他參數(shù)的變化規(guī)律對其進(jìn)行分析。

    圖1 序進(jìn)應(yīng)力下,3CG120的敏感參數(shù)hFE的退化曲線Fig.1 Degenerate curve of hFE under progress-stress condition

    表2 3CG120各參數(shù)的退化規(guī)律Tab.2 Degradation laws of parameters of 3CG120

    式中,IC、IB分別為收集極、基極電流。

    根據(jù)半導(dǎo)體物理關(guān)于PN結(jié)的理論可知:PN結(jié)的正向電流由擴(kuò)散電流和復(fù)合電流Ire兩部分組成。當(dāng)晶體管工作在有源放大區(qū)時,發(fā)射結(jié)勢壘區(qū)內(nèi)存在著凈復(fù)合,這股復(fù)合電流的表達(dá)式為:

    式中:xm為發(fā)射結(jié)耗盡層厚度;AJ為發(fā)射結(jié)面積;VE為正向電壓。

    由(2)式可知,復(fù)合電流Ire和耗盡區(qū)的體積 xmAJ成正比;由(1)式可知,直流增益與復(fù)合電流成反比。當(dāng)存在表面電場時,就會影響耗盡層總的體積,從而影響到發(fā)射結(jié)正向電流中復(fù)合電流的成分變化,進(jìn)而影響直流增益hFE的大小。

    根據(jù)文獻(xiàn)[5],pn結(jié)總的反向電流IR為:

    式中 ,Igen,MJ為 結(jié) 耗盡 區(qū) 中形成 的產(chǎn)生電 流 ;Igen,F(xiàn)IJ為 柵 電極下的表面耗盡區(qū)產(chǎn)生電流;Igen,s為Si-SiO2界面陷阱引起的產(chǎn)生電流。

    下面結(jié)合試驗情況對樣品的失效機(jī)理進(jìn)行分析。

    第1段:175~240℃,在進(jìn)行序進(jìn)應(yīng)力加速壽命試驗時,發(fā)射結(jié)通過正向大電流,由于基區(qū)濃度遠(yuǎn)小于發(fā)射區(qū)濃度,故正向電流主要由空穴組成。這些空穴通過發(fā)射結(jié)耗盡層時形成正的空間電荷,這種正空間電荷在發(fā)射結(jié)Si-SiO2界面形成的電場,將排斥SiO2層中的可動正離子趨向遠(yuǎn)離Si-SiO2界面。故可動正離子會被排斥到SiO2上表面,相當(dāng)于在SiO2上表面加一負(fù)電場VGBE,如圖2所示。試驗過程中的溫度上升會促使正離子的這種運動,而且時間愈長在正離子在SiO2上表面堆積愈多,也即相當(dāng)于VGBE愈大,這將使基區(qū)表面從堆積到耗盡。集電結(jié)也通過反向空穴大電流,在集電結(jié)耗盡層Si-SiO2界面形成相對于SiO2層的正向電場,排斥SiO2層中的可動正離子趨向遠(yuǎn)離Si-SiO2界面,使集電結(jié)基區(qū)表面逐漸耗盡,集電區(qū)表面逐漸堆積。

    圖2 第一個溫度段(170~240℃)BE結(jié)剖面示意圖Fig.2 Profile of BE contact of first temperature range

    隨著溫度的升高,發(fā)射結(jié)基區(qū)耗盡層逐漸擴(kuò)展,表面復(fù)合電流也逐漸增加,導(dǎo)致基極電流IB隨之增加。由公式(1)可得,hFE隨著試驗的進(jìn)行在第一個溫度段(170-240℃)逐漸下降如圖1所示。

    而由于IEBO的測試條件是反向電壓2 V,2 V反壓造成的耗盡層寬度大于表面感應(yīng)耗盡層的寬度,故表面耗盡層的變化沒有影響到ICEO的大小,如圖3所示。而ICBO的測試條件是反向電壓10 V,由于集電結(jié)基區(qū)表面耗盡,集電區(qū)表面堆積,對漏電流影響不大,故ICBO在此溫度段變化也不大,如圖4所示。

    圖3 序進(jìn)應(yīng)力下,3CG120的敏感參數(shù)ICEO的退化曲線Fig.3 Degradation curve of ICEO of 3CG120 under process stress

    擊穿電壓BVCEO、BVCBO形成的耗盡層都大大超過試驗條件下產(chǎn)生表面耗盡層的寬度,故在本溫度段耗盡層的變化不能影響B(tài)VCEO、BVCBO,即二者在此溫度段變化不大,如圖5所示。

    圖4 序進(jìn)應(yīng)力下,3CG120的敏感參數(shù)ICBO的退化曲線Fig.4 Degradation curve of ICBO of 3CG120 under process stress

    圖5 序進(jìn)應(yīng)力下,3CG120的敏感參數(shù)BVBE的退化曲線Fig.5 Degradation curve of BVBE of 3CG120 under process stress

    第2段:240~290℃,進(jìn)入第二段后,溫度達(dá)到240℃以上,結(jié)溫達(dá)到270℃以上,集電區(qū)摻雜密度為1 015。在此條件下,集電區(qū)產(chǎn)生本征激發(fā),出現(xiàn)大量熱電子、空穴,在反向偏壓VBC及第一段積累形成的VGBC的作用下,BC結(jié)上方Si-SiO2界面發(fā)生熱空穴注入[5],SiO2界面中空穴的積累,將導(dǎo)致集電區(qū)表面耗盡。而ICBO隨溫度上升指數(shù)增加[6],同時由于集電區(qū)本征激發(fā)產(chǎn)生的大量電子及集電結(jié)耗盡層的增加,進(jìn)一步加大了ICBO。在試驗條件下,過大的ICBO大大超過了IB,造成大量電子在基區(qū)堆積,使基區(qū)電位下降,與發(fā)射區(qū)形成正向壓降,降低發(fā)射結(jié)勢壘,基區(qū)大量電子擴(kuò)散過發(fā)射結(jié)。此時,發(fā)射結(jié)電流不再主要由空穴組成,而由電子、空穴共同組成,即空穴在發(fā)射結(jié)Si-SiO2界面形成的電場被抵消。這就導(dǎo)致在高溫下,發(fā)射結(jié)SiO2層中的可動正離子將逐漸恢復(fù)正常分布,從而使第二段hFE恢復(fù)到正常值附近如圖1所示。

    在此溫度段,發(fā)射結(jié)空穴注入,并在SiO2界面處形成堆積,使集電結(jié)基區(qū)表面耗盡層逐漸消失,集電區(qū)表面逐漸耗盡。由于集電結(jié)表面耗盡層的增大,由公式(3)可知,柵電極下的表面耗盡區(qū)產(chǎn)生電流Igen,F(xiàn)IJ和Si-SiO2界面陷阱引起的產(chǎn)生電流Igen,s都大大增加,從而導(dǎo)致了ICBO的大大增加,如圖4所示。

    擊穿電壓BVCEO、BVCBO形成的耗盡層都大大超過試驗條件下產(chǎn)生表面耗盡層的寬度,故在本溫度段耗盡層的變化不能影響B(tài)VCEO、BVCBO,即二者在此溫度段變化不大。

    第3段:290~340℃,隨著溫度繼續(xù)升高,BC結(jié)上方Si-SiO2界面熱空穴持續(xù)注入,在SiO2界面空穴繼續(xù)堆積,使集電區(qū)表面反型,如圖6所示。歐姆接觸的金屬Al離子開始融入發(fā)射結(jié),造成結(jié)損傷,使hFE重新下降。

    在這一試驗溫度段,漏電流ICBO和ICEO出現(xiàn)了圍繞初始值減小的現(xiàn)象,如圖3、圖4。分析認(rèn)為:BC結(jié)表面出現(xiàn)反型層,由于失掉了Si-SiO2界面處復(fù)合中心,所以反向電流變成了:IR=Igen,MJ+Igen,F(xiàn)IJ,所以反向電流相對于第二溫度段(240~290 ℃)的反向電流大大減小,但仍大于Igen,MJ。

    圖6 第3個溫度段(290~340℃)結(jié)剖面示意圖Fig.6 Profile of contact of the third temperature range

    第4段:340℃-,試驗溫度在340℃之后,直流增益hFE表現(xiàn)出迅速減小的現(xiàn)象。使得該電流驟增,造成發(fā)射結(jié)局部發(fā)生不可逆的損傷,直流增益hFE迅速減小。同時造成了漏電流IBEO迅速增大,而擊穿電壓BVBEO快速減小的退化現(xiàn)象,如圖5所示。

    3 結(jié) 論

    文中通過對硅PNP型晶體管3CG120進(jìn)行170~340℃溫度范圍內(nèi)序進(jìn)應(yīng)力加速壽命試驗,對3CG120在不同溫度段的失效機(jī)理進(jìn)行了研究,發(fā)現(xiàn)在170~240℃溫度段內(nèi),樣品的失效機(jī)理是:發(fā)射結(jié)中通過的正電荷,排斥SiO2層中的可動正離子趨向遠(yuǎn)離Si-SiO2界面,這將使基區(qū)表面從堆積到耗盡,導(dǎo)致復(fù)合電流增大,而引起增益的下降。

    而在240~290℃溫度段內(nèi),集電區(qū)產(chǎn)生本征激發(fā),出現(xiàn)大量熱電子、空穴,在反向偏壓VBC的作用下,BC結(jié)上方Si-SiO2界面發(fā)生熱空穴注入,導(dǎo)致增益改變;在290~340℃溫度段內(nèi):BC結(jié)上方Si-SiO2界面熱空穴持續(xù)注入,在SiO2界面空穴繼續(xù)堆積,使集電區(qū)表面反型,導(dǎo)致增益的迅速下降。與室溫失效機(jī)理一致的范圍為:室溫至240℃。

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